RTP/RTA SiC kattekiht MOCVD epitaksiaalseks kasvuks

Lühike kirjeldus:

VET Energy RTP/RTA SiC kattekiht on kõrgjõudlusega toode, mis on loodud pakkuma järjepidevat ja usaldusväärset jõudlust pikema aja jooksul. Sellel on ülihea kuumakindlus ja termiline ühtlus, kõrge puhtusaste ja erosioonikindlus, mis teeb sellest ideaalse lahenduse kiipide töötlemise rakenduste jaoks.


  • Päritolukoht:Hiina
  • Kristallstruktuur:FCCβ faas
  • Tihedus:3,21 g/cm³
  • Kõvadus:2500 Vickersit
  • Tera suurus:2–10 μm
  • Keemiline puhtus:99,99995%
  • Soojusmahtuvus:640 J·kg-1·K-1
  • Sublimatsioonitemperatuur:2700 ℃
  • Flexuraalne tugevus:415 MPa (RT 4-punktiline)
  • Youngi moodul:430 Gpa (4pt painutus, 1300 ℃)
  • Soojuspaisumine (CTE):4.5 10-6K-1
  • Soojusjuhtivus:300 (W/MK)
  • Toote üksikasjad

    Tootesildid

    RTP/RTA jaoks mõeldud ränikarbiidist kattekandja on pooljuhtide tootmisprotsessides, mida nimetatakse kiireks termiliseks töötlemiseks ja lõõmutamiseks, kasutatav põhikomponent. Meie patenteeritud tehnoloogia abil on ränikarbiidist kandja äärmiselt kõrge puhtusastmega, hea katte ühtluse ja suurepärase kasutuseaga, samuti kõrge keemilise vastupidavuse ja termilise stabiilsusega.

    Meie toodete omadused:

    1. Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus kuni 1700 ℃.
    2. Kõrge puhtusaste ja termiline ühtlus
    3. Suurepärane korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.

    4. Kõrge kõvadus, kompaktne pind, peened osakesed.
    5. Pikem kasutusiga ja vastupidavam

    Südame-veresoonkonna haigus SiC薄膜基本物理性能

    CVD-siikarbiidi põhilised füüsikalised omadusedkate

    性质 / Kinnisvara

    典型数值 / Tüüpiline väärtus

    晶体结构 / Kristallstruktuur

    FCC β-faas多晶,主要为(111)取向

    密度 / Tihedus

    3,21 g/cm³

    硬度 / Kõvadus

    2500 维氏硬度 (500 g koorem)

    晶粒大小 Teravilja suurus

    2–10 μm

    纯度 / Keemiline puhtus

    99,99995%

    热容 / Soojusmahtuvus

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Sublimatsioonitemperatuur

    2700 ℃

    抗弯强度 / Paindetugevus

    415 MPa RT 4-punktiline

    杨氏模量 / Youngi moodul

    430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃

    导热系数 / ThermalJuhtivus

    300 W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Soojuspaisumine (CTE)

    4,5 × 10-6K-1

    1

    2

    VET Energy on kohandatud grafiidist ja ränikarbiidist toodete tootja, millel on erinevad kateained, nagu SiC-kate, TaC-kate, klaasjas süsinikkate, pürolüütiline süsinikkate jne, ning pakub mitmesuguseid kohandatud osi pooljuhtide ja fotogalvaanika tööstusele.

    Meie tehniline meeskond pärineb tipptasemel kodumaistest teadusasutustest ja saab pakkuda teile professionaalsemaid materjalilahendusi.

    Arendame pidevalt täiustatud protsesse, et pakkuda veelgi täiustatumaid materjale, ning oleme välja töötanud eksklusiivse patenteeritud tehnoloogia, mis muudab katte ja aluspinna vahelise sideme tihedamaks ja vähem altid eraldumisele.

    Tere tulemast meie tehasesse külla, arutame lähemalt!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Eelmine:
  • Järgmine:

  • WhatsAppi veebivestlus!