Nośnik powłoki SiC do RTP/RTA jest kluczowym komponentem stosowanym w procesach produkcji półprzewodników zwanych szybkim przetwarzaniem termicznym i wyżarzaniem. Wykorzystujemy naszą opatentowaną technologię, aby wytwarzać nośnik z węglika krzemu o wyjątkowo wysokiej czystości, dobrej jednorodności powłoki i doskonałej żywotności, a także wysokiej odporności chemicznej i stabilności termicznej.
Cechy naszych produktów:
1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1700℃.
2. Wysoka czystość i jednorodność cieplna
3. Doskonała odporność na korozję: kwasy, zasady, sole i odczynniki organiczne.
4. Wysoka twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząsteczki.
5. Dłuższa żywotność i większa trwałość
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne SiC CVDpowłoka | |
| 性质 / Nieruchomość | 典型数值 / Wartość typowa |
| 晶体结构 / Struktura kryształu | Faza β FCC多晶, 主要为 (111) 取向 |
| 密度 / Gęstość | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Twardość | 2500 维氏硬度 (ładunek 500g) |
| 晶粒大小 / Wielkość ziarna | 2~10μm |
| 纯度 / Czystość chemiczna | 99,99995% |
| 热容 / Pojemność cieplna | 640 Jkg-1·K-1 |
| 升华温度 / Temperatura sublimacji | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie | 415 MPa RT 4-punktowy |
| 杨氏模量 / Moduł Younga | 430 Gpa 4-punktowe zgięcie, 1300℃ |
| 导热系数 / TermicznyjaPrzewodność | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Rozszerzalność cieplna (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy to prawdziwy producent niestandardowych produktów z grafitu i węglika krzemu z różnymi powłokami, takimi jak powłoka SiC, powłoka TaC, powłoka z węgla szklistego, powłoka z węgla pirolitycznego itp., który może dostarczać różnorodne niestandardowe części dla przemysłu półprzewodnikowego i fotowoltaicznego.
Nasz zespół techniczny składa się z pracowników czołowych krajowych instytutów badawczych i może zapewnić Państwu bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.
Ciągle udoskonalamy zaawansowane procesy, aby dostarczać coraz lepsze materiały. Opracowaliśmy też opatentowaną technologię, dzięki której połączenie powłoki z podłożem jest silniejsze i mniej podatne na odrywanie.
Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy!
