SiC-coatingdrager voor RTP/RTA is een belangrijk onderdeel dat wordt gebruikt in de halfgeleiderproductieprocessen die Rapid Thermal Processing & Annealing worden genoemd. Met behulp van onze gepatenteerde technologie maken we een siliciumcarbidedrager met een extreem hoge zuiverheid, een goede uniforme coating en een uitstekende levensduur. Ook biedt het hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteit.
Kenmerken van onze producten:
1. Hoge oxidatiebestendigheid tot 1700℃.
2. Hoge zuiverheid en thermische uniformiteit
3. Uitstekende corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.
4. Hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
5. Langere levensduur en duurzamer
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Basisfysische eigenschappen van CVD SiCcoating | |
| 性质 / Eigendom | 典型数值 / Typische waarde |
| Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Dikte | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardheid | 2500 维氏硬度(500g belasting) |
| 晶粒大小 / Korrelgrootte | 2~10μm |
| 纯度 / Chemische zuiverheid | 99,99995% |
| 热容 / Warmtecapaciteit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimatietemperatuur | 2700℃ |
| Ik denk dat dit het geval is / Buigsterkte | 415 MPa RT 4-punts |
| 杨氏模量 / Young's modulus | 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermaikGeleidbaarheid | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy is de echte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met verschillende coatings, zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz. en kan diverse op maat gemaakte onderdelen leveren voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie.
Ons technische team is afkomstig van toonaangevende binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan u voorzien van professionelere materiële oplossingen.
Wij ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om steeds geavanceerdere materialen te kunnen leveren. Ook hebben we een exclusieve, gepatenteerde technologie ontwikkeld waarmee de hechting tussen de coating en de ondergrond sterker wordt en er minder snel onthechting optreedt.
Wij nodigen u van harte uit om onze fabriek te bezoeken. Laten we eens nader met elkaar praten!
