Ширкати VET Energy дар истеҳсоли маҳсулоти босифат тахассус дорад.Тахтаи графити изостатикии покизагии баландбарои барномаҳои серталаби нимноқилҳо ва маводҳои пешрафта тарҳрезӣ шудааст. Тахтаҳои графити мо, ки аз графити изостатикии ултрамайда истеҳсол шудаанд ва тавассути равандҳои тозакунии галогении ҳарорати баланд тоза карда шудаанд, устувории гармии истисноӣ, сатҳи пасти ифлосӣ ва мутобиқати андозаи аълоро дар шароити шадиди корӣ пешниҳод мекунанд.
Ба таври васеъ дар парвариши булӯрҳои SiC, истеҳсоли булӯрҳои GaN, истеҳсоли маводи эпитаксиалӣ ва синтези пешрафтаи сафолӣ, покии баланд истифода мешавад.Тахтаи изостатикии графитӣs дар таъмини сифати булӯр, устувории раванд ва самаранокии истеҳсолот дар тамоми истеҳсоли муосири нимноқилҳо нақши муҳим мебозанд.
Тахтачаи изостатикии графити бо тозагии баланд чист?
Қисмати изостатикии графити баландсифат зарфи дақиқи муҳандисӣ мебошад, ки аз маводи графити изотропӣ, ки тавассути раванди пахшкунии изостатикӣ ба вуҷуд омадаанд, истеҳсол мешавад. Дар муқоиса бо маҳсулоти графити анъанавии қолабӣ, графити изостатикӣ пешниҳодҳои зеринро пешниҳод мекунад:
● Микросохтори якхела дар ҳама самтҳо
● Зичии баландтар ва қувваи механикӣ
● Гузаронандагии гармии аъло
● Муқовимати аълои зарбаи гармӣ
● Сӯрохии паст
● Миқдори хеле пасти ифлосӣ
Пас аз тозакунӣ, миқдори хокистарро одатан дар зери 5 ppm назорат кардан мумкин аст, ки дар баъзе маводҳои дараҷаи нимноқил ба сатҳи ифлосӣ аз 3 ppm камтар мерасад.
Ин хусусиятҳо таёқчаҳои изостатикии графити баландсифатро барои равандҳои ҳарорати баланд аз 2000°C, ки дар онҳо назорати ифлосшавӣ ва якрангии гармӣ муҳим аст, беҳтарин мегардонанд.
Нақшҳо дар истеҳсоли нимноқилҳо
Дар парвариши кристаллҳои кремний карбид (SiC) бо истифода аз раванди интиқоли буғи физикӣ (PVT), таги графит ҳам ҳамчун зарфи нигоҳдории маводи сарчашма ва ҳам қисми ҷудонашавандаи системаи майдони гармӣ амал мекунад. Таги графит, ки дар ҳарорати одатан аз 2200°C зиёд кор мекунад, бояд устувории андозаро нигоҳ дорад ва ҳамзамон градиентҳои дақиқи ҳароратро, ки барои интиқоли буғ ва ташаккули кристалл заруранд, дастгирӣ кунад. Покии ва сохтори изотропии графит мустақиман ба воридшавии ифлосӣ, тақсимоти гармӣ, суръати афзоиши кристалл ва пайдоиши нуқсон таъсир мерасонад.
Нақши таёқҳои изостатикии графити баландсифат аз истеҳсоли SiC берун рафта, ба технологияҳои пешрафтаи парвариши кристаллҳои нитриди галлий (GaN) низ таъсир мерасонад. Новобаста аз он ки дар HVPE, афзоиши флюс ё усулҳои нави истеҳсоли кристаллҳои оммавӣ истифода мешаванд, таёқҳои графитӣ муҳити устувори баландҳароратро фароҳам меоранд, ки интиқоли мавод ва ташаккули кристаллҳоро дастгирӣ мекунад ва дар айни замон хатари ифлосшавиро ба ҳадди ақалл мерасонад.
Дар истеҳсоли маводи эпитаксиалии нимноқилҳо, аз ҷумла эпитаксии SiC, афзоиши кристаллҳои AlN ва коркарди пешрафтаи нимноқилҳои пайваста, таги графит ба якрангии гармӣ ва такроршавандагии раванд мусоидат мекунад. Гузаронандагии аълои гармӣ ва муқовимат ба зарбаи гармӣ имкон медиҳад, ки дар шароити шадиди раванд кори устуворро таъмин намуда, назорати дақиқи механизмҳои бухоршавӣ, сублиматсия ва таҳшиншавиро дастгирӣ мекунад.
Тахтаҳои изостатикии графити тозагии баланд инчунин дар истеҳсоли маводҳои пешрафтаи сафолӣ ва хокаҳои нимноқилҳои насли сеюм нақши муҳим мебозанд. Ҳангоми пухтани карбиди кремний, нитриди алюминий, нитриди бор ва дигар сафолҳои баландсифат, тахта муҳити аз ҷиҳати кимиёвӣ устувор ва аз ҷиҳати гармӣ яксонро фароҳам меорад, ки зичиро афзоиш медиҳад ва ҳамзамон ифлосшавиро кам мекунад. Беҳбудиҳои дар натиҷа дар тозагии мавод, гузаронандагии гармӣ ва кори механикӣ барои истифода аз ҷузъҳои таҷҳизоти нимноқил то бастабандии электронии пуриқтидор муҳиманд.
Тамоюлҳои соҳа ва рушди оянда
Ҳангоме ки нимноқилҳои дорои фосилаи васеъ саноати электроникаи барқро тағйир медиҳанд, талабот ба таги графитҳои пешрафта босуръат меафзояд.
Талабот ба тозагии ултра баланд
Барои дастгирии андозаи калонтари кристаллҳо ва зичии пасттари нуқсонҳо, дар оянда истифодаҳои нимноқилҳо сатҳи ифлосиро аз 5 ppm камтар ва дар баъзе мавридҳо ба 1 ppm наздик шуданро талаб мекунанд.
Технологияҳои рӯйпӯшкунӣ
Рӯйпӯшҳои пешрафтаи сатҳӣ ба таги графитӣ бештар истифода мешаванд, аз ҷумла:
● Пӯшиши карбиди силикон (SiC)
● Пӯшиши карбиди тантал (TaC)
● Рӯйпӯши карбони пиролитикӣ (PyC)
Ин рӯйпӯшҳо хусусиятҳои зеринро беҳтар мекунанд:
● Муқовимат ба зангзанӣ
● Устувории гармӣ
● Иҷрои якумрӣ
● Тозагии раванд
● Тарҳҳои калонтари зарфҳои таги калонтар
Тиҷоратикунонии:
● Вафлиҳои SiC-и 8-дюйма
● Субстратҳои калонтари GaN
● Маводҳои нимноқилии пешрафтаи барқӣ
таҳияи тачҳизоти графити калонтар ва аз ҷиҳати андоза устувортарро пеш мебарад, ки қодиранд назорати дақиқи гармиро дар давраҳои тӯлонии истеҳсолӣ нигоҳ доранд.
