Nosič povlaku SiC pre RTP/RTA je kľúčovou súčasťou používanou v procesoch výroby polovodičov nazývaných rýchle tepelné spracovanie a žíhanie. Používame našu patentovanú technológiu na výrobu nosiča z karbidu kremíka s extrémne vysokou čistotou, dobrou rovnomernosťou povlaku a vynikajúcou životnosťou, ako aj s vysokou chemickou odolnosťou a tepelnou stabilitou.
Vlastnosti našich produktov:
1. Odolnosť voči oxidácii pri vysokých teplotách až do 1700 ℃.
2. Vysoká čistota a tepelná rovnomernosť
3. Vynikajúca odolnosť proti korózii: kyseliny, zásady, soli a organické činidlá.
4. Vysoká tvrdosť, kompaktný povrch, jemné častice.
5. Dlhšia životnosť a odolnejšie
| Kardiovaskulárne ochorenie (KVO) SiC薄膜基本物理性能 Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiCnáter | |
| 性质 / Nehnuteľnosť | 典型数值 / Typická hodnota |
| 晶体结构 / Kryštálová štruktúra | FCC β fáza多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Hustota | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Tvrdosť | 2500 维氏硬度（500g náplň） |
| 晶粒大小 / Veľkosť zrna | 2~10μm |
| 纯度 / Chemická čistota | 99,99995 % |
| 热容 / Tepelná kapacita | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Teplota sublimácie | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Pevnosť v ohybe | 415 MPa RT 4-bodový |
| 杨氏模量 Youngov modul pružnosti | 430 Gpa, ohyb 4pt, 1300℃ |
| 导热系数 / TermalVodivosť | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Tepelná rozťažnosť (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
Spoločnosť VET Energy je skutočným výrobcom zákazkových grafitových a karbidových produktov s rôznymi povlakmi, ako je SiC povlak, TaC povlak, sklovitý uhlíkový povlak, pyrolytický uhlíkový povlak atď., a môže dodávať rôzne zákazkové diely pre polovodičový a fotovoltaický priemysel.
Náš technický tím pochádza z popredných domácich výskumných inštitúcií a môže vám poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.
Neustále vyvíjame pokročilé procesy, aby sme poskytovali ešte zdokonalenejšie materiály, a vyvinuli sme exkluzívnu patentovanú technológiu, ktorá dokáže pevnejšie spojiť náter a podklad a znížiť jeho náchylnosť na oddeľovanie.
Srdečne vás vítame na návšteve našej továrne, poďme sa ďalej porozprávať!
