Материал для нанесения покрытия из карбида кремния (SiC) для RTP/RTA является ключевым компонентом, используемым в процессах быстрого термического отжига и обработки полупроводников. Мы используем нашу запатентованную технологию для изготовления материала на основе карбида кремния с чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термической стабильностью.
Особенности нашей продукции:
1. Высокая термостойкость к окислению до 1700℃.
2. Высокая чистота и равномерность термической обработки.
3. Превосходная коррозионная стойкость: к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам.
4. Высокая твердость, плотная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и большая долговечность.
| ССВ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие | |
| 性质 / Свойство | 典型数值 / Типичное значение |
| 晶体结构 Кристаллическая структура | β-фаза ГЦК多晶,主要为（111）取向 |
| 密度 / Плотность | 3,21 г/см³ |
| 硬度 / Твердость | 2500 维氏硬度 (загрузка 500 г) |
| 晶粒大小 / Размер зерна | 2–10 мкм |
| 纯度 / Химическая чистота | 99,99995% |
| 热容 / Теплоемкость | 640 Дж·кг-1·К-1 |
| 升华温度 Температура сублимации | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Прочность на изгиб | 415 МПа RT 4-точечный |
| 杨氏模量 Модуль Юнга | 4-точечный изгиб 430 ГПа, 1300℃ |
| 导热系数 / ТермалПроводимость | 300 Вт·м-1·К-1 |
| 热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения (КТР) | 4,5×10-6K-1 |
Компания VET Energy является производителем изделий из графита и карбида кремния с различными покрытиями, такими как SiC, TaC, стеклоуглерод, пиролитический углерод и др., и может поставлять различные детали на заказ для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.
Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.
Мы постоянно совершенствуем технологические процессы для получения более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать сцепление между покрытием и подложкой более прочным и менее склонным к отслоению.
Мы будем рады видеть вас на нашем заводе, давайте обсудим все подробности!
