VET Energy ຊ່ຽວຊານໃນການຜະລິດທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຖ້ວຍກຣາໄຟດໄອໂຊສະແຕຕິກທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຖືກອອກແບບມາສຳລັບການນຳໃຊ້ວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການສູງ ແລະ ວັດສະດຸທີ່ກ້າວໜ້າ. ຜະລິດຈາກແກຣໄຟທ໌ isostatic ເມັດລະອຽດພິເສດ ແລະ ບໍລິສຸດຜ່ານຂະບວນການກັ່ນຕອງຮາໂລເຈນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ຖ້ວຍແກຣໄຟທ໌ຂອງພວກເຮົາມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ລະດັບສິ່ງປົນເປື້ອນຕ່ຳ, ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງມິຕິທີ່ໂດດເດັ່ນພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການເຮັດວຽກທີ່ຮຸນແຮງ.
ນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ SiC, ການຜະລິດຜລຶກ GaN, ການຜະລິດວັດສະດຸ epitaxial, ແລະ ການເຜົາເຊລາມິກຂັ້ນສູງ, ຄວາມບໍລິສຸດສູງຖ້ວຍກຣາໄຟດໄອໂຊສະແຕຕິກມີບົດບາດສຳຄັນໃນການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງຜລຶກ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ, ແລະ ປະສິດທິພາບການຜະລິດຕະຫຼອດການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ທັນສະໄໝ.
ຖ້ວຍກຣາໄຟດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແບບໄອໂຊສະແຕຕິກແມ່ນຫຍັງ?
ຖ້ວຍກຣາໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນພາຊະນະທີ່ຜະລິດຈາກວັດສະດຸກຣາໄຟທ໌ໄອໂຊໂທຣປິກທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍຜ່ານຂະບວນການກົດດັນແບບໄອໂຊສະຖິດ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບຜະລິດຕະພັນກຣາໄຟທ໌ທີ່ຜະລິດແບບທຳມະດາ, ກຣາໄຟທ໌ໄອໂຊສະຖິດສະເໜີ:
● ໂຄງສ້າງຈຸลະພາກທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທຸກທິດທາງ
● ຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມເຂັ້ມແຂງທາງກົນຈັກສູງຂຶ້ນ
● ການນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ
● ທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນໄດ້ດີເລີດ
● ມີຄວາມพรຸນຕໍ່າ
● ມີປະລິມານສິ່ງປົນເປື້ອນຕໍ່າຫຼາຍ
ຫຼັງຈາກການກັ່ນຕອງແລ້ວ, ປະລິມານຂີ້ເທົ່າສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ຕໍ່າກວ່າ 5 ppm, ໂດຍວັດສະດຸຊັ້ນເຄິ່ງຕົວນຳບາງຊະນິດມີລະດັບສິ່ງປົນເປື້ອນຕໍ່າກວ່າ 3 ppm.
ລັກສະນະເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ຖ້ວຍລະລາຍກຣາໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ເໝາະສຳລັບຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 2,000°C, ບ່ອນທີ່ການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນ ແລະ ຄວາມສະເໝີພາບທາງຄວາມຮ້ອນແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນ.
ພາລະບົດບາດໃນການຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ
ໃນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກຊິລິໂຄນຄາໄບ (SiC) ໂດຍໃຊ້ຂະບວນການຂົນສົ່ງໄອທາງກາຍະພາບ (PVT), ຖ້ວຍແກ້ວແກຣໄຟເຮັດໜ້າທີ່ເປັນທັງພາຊະນະບັນຈຸວັດສະດຸຕົ້ນກຳເນີດ ແລະ ເປັນສ່ວນສຳຄັນຂອງລະບົບສະໜາມຄວາມຮ້ອນ. ການເຮັດວຽກທີ່ອຸນຫະພູມໂດຍທົ່ວໄປເກີນ 2,200°C, ຖ້ວຍແກ້ວຕ້ອງຮັກສາສະຖຽນລະພາບຂອງມິຕິ ໃນຂະນະທີ່ຮອງຮັບການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ແນ່ນອນທີ່ຕ້ອງການສຳລັບການຂົນສົ່ງໄອ ແລະ ການສ້າງຜລຶກ. ຄວາມບໍລິສຸດ ແລະ ໂຄງສ້າງໄອໂຊໂທຣປິກຂອງແກຣໄຟມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ການລວມຕົວຂອງສິ່ງເຈືອປົນ, ການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນ, ອັດຕາການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ, ແລະ ການສ້າງຂໍ້ບົກພ່ອງ.
