De SiC-Beschichtungsträger fir RTP/RTA ass eng Schlësselkomponent, déi an de Prozesser fir d'Herstellung vu Hallefleeder, genannt Rapid Thermal Processing & Annealing, benotzt gëtt. Mir benotzen eis patentéiert Technologie fir de Siliziumcarbidträger mat extrem héijer Rengheet, gudder Beschichtungsuenheet an enger exzellenter Liewensdauer, souwéi héijer chemescher Resistenz an thermescher Stabilitéitseigenschaften ze produzéieren.
Eegeschafte vun eise Produkter:
1. Oxidatiounsbeständegkeet bei héijer Temperatur bis zu 1700 ℃.
2. Héich Rengheet a thermesch Uniformitéit
3. Excellent Korrosiounsbeständegkeet: Säure, Alkali, Salz an organesch Reagenzien.
4. Héich Härkeet, kompakt Uewerfläch, fein Partikelen.
5. Méi laang Liewensdauer a méi haltbar
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis physikalesch Eegeschafte vu CVD SiCBeschichtung | |
| 性质 / Immobilie | 典型数值 / Typesche Wäert |
| 晶体结构 / Kristallstruktur | FCC β Phase多晶，主要为（111) 取向 |
| 密度 / Dicht | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Häert | 2500 维氏硬度（500g Belaaschtung） |
| 晶粒大小 / Kärengréisst | 2~10μm |
| 纯度 / Chemesch Rengheet | 99,99995% |
| 热容 / Hëtztkapazitéit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimatiounstemperatur | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Biegfestigkeit | 415 MPa RT 4-Punkt |
| 杨氏模量 / Young säi Modul | 430 Gpa 4pt Bieg, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalKonduktivitéit | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Thermesch Expansioun (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy ass den eigentleche Produzent vu personaliséierte Graphit- a Siliziumcarbidprodukter mat verschiddene Beschichtungen wéi SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, glasartiger Kuelestoffbeschichtung, pyrolytesch Kuelestoffbeschichtung, etc., a kann verschidden personaliséiert Deeler fir d'Hallefleeder- a Photovoltaikindustrie liwweren.
Eis technesch Equipe kënnt vun den Top-Fuerschungsinstituter aus dem Inland a kann Iech méi professionell Materialléisungen ubidden.
Mir entwéckelen kontinuéierlech fortgeschratt Prozesser fir méi fortgeschratt Materialien ze liwweren, an hunn eng exklusiv patentéiert Technologie entwéckelt, déi d'Verbindung tëscht der Beschichtung an dem Substrat méi enk a manner ufälleg fir Ofléisen mécht.
Mir wëllkomm Iech häerzlech wëllkomm fir eis Fabréck ze besichen, loosst eis weider diskutéieren!
