El portador de recobriment de SiC per RTP/RTA és un component clau utilitzat en els processos de fabricació de semiconductors anomenats Processament i Recuit Tèrmic Ràpid, utilitzem la nostra tecnologia patentada per fabricar el portador de carbur de silici amb una puresa extremadament alta, una bona uniformitat del recobriment i una vida útil excel·lent, així com propietats d'alta resistència química i estabilitat tèrmica.
Característiques dels nostres productes:
1. Resistència a l'oxidació a altes temperatures fins a 1700 ℃.
2. Alta puresa i uniformitat tèrmica
3. Excel·lent resistència a la corrosió: àcids, àlcalis, sals i reactius orgànics.
4. Alta duresa, superfície compacta, partícules fines.
5. Vida útil més llarga i més durador
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Propietats físiques bàsiques del SiC CVDrecobriment | |
| 性质 / Propietat | 典型数值 / Valor típic |
| 晶体结构 / Estructura cristal·lina | Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densitat | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Duresa | 2500 维氏硬度（càrrega de 500g） |
| 晶粒大小 / Mida del gra | 2~10 μm |
| 纯度 / Puresa química | 99,99995% |
| 热容 / Capacitat calorífica | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Temperatura de sublimació | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Resistència a la flexió | 415 MPa RT 4 punts |
| 杨氏模量 / Mòdul de Young | Corba de 430 Gpa 4pt, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TermalConductivitat | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Expansió tèrmica (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VET Energy és el fabricant real de productes personalitzats de grafit i carbur de silici amb diferents recobriments com ara recobriment de SiC, recobriment de TaC, recobriment de carboni vitri, recobriment de carboni pirolític, etc., i pot subministrar diverses peces personalitzades per a la indústria dels semiconductors i la fotovoltaica.
El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals i us pot proporcionar solucions de materials més professionals.
Desenvolupem contínuament processos avançats per oferir materials més avançats i hem elaborat una tecnologia patentada exclusiva que pot fer que la unió entre el recobriment i el substrat sigui més ferma i menys propensa al despreniment.
Us donem una calorosa benvinguda a visitar la nostra fàbrica, parlem-ne més!