ບົດບາດຂອງຖ້ວຍກຣາໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແບບໄອໂຊສະແຕັກຂະຫຍາຍອອກໄປນອກເໜືອຈາກການຜະລິດ SiC ໄປສູ່ເຕັກໂນໂລຊີການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ Gallium Nitride (GaN) ທີ່ກ້າວໜ້າ. ບໍ່ວ່າຈະໃຊ້ໃນ HVPE, ການເຕີບໂຕຂອງຟລັກສ໌, ຫຼືວິທີການຜະລິດຜລຶກຂະໜາດໃຫຍ່ທີ່ເກີດຂຶ້ນໃໝ່, ຖ້ວຍກຣາໄຟທ໌ໃຫ້ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງທີ່ໝັ້ນຄົງເຊິ່ງສະໜັບສະໜູນການຂົນສົ່ງວັດສະດຸ ແລະ ການສ້າງຜລຶກ ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ.
ໃນການຜະລິດວັດສະດຸ semiconductor epitaxial, ລວມທັງ SiC epitaxy, ການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ AlN, ແລະ ການປຸງແຕ່ງ semiconductor ປະສົມຂັ້ນສູງ, ຖ້ວຍ graphite ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳອີກຂອງຂະບວນການ. ການນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນຂອງພວກມັນຊ່ວຍໃຫ້ການເຮັດວຽກມີຄວາມໝັ້ນຄົງພາຍໃຕ້ສະພາບຂະບວນການທີ່ຮຸນແຮງ, ສະໜັບສະໜູນການຄວບຄຸມກົນໄກການລະເຫີຍ, ການລະເຫີຍ ແລະ ການວາງຊັ້ນທີ່ແນ່ນອນ.
ຖ້ວຍກຣາໄຟດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແບບໄອໂຊສະແຕັກຍັງມີບົດບາດສຳຄັນໃນການຜະລິດວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ກ້າວໜ້າ ແລະ ຜົງເຄິ່ງຕົວນຳລຸ້ນທີສາມ. ໃນລະຫວ່າງການເຜົາຊິລິກອນຄາໄບ, ອາລູມິນຽມໄນໄຕຣດ, ໂບຣອນໄນໄຕຣດ ແລະ ເຊລາມິກປະສິດທິພາບສູງອື່ນໆ, ຖ້ວຍດັ່ງກ່າວໃຫ້ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ໝັ້ນຄົງທາງເຄມີ ແລະ ເປັນເອກະພາບທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ສົ່ງເສີມຄວາມໜາແໜ້ນໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ. ການປັບປຸງທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ, ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ ແລະ ປະສິດທິພາບທາງກົນຈັກແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບການນຳໃຊ້ຕັ້ງແຕ່ອົງປະກອບອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳຈົນເຖິງການຫຸ້ມຫໍ່ເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານສູງ.
ແນວໂນ້ມຂອງອຸດສາຫະກໍາ ແລະ ການພັດທະນາໃນອະນາຄົດ
ຍ້ອນວ່າເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີແບນວິດກວ້າງສືບຕໍ່ປ່ຽນແປງອຸດສາຫະກຳເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານ, ຄວາມຕ້ອງການສຳລັບຖ້ວຍແກ້ວແກຣໄຟທີ່ກ້າວໜ້າກຳລັງເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງໄວວາ.
ຄວາມຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດ
ການນຳໃຊ້ເຊມິຄອນດັກເຕີໃນອະນາຄົດຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີລະດັບສິ່ງປົນເປື້ອນຕ່ຳກວ່າ 5 ppm ແລະໃນບາງກໍລະນີ, ຄວນຈະໃກ້ກັບ 1 ppm ເພື່ອຮອງຮັບຂະໜາດຂອງຜລຶກທີ່ໃຫຍ່ກວ່າ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງຕ່ຳກວ່າ.
ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບ
ການເຄືອບພື້ນຜິວທີ່ກ້າວໜ້າແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ເພີ່ມຂຶ້ນໃນຖ້ວຍແກ້ວແກຣໄຟ, ລວມທັງ:
● ການເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບ (SiC)
● ການເຄືອບ Tantalum Carbide (TaC)
● ການເຄືອບຄາບອນໄພໂຣໄລຕິກ (PyC)
ການເຄືອບເຫຼົ່ານີ້ຊ່ວຍເສີມສ້າງ:
● ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ
● ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ
● ປະສິດທິພາບຕະຫຼອດຊີວິດ
● ຄວາມສະອາດຂອງຂະບວນການ
● ການອອກແບບ Crucible ຂະໜາດໃຫຍ່ກວ່າ
ການຄ້າຂອງ:
● ເວເຟີ SiC ຂະໜາດ 8 ນິ້ວ
● ຊັ້ນຮອງ GaN ທີ່ໃຫຍ່ກວ່າ
● ວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳພະລັງງານຂັ້ນສູງ
ພວມຊຸກຍູ້ການພັດທະນາຖ້ວຍລະລາຍແກຣໄຟທີ່ມີຂະໜາດໃຫຍ່ກວ່າ ແລະ ມີຄວາມໝັ້ນຄົງຫຼາຍຂຶ້ນ ເຊິ່ງສາມາດຮັກສາການຄວບຄຸມຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນຕະຫຼອດວົງຈອນການຜະລິດທີ່ຍາວນານ.
