Nosič povlaku SiC pro RTP/RTA je klíčovou součástí používanou v procesech výroby polovodičů zvaných Rapid Thermal Processing & Annealing. Používáme naši patentovanou technologii k výrobě nosiče z karbidu křemíku s extrémně vysokou čistotou, dobrou rovnoměrností povlaku a vynikající životností, stejně jako s vysokou chemickou odolností a tepelnou stabilitou.
Vlastnosti našich produktů:
1. Odolnost proti oxidaci za vysokých teplot až do 1700 ℃.
2. Vysoká čistota a tepelná uniformita
3. Vynikající odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
4. Vysoká tvrdost, kompaktní povrch, jemné částice.
5. Delší životnost a větší odolnost
| Kardiovaskulární onemocnění (CVD) SiC薄膜基本物理性能 Základní fyzikální vlastnosti CVD SiCpovlak | |
| 性质 / Nemovitost | 典型数值 / Typická hodnota |
| 晶体结构 / Krystalová struktura | Fáze β FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Hustota | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Tvrdost | 2500 维氏硬度（500g náplň） |
| 晶粒大小 / VELIKOST ZRNA | 2~10μm |
| 纯度 / Chemická čistota | 99,99995 % |
| 热容 / Tepelná kapacita | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Teplota sublimace | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Pevnost v ohybu | 415 MPa RT 4bodový |
| 杨氏模量 Youngův modul pružnosti | 430 Gpa, ohyb 4pt, 1300℃ |
| 导热系数 / TermalVodivost | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Tepelná roztažnost (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Společnost VET Energy je skutečným výrobcem zakázkových grafitových a karbidových produktů s různými povlaky, jako je SiC povlak, TaC povlak, skelný uhlík povlak, pyrolytický uhlík povlak atd., a může dodávat různé zakázkové díly pro polovodičový a fotovoltaický průmysl.
Náš technický tým pochází z předních domácích výzkumných institucí a může vám poskytnout profesionálnější materiálová řešení.
Neustále vyvíjíme pokročilé procesy, abychom mohli poskytovat ještě pokročilejší materiály, a vyvinuli jsme exkluzivní patentovanou technologii, která umožňuje pevnější spojení mezi povlakem a podkladem a snižuje jeho náchylnost k odlupování.
Srdečně vás vítáme k návštěvě naší továrny, pojďme si dále promluvit!
