قطعة نصف قمر من الجرافيت المطلي بطبقة من كربيد السيليكونيُعدّ مكونًا أساسيًا يُستخدم في عمليات تصنيع أشباه الموصلات، وخاصةً في معدات كربيد السيليكون (SiC) الفوقية. يُحدد تصميمه الهيكلي وخصائصه المادية جودة وكفاءة إنتاج الرقائق الفوقية بشكل مباشر.
بناء غرفة التفاعل:
يتكون جزء نصف القمر من جزأين، الجزء العلوي والجزء السفلي، اللذين يتم ربطهما معًا لتشكيل غرفة نمو مغلقة، والتي تستوعب ركيزة كربيد السيليكون (عادةً 4H-SiC أو 6H-SiC) وتحقق نمو الطبقة الظهارية عن طريق التحكم بدقة في مجال تدفق الغاز (مثل خليط من SiH₄ وC₃H₈ وH₂).
تنظيم مجال درجة الحرارة:
يمكن لقاعدة الجرافيت عالية النقاء المدمجة مع ملف التسخين الحثي الحفاظ على اتساق درجة حرارة الغرفة (ضمن ± 5 درجة مئوية) عند درجة حرارة عالية تبلغ 1500-1700 درجة مئوية لضمان اتساق سمك الطبقة الظهارية.
توجيه تدفق الهواء:
من خلال تصميم موضع مدخل ومخرج الهواء (مثل مدخل الهواء الجانبي ومخرج الهواء العلوي لجسم الفرن الأفقي)، يتم توجيه التدفق الصفحي لغاز التفاعل عبر سطح الركيزة لتقليل عيوب النمو الناجمة عن الاضطرابات.
المادة الأساسية: الجرافيت عالي النقاء
متطلبات النقاء:محتوى الكربون ≥99.99%، ومحتوى الرماد ≤5 جزء في المليون، لضمان عدم ترسب الشوائب التي قد تلوث الطبقة الطلائية عند درجات الحرارة العالية.
مزايا الأداء:
الموصلية الحرارية العالية:تصل الموصلية الحرارية في درجة حرارة الغرفة إلى 150 واط/(م・ك)، وهي قريبة من مستوى النحاس ويمكنها نقل الحرارة بسرعة.
معامل التمدد المنخفض:5×10-6/℃ (25-1000℃)، مطابقة لركيزة كربيد السيليكون (4.2×10-6/℃)، مما يقلل من تشقق الطلاء الناتج عن الإجهاد الحراري.
دقة المعالجة:يتم تحقيق التسامح البعدي ±0.05 مم من خلال التصنيع باستخدام الحاسب الآلي لضمان إحكام إغلاق الغرفة.
التطبيقات المختلفة لـ CVD SiC وCVD TaC
| طلاء | عملية | مقارنة | التطبيق النموذجي |
| CVD-SiC | درجة الحرارة: 1000-1200 درجة مئوية، الضغط: 10-100 تور | صلابة HV2500، سمك 50-100 ميكرومتر، مقاومة ممتازة للأكسدة (مستقرة تحت 1600 درجة مئوية) | أفران التداخل العالمية، مناسبة للأجواء التقليدية مثل الهيدروجين والسيلان |
| CVD-TaC | درجة الحرارة: 1600-1800 درجة مئوية الضغط: 1-10 تور | صلابة HV3000، سمك 20-50 ميكرومتر، مقاومة للغاية للتآكل (يمكن أن تتحمل الغازات المسببة للتآكل مثل HCl وNH₃ وما إلى ذلك) | البيئات شديدة التآكل (مثل معدات النقش والترسيب GaN)، أو العمليات الخاصة التي تتطلب درجات حرارة عالية للغاية تصل إلى 2600 درجة مئوية |
شركة VET Energy هي شركة تصنيع متخصصة في البحث والتطوير وإنتاج مواد متطورة عالية الجودة، مثل الجرافيت وكربيد السيليكون والكوارتز، بالإضافة إلى معالجة المواد مثل طلاء SiC وTaC وطلاء الكربون الزجاجي وطلاء الكربون الحراري، وغيرها. تُستخدم منتجاتنا على نطاق واسع في الطاقة الكهروضوئية، وأشباه الموصلات، والطاقة الجديدة، والمعادن، وغيرها.
يأتي فريقنا الفني من أفضل المؤسسات البحثية المحلية، ويمكنه تقديم حلول مادية أكثر احترافية لك.
تتضمن مزايا VET Energy ما يلي:
• مصنع خاص ومختبر احترافي؛
• مستويات النقاء والجودة الرائدة في الصناعة؛
• سعر تنافسي ووقت تسليم سريع؛
• شراكات صناعية متعددة في جميع أنحاء العالم؛
نرحب بكم لزيارة مصنعنا ومختبرنا في أي وقت!
