VET Energy උසස් තත්ත්වයේ නිෂ්පාදනය සඳහා විශේෂිත වේඅධි-පිරිසිදු සමස්ථානික මිනිරන් කෲසයක්ඉල්ලුමක් ඇති අර්ධ සන්නායක සහ උසස් ද්රව්ය යෙදුම් සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. අතිශය සියුම් ධාන්ය සමස්ථානික මිනිරන් වලින් නිෂ්පාදනය කර ඉහළ උෂ්ණත්ව හැලජන් පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලීන් හරහා පිරිසිදු කර ඇති අපගේ මිනිරන් කබොල ආන්තික මෙහෙයුම් තත්වයන් යටතේ සුවිශේෂී තාප ස්ථායිතාව, අඩු අපිරිසිදු මට්ටම් සහ කැපී පෙනෙන මාන අනුකූලතාවක් ලබා දෙයි.
SiC ස්ඵටික වර්ධනය, GaN ස්ඵටික නිෂ්පාදනය, එපිටැක්සියල් ද්රව්ය නිෂ්පාදනය සහ උසස් සෙරමික් සින්ටර් කිරීම, අධි-සංශුද්ධතාවය සඳහා බහුලව භාවිතා වේ.සමස්ථිතික මිනිරන් කෲසයක්නවීන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය පුරාවට ස්ඵටික ගුණාත්මකභාවය, ක්රියාවලි ස්ථායිතාව සහ නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සහතික කිරීමේදී s තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.
අධි-පිරිසිදු සමස්ථානික ග්රැෆයිට් කෲසයක් යනු කුමක්ද?
අධි-සංශුද්ධතා සමස්ථානික ග්රැෆයිට් කෲසිබල් යනු සමස්ථානික පීඩන ක්රියාවලිය හරහා සාදන ලද සමස්ථානික ග්රැෆයිට් ද්රව්ය වලින් නිපදවන ලද නිරවද්යතාවයෙන් ඉංජිනේරු කරන ලද බහාලුමකි. සාම්ප්රදායික අච්චු කරන ලද ග්රැෆයිට් නිෂ්පාදන සමඟ සසඳන විට, සමස්ථානික ග්රැෆයිට් ලබා දෙන්නේ:
● සෑම දිශාවකටම ඒකාකාර ක්ෂුද්ර ව්යුහය
● වැඩි ඝනත්වය සහ යාන්ත්රික ශක්තිය
● උසස් තාප සන්නායකතාවය
● විශිෂ්ට තාප කම්පන ප්රතිරෝධයක්
● අඩු සිදුරු සහිත බව
● අතිශය අඩු අපිරිසිදු අන්තර්ගතය
පිරිසිදු කිරීමෙන් පසු, අළු අන්තර්ගතය සාමාන්යයෙන් 5 ppm ට වඩා අඩුවෙන් පාලනය කළ හැකි අතර, සමහර අර්ධ සන්නායක ශ්රේණියේ ද්රව්ය 3 ppm ට වඩා අඩු අපිරිසිදු මට්ටම් ලබා ගනී.
මෙම ලක්ෂණ නිසා, දූෂණය පාලනය සහ තාප ඒකාකාරිත්වය අත්යවශ්ය වන 2,000°C ඉක්මවන ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්රියාවලීන් සඳහා අධි-සංශුද්ධතා සමස්ථානික ග්රැෆයිට් කෲස වඩාත් සුදුසු වේ.
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ භූමිකාවන්
භෞතික වාෂ්ප ප්රවාහන (PVT) ක්රියාවලිය භාවිතා කරමින් සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) ස්ඵටික වර්ධනයේදී, ග්රැෆයිට් කබොල ප්රභව ද්රව්ය අන්තර්ගත භාජනයක් ලෙස සහ තාප ක්ෂේත්ර පද්ධතියේ අනිවාර්ය අංගයක් ලෙස ක්රියා කරයි. සාමාන්යයෙන් 2,200°C ඉක්මවන උෂ්ණත්වවලදී ක්රියාත්මක වන කබොල, වාෂ්ප ප්රවාහනය සහ ස්ඵටික සෑදීම සඳහා අවශ්ය නිශ්චිත උෂ්ණත්ව අනුක්රමණයන්ට සහාය වෙමින් මාන ස්ථායිතාව පවත්වා ගත යුතුය. ග්රැෆයිට් වල සංශුද්ධතාවය සහ සමස්ථානික ව්යුහය අපිරිසිදුකම ඇතුළත් කිරීම, තාප ව්යාප්තිය, ස්ඵටික වර්ධන වේගය සහ දෝෂ උත්පාදනයට සෘජුවම බලපායි.
අධි-සංශුද්ධතා සමස්ථානික ග්රැෆයිට් කෲසිබල්වල කාර්යභාරය SiC නිෂ්පාදනයෙන් ඔබ්බට දියුණු ගැලියම් නයිට්රයිඩ් (GaN) ස්ඵටික වර්ධන තාක්ෂණයන් දක්වා විහිදේ. HVPE, ප්රවාහ වර්ධනය හෝ නැගී එන තොග ස්ඵටික නිෂ්පාදන ක්රමවල භාවිතා කළත්, ග්රැෆයිට් කෲසිබල් දූෂණය වීමේ අවදානම අවම කරමින් ද්රව්ය ප්රවාහනය සහ ස්ඵටික සෑදීම සඳහා සහාය වන ස්ථාවර ඉහළ-උෂ්ණත්ව පරිසරයක් සපයයි.
