Le support de revêtement SiC pour RTP/RTA est un composant clé utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs appelés traitement thermique rapide et recuit, nous utilisons notre technologie brevetée pour fabriquer le support en carbure de silicium avec une pureté extrêmement élevée, une bonne uniformité de revêtement et une excellente durée de vie, ainsi qu'une résistance chimique élevée et des propriétés de stabilité thermique.
Caractéristiques de nos produits :
1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700℃.
2. Haute pureté et uniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
4. Dureté élevée, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable
| maladies cardiovasculaires SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques de base du SiC CVDrevêtement | |
| 性质 / Propriété | 典型数值 / Valeur typique |
| 晶体结构 / Structure cristalline | Phase β du FCC多晶，主要为（111) |
| 密度 / Densité | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Dureté | 2 500 维氏硬度 (charge de 500 g) |
| 晶粒大小 / Granulométrie | 2 à 10 μm |
| 纯度 / Pureté chimique | 99,99995% |
| 热容 / Capacité thermique | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Température de sublimation | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Résistance à la flexion | 415 MPa RT 4 points |
| 杨氏模量 / Module de Young | 430 Gpa 4pt courbé, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalConductivité | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VET Energy est le véritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec différents revêtements tels que le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement en carbone vitreux, le revêtement en carbone pyrolytique, etc., peut fournir diverses pièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque.
Notre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.
Nous développons continuellement des procédés avancés pour fournir des matériaux plus avancés et avons mis au point une technologie brevetée exclusive, qui peut rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.
Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !
