جزء نصف قمري من الجرافيت المطلي بكربيد السيليكونيُعدّ هذا المكون عنصرًا أساسيًا يُستخدم في عمليات تصنيع أشباه الموصلات، وخاصةً في معدات الترسيب الطبقي لسيليكون كاربيد. ويحدد تصميمه الهيكلي وخصائص مادته بشكل مباشر جودة وكفاءة إنتاج رقائق الترسيب الطبقي.
بناء غرفة التفاعل:
يتكون الجزء الهلالي من جزأين، الجزء العلوي والجزء السفلي، واللذان يتم تثبيتهما معًا لتشكيل حجرة نمو مغلقة، والتي تستوعب ركيزة كربيد السيليكون (عادة 4H-SiC أو 6H-SiC) وتحقق نمو الطبقة فوق المحورية من خلال التحكم الدقيق في مجال تدفق الغاز (مثل خليط من SiH₄ و C₃H₈ و H₂).
تنظيم مجال درجة الحرارة:
يمكن لقاعدة الجرافيت عالية النقاء المقترنة بملف التسخين الحثي الحفاظ على تجانس درجة حرارة الحجرة (في حدود ±5 درجة مئوية) عند درجة حرارة عالية تتراوح بين 1500 و1700 درجة مئوية لضمان اتساق سمك الطبقة المترسبة.
توجيه تدفق الهواء:
من خلال تصميم موضع مدخل ومخرج الهواء (مثل مدخل الهواء الجانبي ومخرج الهواء العلوي لجسم الفرن الأفقي)، يتم توجيه التدفق الصفائحي لغاز التفاعل عبر سطح الركيزة لتقليل عيوب النمو الناتجة عن الاضطراب.
المادة الأساسية: جرافيت عالي النقاء
متطلبات النقاء:محتوى الكربون ≥99.99%، ومحتوى الرماد ≤5 جزء في المليون، لضمان عدم ترسب أي شوائب لتلويث الطبقة فوق المحورية عند درجات الحرارة العالية.
مزايا الأداء:
موصلية حرارية عالية:تصل الموصلية الحرارية عند درجة حرارة الغرفة إلى 150 واط/(م·ك)، وهو ما يقارب مستوى النحاس ويمكنه نقل الحرارة بسرعة.
معامل تمدد منخفض:5×10-6/℃ (25-1000℃)، بما يتوافق مع ركيزة كربيد السيليكون (4.2×10-6/℃)، مما يقلل من تشقق الطلاء الناتج عن الإجهاد الحراري.
دقة المعالجة:يتم تحقيق تفاوت في الأبعاد بمقدار ±0.05 مم من خلال التصنيع باستخدام الحاسوب لضمان إحكام إغلاق الحجرة.
تطبيقات متباينة لـ CVD SiC و CVD TaC
| طلاء | عملية | مقارنة | التطبيق النموذجي |
| كربيد السيليكون المترسب كيميائياً من البخار | درجة الحرارة: 1000-1200 درجة مئوية، الضغط: 10-100 تور | صلابة HV2500، سمك 50-100 ميكرومتر، مقاومة ممتازة للأكسدة (مستقرة تحت 1600 درجة مئوية) | أفران الترسيب الطبقي العالمية، مناسبة للأجواء التقليدية مثل الهيدروجين والسيليان |
| CVD-TaC | درجة الحرارة: 1600-1800 درجة مئوية، الضغط: 1-10 تور | صلابة HV3000، سمك 20-50 ميكرومتر، مقاومة للتآكل بشكل كبير (يمكنها تحمل الغازات المسببة للتآكل مثل HCl و NH₃ وما إلى ذلك). | البيئات شديدة التآكل (مثل معدات الترسيب والحفر لطبقة نتريد الغاليوم)، أو العمليات الخاصة التي تتطلب درجات حرارة فائقة الارتفاع تصل إلى 2600 درجة مئوية |
شركة VET Energy هي شركة تصنيع محترفة تركز على البحث والتطوير وإنتاج المواد المتقدمة عالية الجودة مثل الجرافيت وكربيد السيليكون والكوارتز، بالإضافة إلى معالجة المواد مثل طلاء SiC وطلاء TaC وطلاء الكربون الزجاجي وطلاء الكربون المحلل حرارياً، وما إلى ذلك. وتستخدم المنتجات على نطاق واسع في مجالات الطاقة الشمسية الكهروضوئية وأشباه الموصلات والطاقة الجديدة والمعادن، وما إلى ذلك.
يتألف فريقنا التقني من أفضل المؤسسات البحثية المحلية، ويمكنه تقديم حلول مواد أكثر احترافية لكم.
تشمل مزايا VET Energy ما يلي:
• مصنع خاص ومختبر متخصص؛
• مستويات نقاء وجودة رائدة في الصناعة؛
• سعر تنافسي ووقت توصيل سريع؛
• شراكات صناعية متعددة على مستوى العالم؛
نرحب بكم لزيارة مصنعنا ومختبرنا في أي وقت!
