O soporte de revestimento de SiC para RTP/RTA é un compoñente clave empregado nos procesos de fabricación de semicondutores chamados procesamento e recocido térmico rápido. Empregamos a nosa tecnoloxía patentada para fabricar o soporte de carburo de silicio cunha pureza extremadamente alta, boa uniformidade de revestimento e unha excelente vida útil, así como propiedades de alta resistencia química e estabilidade térmica.
Características dos nosos produtos:
1. Resistencia á oxidación a altas temperaturas ata 1700 ℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistencia á corrosión: ácidos, álcalis, sales e reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e máis duradeiro
| ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do SiC por CVDrevestimento | |
| 性质 / Propiedade | 典型数值 / Valor típico |
| 晶体结构 / Estrutura cristalina | Fase β da FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densidade | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Dureza | 2500 维氏硬度（500g de carga） |
| 晶粒大小 Tamaño do gran | 2~10 μm |
| 纯度 / Pureza química | 99,99995% |
| 热容 / Capacidade calorífica | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 Temperatura de sublimación | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Resistencia á flexión | 415 MPa RT de 4 puntos |
| 杨氏模量 / Módulo de Young | Curva de 4 puntos de 430 Gpa, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TermalCondutividade | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 Expansión térmica (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VET Energy é o fabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con diferentes revestimentos como revestimentos de SiC, revestimentos de TaC, revestimentos de carbono vítreo, revestimentos de carbono pirolítico, etc., e pode subministrar diversas pezas personalizadas para a industria de semicondutores e fotovoltaica.
O noso equipo técnico provén de institucións de investigación nacionais de primeira liña e pode proporcionarche solucións de materiais máis profesionais.
Desenvolvemos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiais máis avanzados e elaboramos unha tecnoloxía patentada exclusiva que pode facer que a unión entre o revestimento e o substrato sexa máis axustada e menos propensa ao desprendemento.
Unha calorosa benvida para visitar a nosa fábrica, imos falar máis a fondo!