SiC එපිටැක්සි, AlN ස්ඵටික වර්ධනය සහ උසස් සංයෝග අර්ධ සන්නායක සැකසුම් ඇතුළුව අර්ධ සන්නායක එපිටැක්සියල් ද්රව්ය නිෂ්පාදනයේදී, ග්රැෆයිට් කබොල තාප ඒකාකාරිත්වයට සහ ක්රියාවලි පුනරාවර්තනයට දායක වේ. ඒවායේ විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය සහ තාප කම්පනයට ප්රතිරෝධය ආන්තික ක්රියාවලි තත්වයන් යටතේ ස්ථාවර ක්රියාකාරිත්වයට ඉඩ සලසයි, වාෂ්පීකරණය, උත්පත්තිය සහ තැන්පත් කිරීමේ යාන්ත්රණයන් නිවැරදිව පාලනය කිරීමට සහාය වේ.
උසස් සෙරමික් ද්රව්ය සහ තුන්වන පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායක කුඩු නිෂ්පාදනය කිරීමේදී අධි-සංශුද්ධතා සමස්ථානික ග්රැෆයිට් කෲසිබල් ද වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. සිලිකන් කාබයිඩ්, ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ්, බෝරෝන් නයිට්රයිඩ් සහ අනෙකුත් ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත සෙරමික් සින්ටර් කිරීමේදී, කෲසිබල් දූෂණය අවම කරන අතරම ඝනත්වය ප්රවර්ධනය කරන රසායනිකව ස්ථායී සහ තාප ඒකාකාර පරිසරයක් සපයයි. ද්රව්ය සංශුද්ධතාවය, තාප සන්නායකතාවය සහ යාන්ත්රික ක්රියාකාරිත්වයේ ප්රතිඵලයක් ලෙස වැඩිදියුණු කිරීම් අර්ධ සන්නායක උපකරණ සංරචකවල සිට අධි බලැති ඉලෙක්ට්රොනික ඇසුරුම්කරණය දක්වා යෙදුම් සඳහා ඉතා වැදගත් වේ.
කර්මාන්ත ප්රවණතා සහ අනාගත සංවර්ධනය
පුළුල් කලාප පරතරය සහිත අර්ධ සන්නායක බලශක්ති ඉලෙක්ට්රොනික කර්මාන්තය පරිවර්තනය කිරීම අඛණ්ඩව සිදු කරන බැවින්, දියුණු මිනිරන් කබොල සඳහා ඇති ඉල්ලුම වේගයෙන් වැඩි වෙමින් පවතී.
අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතා අවශ්යතා
අනාගත අර්ධ සන්නායක යෙදීම් සඳහා 5 ppm ට අඩු අපිරිසිදු මට්ටම් අවශ්ය වන අතර, සමහර අවස්ථාවලදී, විශාල ස්ඵටික ප්රමාණ සහ අඩු දෝෂ ඝනත්වයන් සඳහා සහාය වීම සඳහා 1 ppm ට ළඟා වේ.
ආලේපන තාක්ෂණයන්
ග්රැෆයිට් කබොල සඳහා උසස් මතුපිට ආලේපන වැඩි වැඩියෙන් යොදනු ලැබේ, ඒවාට ඇතුළත් වන්නේ:
● සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) ආලේපනය
● ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආලේපනය
● පයිරොලයිටික් කාබන් (PyC) ආලේපනය
මෙම ආලේපන වැඩි දියුණු කරයි:
● විඛාදන ප්රතිරෝධය
● තාප ස්ථායිතාව
● ජීවිත කාලය පුරාම කාර්ය සාධනය
● ක්රියාවලි පිරිසිදුකම
● විශාල කෲසිබල් මෝස්තර
වාණිජකරණය:
● අඟල් 8 SiC වේෆර්
● විශාල GaN උපස්ථර
● උසස් බල අර්ධ සන්නායක ද්රව්ය
දීර්ඝ නිෂ්පාදන චක්ර මත නිරවද්ය තාප පාලනයක් පවත්වා ගැනීමට හැකියාව ඇති විශාල, වඩා මානයන්ගෙන් ස්ථායී ග්රැෆයිට් කබොල සංවර්ධනය කිරීම මෙහෙයවයි.
-
චීන කර්මාන්තශාලා මිනිරන් තහඩු ස්ලැබ් මිල ගණන්
-
VET නම්යශීලී මිනිරන් කඩදාසි ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ස්වභාවික...
-
කාවද්දන ලද යාන්ත්රික මුද්රා මිනිරන් වළල්ල ...
-
C/C සංයුක්ත හෝ කාබන්-කාබන් සංයුක්ත ද්රව්ය
-
ග්රැෆයිට් බුෂිං කාවද්දන ලද තෙරපුම තෙල් රහිත ග්රා...
-
මිනිරන් කොටස් සහ සංරචක මිනිරන් අච්චු Gr...