Ýokary arassalykly izostatik grafit krest

“VET Energy” ýokary hilli önümleri öndürmekde ýöriteleşýärÝokary arassalykly izostatik grafit tigelýarymgeçiriji we ösen materiallaryň talap edilýän ulanylyşlary üçin niýetlenendir. Ultra inçe däneli izostatik grafitden öndürilen we ýokary temperaturaly galogen arassalaýyş prosesleri arkaly arassalanan grafit tigellerimiz adatdan daşary termal durnuklylygy, pes garyndy derejesini we ekstremal iş şertlerinde ajaýyp ölçegli yzygiderliligi hödürleýär.

SiC kristallarynyň ösdürilmeginde, GaN kristallarynyň öndürilişinde, epitaksial materiallaryň öndürilişinde we ösen keramiki sinterlemede giňden ulanylýar, Ýokary arassalykIzostatik Grafit Çöregis häzirki zaman ýarymgeçiriji önümçiliginde kristal hilini, proses durnuklylygyny we önümçilik netijeliligini üpjün etmekde möhüm rol oýnaýar.

Ýokary arassalykly izostatik grafit tigel näme?

Ýokary arassa izostatik grafit tigel izostatik presleme prosesi arkaly emele gelen izotrop grafit materiallaryndan öndürilen takyk inženerçilik gapdyr. Adaty galyplanan grafit önümleri bilen deňeşdirilende, izostatik grafit aşakdakylary hödürleýär:

● Ähli ugurlar boýunça birmeňzeş mikrostruktura

● Ýokary dykyzlyk we mehaniki berklik

● Ýokary derejeli ýylylyk geçirijiligi

● Termal şoka ajaýyp garşylyk

● Pes gözeneklilik

● Has az garyndylyk mukdary

Arassalanandan soň, kül mukdaryny adatça 5 ppm-den aşak gözegçilik edip bolýar, käbir ýarymgeçiriji derejeli materiallar bolsa 3 ppm-den aşak hapaçylyk derejesine ýetýär.

Bu häsiýetler ýokary arassalykly izostatik grafit kružellerini hapalanmanyň öňüni almak we termal deňlik möhüm bolan 2000°C-den ýokary ýokary temperatura prosesleri üçin ideal edýär.

Ýarymgeçirijiler önümçiliginde rollar

Fiziki bug daşamak (PVT) prosesini ulanyp, kremniý karbidi (SiC) kristallaryny ösdürmekde grafit tigelleri hem çeşme materialyny saklaýan gap, hem-de termal meýdan ulgamynyň aýrylmaz bölegi hökmünde hyzmat edýär. Adatça 2200°C-den ýokary temperaturada işleýän tigel bug daşamak we kristallaryň emele gelmegi üçin zerur bolan takyk temperatura gradientlerini goldap, ölçeg durnuklylygyny saklamalydyr. Grafitiň arassalygy we izotrop gurluşy garyndylaryň goşulmagyna, termal paýlanyşyna, kristallaryň ösüş tizligine we kemçilikleriň döremegine gönüden-göni täsir edýär.

Ýokary arassa izostatik grafit kružkalarynyň roly SiC önümçiliginden daşary, ösen galliý nitridi (GaN) kristal ösdürip ýetişdirmek tehnologiýalaryna çenli giňelýär. HVPE-de, flux ösdürip ýetişdirmekde ýa-da täze emele gelýän kristal öndürmek usullarynda ulanylsa-da, grafit kružkalary hapalanma töwekgelçiligini iň pes derejä düşürip, materiallaryň daşalmagyny we kristallaryň emele gelmegini goldaýan durnukly ýokary temperatura gurşawyny üpjün edýär.

SiC epitaksiýasyny, AlN kristallarynyň ösüşini we ösen birleşme ýarymgeçirijileri gaýtadan işlemegi öz içine alýan ýarymgeçiriji epitaksial material önümçiliginde grafit tigelleri termal deňlige we prosesiň gaýtalanmagyna goşant goşýar. Olaryň ajaýyp termal geçirijiligi we termal şoka garşy durnuklylygy ekstremal proses şertlerinde durnukly işlemegi üpjün edýär, buharlanma, sublimasiýa we çökündi mehanizmleriniň takyk gözegçiligini goldaýar.

Ýokary arassalykly izostatik grafit tigelleri ösen keramiki materiallaryň we üçünji nesil ýarymgeçiriji poroşoklaryň önümçiliginde hem möhüm rol oýnaýar. Kremniý karbidiniň, alýumin nitridiniň, bor nitridiniň we beýleki ýokary öndürijilikli keramikalaryň bişirilmegi mahalynda, tigel himiki taýdan durnukly we termo deň gurşaw döredýär, bu bolsa hapalanmany azaltmak bilen birlikde dykyzlaşmaga ýardam edýär. Materialyň arassalygynda, termogeçirijiliginde we mehaniki işde gazanylan gowulaşmalar ýarymgeçiriji enjamlaryň böleklerinden ýokary kuwwatly elektron gaplamalaryna çenli dürli ulanylyşlar üçin örän möhümdir.

Senagatyň meýilleri we geljekki ösüşi

Giň zolakly ýarymgeçirijiler elektrik elektronika senagatyny özgertmegini dowam etdirýän mahaly, ösen grafit tigellerine bolan isleg çalt depginde artýar.

Ultra-Ýokary Arassalyk Talaplary

Geljekki ýarymgeçirijileriň ulanylyşlary uly kristal ölçeglerini we pes kemçilik dykyzlygyny goldamak üçin 5 ppm-den aşak garyndy derejesini we käbir ýagdaýlarda 1 ppm-e golaýlamagy talap edýär.

Örtük tehnologiýalary

Grafit tigellerine, şol sanda aşakdakylara çenli ösen ýüz örtükleri barha köp ulanylýar:

● Kremniý karbidi (SiC) örtügi

● Tantal karbidi (TaC) örtügi

● Pirolitik uglerod (PyC) örtügi

Bu örtükler aşakdakylary gowulandyrýar:

● Korroziýa garşylygy

● Termal durnuklylyk

● Ömürboýy iş görkezijisi

● Proses arassalygy

● Has uly tigir dizaýnlary

Kommersiýalaşdyrmak:

● 8 dýuýmlyk SiC waferleri

● Has uly GaN substratlary

● Öňdebaryjy güýç ýarymgeçiriji materiallary

uzaldylan önümçilik sikllerinde takyk termal gözegçiligi saklap bilýän has uly, has ölçegli durnukly grafit tigelleriniň işlenip düzülmegine itergi berýär.