تتميز متطلبات صناعة أشباه الموصلات لمواد الجرافيت بارتفاعها الشديد، حيث يتمتع الجرافيت ذو الحجم الدقيق بدقة عالية، ومقاومة عالية لدرجات الحرارة، وقوة عالية، وفقدان منخفض، وغيرها من المزايا، مثل: قوالب منتجات الجرافيت المتلبد.نظراً لأن معدات الجرافيت المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات (بما في ذلك السخانات ورقائقها المتلبدة) مطلوبة لتحمل عمليات التسخين والتبريد المتكررة، فمن أجل إطالة عمر خدمة معدات الجرافيت، عادة ما يكون مطلوباً أن تتمتع مواد الجرافيت المستخدمة بأداء مستقر ووظيفة مقاومة للصدمات الحرارية.
01 ملحقات الجرافيت لنمو بلورات أشباه الموصلات
تُجرى جميع عمليات إنماء بلورات أشباه الموصلات في بيئة ذات درجة حرارة عالية وظروف تآكل. وعادةً ما تُجهز المنطقة الساخنة في فرن إنماء البلورات بمكونات من الجرافيت عالي النقاء، مقاومة للحرارة والتآكل، مثل السخان، والبوتقة، وأسطوانة العزل، وأسطوانة التوجيه، والإلكترود، وحامل البوتقة، وصامولة الإلكترود، وغيرها.
بإمكاننا تصنيع جميع أجزاء الجرافيت لأجهزة إنتاج البلورات، والتي يمكن توريدها بشكل فردي أو كمجموعات، أو أجزاء جرافيت مصممة خصيصًا بأحجام مختلفة وفقًا لمتطلبات العميل. يمكن قياس حجم المنتجات في الموقع، ويمكن أن يكون محتوى الرماد في المنتجات النهائية أقلأقل من 5 جزء في المليون.
02 ملحقات الجرافيت لترسيب طبقات أشباه الموصلات
تشير عملية الترسيب الطبقي إلى نمو طبقة من مادة أحادية البلورة بنفس ترتيب الشبكة البلورية للركيزة على ركيزة أحادية البلورة. في هذه العملية، تُوضع الرقاقة على قرص من الجرافيت. ويلعب أداء وجودة قرص الجرافيت دورًا حيويًا في جودة الطبقة المُرسبة على الرقاقة. في مجال إنتاج الترسيب الطبقي، يلزم استخدام كميات كبيرة من الجرافيت فائق النقاء وقاعدة الجرافيت عالية النقاء المطلية بطبقة من كربيد السيليكون.
تتميز قاعدة الجرافيت الخاصة بشركتنا لنمو طبقات أشباه الموصلات بمجموعة واسعة من التطبيقات، ويمكنها أن تتوافق مع معظم المعدات الشائعة الاستخدام في الصناعة، كما أنها تتميز بنقاء عالٍ، وطلاء موحد، وعمر خدمة ممتاز، ومقاومة كيميائية عالية، واستقرار حراري.
03 ملحقات الجرافيت لزراعة الأيونات
يشير زرع الأيونات إلى عملية تسريع حزمة بلازما من البورون والفوسفور والزرنيخ إلى طاقة محددة، ثم حقنها في الطبقة السطحية لمادة الرقاقة لتغيير خصائصها. يجب أن تُصنع مكونات جهاز زرع الأيونات من مواد عالية النقاوة تتميز بمقاومة حرارية ممتازة، وموصلية حرارية عالية، وتآكل أقل بفعل حزمة الأيونات، ومحتوى منخفض من الشوائب. يلبي الجرافيت عالي النقاوة متطلبات التطبيق، ويمكن استخدامه في أنبوب الطيران، والشقوق المختلفة، والأقطاب الكهربائية، وأغطية الأقطاب، والقنوات، ومُنهيات الحزمة، وغيرها من مكونات معدات زرع الأيونات.
لا نقتصر على توفير أغطية حماية من الجرافيت لمختلف أجهزة زرع الأيونات، بل نوفر أيضًا أقطابًا كهربائية من الجرافيت عالي النقاء ومصادر أيونية ذات مقاومة عالية للتآكل بمواصفات متنوعة. تشمل الأجهزة المتوافقة: Eaton، Azcelis، Quatum، Varian، Nissin، AMAT، LAM، وغيرها. بالإضافة إلى ذلك، نوفر منتجات من السيراميك والتنغستن والموليبدينوم والألومنيوم، فضلًا عن قطع مطلية.
04 مواد عزل الجرافيت وغيرها
تشمل مواد العزل الحراري المستخدمة في معدات إنتاج أشباه الموصلات اللباد الصلب المصنوع من الجرافيت، واللباد الناعم، ورقائق الجرافيت، وورق الجرافيت، وحبل الجرافيت.
جميع المواد الخام لدينا هي جرافيت مستورد، ويمكن تقطيعه وفقًا للحجم المحدد لمتطلبات العميل أو بيعه ككل.
تُستخدم صينية الكربون الكربوني كحامل لطلاء الأغشية في عملية إنتاج خلايا السيليكون أحادية البلورة ومتعددة البلورات الشمسية. وتتلخص آلية عملها في إدخال شريحة السيليكون في صينية الكربون الكربوني الكربوني، ثم إدخالها إلى أنبوب الفرن لمعالجة طلاء الأغشية.
