قارب رقائق الكوارتزيُعد هذا المنتج أداةً أساسيةً في تصنيع أشباه الموصلات، وإنتاج الخلايا الكهروضوئية، وبحوث وتطوير المواد المتقدمة، وهو مصمم لنقل الرقاقات وتثبيتها بثبات في العمليات ذات درجات الحرارة العالية. يُصنع هذا المنتج من السيليكا المنصهرة فائقة النقاء (SiO2)، ويتميز بمقاومة ممتازة للحرارة، وثبات كيميائي عالٍ، وانخفاض شديد في التلوث المعدني، مما يجعله مناسبًا لأفران الانتشار، وأفران الأكسدة، وتقنيات الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما/الترسيب الكيميائي للبخار ذي الضغط المنخفض، وغيرها من المعدات، ويُستخدم على نطاق واسع في طلاء الرقاقات، وزرع الأيونات، والتلدين في درجات الحرارة العالية، وغيرها من العمليات الأساسية.
المزايا الأساسية لقارب الكوارتز من شركة VET Energy:
- مادة فائقة النقاء
النقاء ≥99.99%: محتوى الشوائب (Na، K، Fe، إلخ) <5 جزء في المليون، مما يمنع تلوث الرقاقة ويضمن إنتاجية الرقائق.
انخفاض الترسيب والامتصاص: السطح مصقول للغاية (Ra≤0.4μm) لتقليل التصاق الجسيمات وبقايا الغاز. - ثبات حراري عالٍ
حد درجة الحرارة: درجة حرارة التشغيل على المدى الطويل 1100 درجة مئوية، وذروة قصيرة المدى 1300 درجة مئوية، بدون تشوه، بدون ترسب بلوري.
معامل تمدد حراري منخفض (5.5x10-7/℃)، مقاومة ممتازة للصدمات الحرارية، قابل للتكيف مع عملية ارتفاع وانخفاض درجة الحرارة السريعة (مثل التلدين السريع RTP). - تصميم هيكلي دقيق
دقة الفتحة ±0.1 مم: مطابقة الرقاقات من 2 بوصة إلى 12 بوصة، خطأ توحيد التباعد <0.05 مم، مما يضمن عدم وجود إزاحة في الرقاقات.
قدرة تحميل عالية: أقصى حمولة 50 رقاقة (من حيث رقاقات 12 بوصة) في قارب واحد، مما يدعم النقل المستقر للرقاقات الرقيقة (≥100 ميكرومتر). - الخمول الكيميائي
مقاومة التآكل: مقاومة للتآكل الناتج عن الأحماض (باستثناء حمض الهيدروفلوريك)، والقلويات، والمذيبات العضوية، ومتوافقة مع عملية التنظيف CMP.
إحكام ممتاز للغاز: معدل التسرب <5x10-10 باسكال.م3/ثانية، مناسب للبيئات الفراغية وبيئات الغاز الواقية. - عمر طويل وسهولة الصيانة
العمر الافتراضي ≥ 5000 دورة (في ظروف العمل العادية)، ويمكن تنظيف السطح واستخدامه بشكل متكرر، مما يقلل التكلفة الإجمالية.
التصميم المعياري: يدعم الاستبدال الجزئي (مثل سن واحد من أسنان القارب)، مما يقلل من وقت التوقف.
نقدم أسطحًا شفافة ومصنفرة حسب متطلبات العميل:
شركة نينغبو فيت لتكنولوجيا الطاقة المحدودة هي شركة ذات تقنية عالية تركز على إنتاج وبيع المواد المتقدمة عالية الجودة، وتشمل المواد والتكنولوجيا الجرافيت، وكربيد السيليكون، والسيراميك، ومعالجة الأسطح مثل طلاء SiC، وطلاء TaC، وطلاء الكربون الزجاجي، وطلاء الكربون المحلل حرارياً، وما إلى ذلك، وتستخدم هذه المنتجات على نطاق واسع في الخلايا الكهروضوئية، وأشباه الموصلات، والطاقة الجديدة، والتعدين، وما إلى ذلك.
يتألف فريقنا التقني من أفضل المؤسسات البحثية المحلية، وقد طور العديد من التقنيات الحاصلة على براءات اختراع لضمان أداء المنتج وجودته، كما يمكنه تزويد العملاء بحلول مواد احترافية.
