حامل پوشش SiC برای RTP/RTA یک جزء کلیدی مورد استفاده در فرآیندهای تولید نیمه هادی به نام پردازش حرارتی سریع و آنیل است. ما از فناوری ثبت شده خود برای ساخت حامل کاربید سیلیکون با خلوص بسیار بالا، یکنواختی پوشش خوب و عمر مفید عالی و همچنین مقاومت شیمیایی بالا و خواص پایداری حرارتی استفاده میکنیم.
ویژگیهای محصولات ما:
۱. مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا تا ۱۷۰۰ درجه سانتیگراد.
۲. خلوص بالا و یکنواختی حرارتی
3. مقاومت عالی در برابر خوردگی: اسید، قلیا، نمک و مواد آلی.
۴. سختی بالا، سطح فشرده، ذرات ریز.
5. عمر طولانی تر و بادوام تر
| بیماریهای قلبی عروقی (CVD) SiC薄膜基本物理性能 خواص فیزیکی اولیه SiC به روش CVDپوشش | |
| 性质 / املاک | 典型数值 / مقدار معمول |
| 晶体结构 / ساختار کریستالی | فاز β FCC多晶，主要为（111 ）取向 |
| 密度 / تراکم | ۳.۲۱ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| 硬度 / سختی | 2500 维氏硬度 (500 گرم بار) |
| 晶粒大小 / اندازه دانه | 2 تا 10 میکرومتر |
| 纯度 / خلوص شیمیایی | ۹۹.۹۹۹۹۵٪ |
| 热容 / ظرفیت گرمایی | ۶۴۰ ژول · کیلوگرم-1·ک-1 |
| 升华温度 / دمای تصعید | ۲۷۰۰ درجه سانتیگراد |
| 抗弯强度 / استحکام خمشی | ۴۱۵ مگاپاسکال RT چهار نقطهای |
| 杨氏模量 مدول یانگ | خم 4 نقطهای با مقاومت Gpa 430، دمای 1300 درجه سانتیگراد |
| 导热系数 / ترمالرسانایی | ۳۰۰ وات بر متر مربع-1·ک-1 |
| 热膨胀系数 / انبساط حرارتی (CTE) | ۴.۵×۱۰-6K-1 |
شرکت VET Energy تولیدکنندهی واقعی محصولات گرافیتی و کاربید سیلیکون سفارشی با پوششهای مختلف مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشهای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره است و میتواند قطعات سفارشی متنوعی را برای صنعت نیمهرسانا و فتوولتائیک تأمین کند.
تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی تشکیل شده است و میتواند راهحلهای حرفهایتری برای شما ارائه دهد.
ما به طور مداوم فرآیندهای پیشرفتهای را برای ارائه مواد پیشرفتهتر توسعه میدهیم و یک فناوری انحصاری و ثبت شده را توسعه دادهایم که میتواند پیوند بین پوشش و زیرلایه را محکمتر و کمتر مستعد جدا شدن کند.
با گرمی از شما برای بازدید از کارخانه ما استقبال میکنیم، بیایید بحث بیشتری داشته باشیم!
