Purtătorul de acoperire SiC pentru RTP/RTA este o componentă cheie utilizată în procesele de fabricație a semiconductorilor numite Rapid Thermal Processing & Annealing (Prelucrare și recoacere rapidă). Folosim tehnologia noastră brevetată pentru a produce purtătorul de carbură de siliciu cu o puritate extrem de ridicată, o uniformitate bună a acoperirii și o durată de viață excelentă, precum și proprietăți ridicate de rezistență chimică și stabilitate termică.
Caracteristici ale produselor noastre:
1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate de până la 1700 ℃.
2. Puritate ridicată și uniformitate termică
3. Rezistență excelentă la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
4. Duritate ridicată, suprafață compactă, particule fine.
5. Durată de viață mai lungă și mai durabilă
| boli cardiovasculare (BCV) SiC薄膜基本物理性能 Proprietățile fizice de bază ale SiC CVDacoperire | |
| 性质 / Proprietăți | 典型数值 / Valoare tipică |
| 晶体结构 / Structura cristalină | Faza β a FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 Densitate | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 Duritate | 2500 维氏硬度（încărcare 500g） |
| 晶粒大小 Dimensiunea granulelor | 2~10 μm |
| 纯度 Puritate chimică | 99,99995% |
| 热容 Capacitate termică | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Temperatura de sublimare | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Rezistență la încovoiere | 415 MPa RT în 4 puncte |
| 杨氏模量 Modulul lui Young | Îndoire 4pt 430 Gpa, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalConductivitate | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 Dilatare termică (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy este producătorul real de produse personalizate din grafit și carbură de siliciu cu diferite acoperiri, cum ar fi acoperire SiC, acoperire TaC, acoperire carbon vitros, acoperire carbon pirolitic etc., putând furniza diverse piese personalizate pentru industria semiconductorilor și fotovoltaică.
Echipa noastră tehnică provine din instituții de cercetare autohtone de top și vă poate oferi soluții materiale mai profesionale.
Dezvoltăm continuu procese avansate pentru a oferi materiale tot mai avansate și am elaborat o tehnologie exclusivă brevetată, care poate face ca legătura dintre acoperire și substrat să fie mai strânsă și mai puțin predispusă la desprindere.
Vă invităm călduros să vizitați fabrica noastră, haideți să discutăm mai departe!
