MOCVD एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी RTP/RTA SiC कोटिंग कॅरियर

संक्षिप्त वर्णन:

VET एनर्जी RTP/RTA SiC कोटिंग कॅरियर हे एक उच्च-कार्यक्षमता असलेले उत्पादन आहे जे दीर्घ कालावधीसाठी सातत्यपूर्ण आणि विश्वासार्ह कामगिरी प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. त्यात अतिशय चांगली उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता, उच्च शुद्धता, क्षरण प्रतिरोधकता आहे, ज्यामुळे ते वेफर प्रक्रिया अनुप्रयोगांसाठी परिपूर्ण उपाय बनते.


  • मूळ ठिकाण:चीन
  • क्रिस्टल रचना:FCCβ टप्पा
  • घनता:३.२१ ग्रॅम/सेमी
  • कडकपणा:२५०० विकर्स
  • धान्याचा आकार :२~१०μm
  • रासायनिक शुद्धता:९९.९९९९५%
  • उष्णता क्षमता:६४०J·kg-१·K-१
  • उदात्तीकरण तापमान :२७०० ℃
  • फेलेक्सुरल स्ट्रेंथ :४१५ एमपीए (आरटी ४-पॉइंट)
  • यंगचे मापांक:४३० जीपीए (४ पॉइंट बेंड, १३००℃)
  • औष्णिक विस्तार (CTE):४.५ १०-६के-१
  • औष्णिक चालकता:३०० (पाऊंड/एमके)
  • उत्पादन तपशील

    उत्पादन टॅग्ज

    RTP/RTA साठी SiC कोटिंग कॅरियर हा रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग आणि अ‍ॅनिलिंग नावाच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत वापरला जाणारा एक प्रमुख घटक आहे, आम्ही आमच्या पेटंट केलेल्या तंत्रज्ञानाचा वापर करून सिलिकॉन कार्बाइड कॅरियर अत्यंत उच्च शुद्धता, चांगली कोटिंग एकरूपता आणि उत्कृष्ट सेवा आयुष्य, तसेच उच्च रासायनिक प्रतिकार आणि थर्मल स्थिरता गुणधर्मांसह बनवतो.

    आमच्या उत्पादनांची वैशिष्ट्ये:

    1. १७००℃ पर्यंत उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध.
    २. उच्च शुद्धता आणि थर्मल एकरूपता
    ३. उत्कृष्ट गंज प्रतिकार: आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मक.

    ४. उच्च कडकपणा, कॉम्पॅक्ट पृष्ठभाग, बारीक कण.
    ५. जास्त काळ सेवा आयुष्य आणि अधिक टिकाऊ

    सीव्हीडी SiC薄膜基本物理性能

    CVD SiC चे मूलभूत भौतिक गुणधर्मलेप

    性质 / मालमत्ता

    典型数值 / सामान्य मूल्य

    晶体结构 / क्रिस्टल रचना

    एफसीसी β टप्पा多晶, 主要为 (111)取向

    密度 / घनता

    ३.२१ ग्रॅम/सेमी³

    硬度 / कडकपणा

    2500 维氏硬度(500g लोड)

    晶粒大小 / धान्य आकार

    २~१०μm

    纯度 / रासायनिक शुद्धता

    ९९.९९९९५%

    热容 / उष्णता क्षमता

    ६४० ज्यू किलोग्रॅम-1·के-1

    升华温度 / उदात्तीकरण तापमान

    २७०० ℃

    抗弯强度 / लवचिक ताकद

    ४१५ एमपीए आरटी ४-पॉइंट

    杨氏模量 / यंगचे मापांक

    ४३० Gpa ४pt बेंड, १३००℃

    导热系数 / थर्माएलचालकता

    ३०० वॅट्स · मी-1·के-1

    热膨胀系数 / थर्मल एक्सपेंशन (CTE)

    ४.५×१०-6K-1

    १

    २

    व्हीईटी एनर्जी ही सानुकूलित ग्रेफाइट आणि सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादनांची खरी उत्पादक आहे ज्यामध्ये SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलिटिक कार्बन कोटिंग इत्यादी विविध कोटिंग्ज आहेत, जे सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक उद्योगासाठी विविध सानुकूलित भाग पुरवू शकतात.

    आमची तांत्रिक टीम शीर्ष देशांतर्गत संशोधन संस्थांकडून येते, तुमच्यासाठी अधिक व्यावसायिक साहित्य उपाय प्रदान करू शकते.

    आम्ही अधिक प्रगत साहित्य प्रदान करण्यासाठी सतत प्रगत प्रक्रिया विकसित करतो आणि एक विशेष पेटंट तंत्रज्ञान विकसित केले आहे, जे कोटिंग आणि सब्सट्रेटमधील बंधन घट्ट करू शकते आणि वेगळे होण्याची शक्यता कमी करू शकते.

    आमच्या कारखान्याला भेट देण्यासाठी तुमचे हार्दिक स्वागत आहे, चला पुढील चर्चा करूया!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • मागील:
  • पुढे:

  • व्हॉट्सअॅप ऑनलाइन गप्पा!