Носьбіт пакрыцця з карбіду крэмнію для RTP/RTA з'яўляецца ключавым кампанентам, які выкарыстоўваецца ў працэсах вытворчасці паўправаднікоў пад назвай хуткая тэрмічная апрацоўка і адпал. Мы выкарыстоўваем нашу запатэнтаваную тэхналогію, каб зрабіць носьбіт з карбіду крэмнію з надзвычай высокай чысцінёй, добрай аднастайнасцю пакрыцця і выдатным тэрмінам службы, а таксама высокай хімічнай устойлівасцю і тэрмічнай стабільнасцю.
Асаблівасці нашай прадукцыі:
1. Высокатэмпературная ўстойлівасць да акіслення да 1700℃.
2. Высокая чысціня і цеплавая аднастайнасць
3. Выдатная каразійная ўстойлівасць: кіслоты, шчолачы, солі і арганічныя рэагенты.
4. Высокая цвёрдасць, кампактная паверхня, дробныя часціцы.
5. Больш працяглы тэрмін службы і больш трывалы
| ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Асноўныя фізічныя ўласцівасці CVD SiCпакрыццё | |
| 性质 / Нерухомасць | 典型数值 / Тыповае значэнне |
| 晶体结构 / Крышталічная структура | β-фаза FCC多晶，主要为（111) 取向 |
| 密度 / Шчыльнасць | 3,21 г/см³ |
| 硬度 / Цвёрдасць | 2500 维氏硬度（загрузка 500 г） |
| 晶粒大小 / Памер зерня | 2~10 мкм |
| 纯度 / Хімічная чысціня | 99,99995% |
| 热容 / Цеплаёмістасць | 640 Дж·кг-1·К-1 |
| 升华温度 / Тэмпература сублімацыі | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Трываласць на выгіб | 415 МПа RT 4-кропкавы |
| 杨氏模量 / Модуль Юнга | 430 Gpa, выгіб 4pt, 1300℃ |
| 导热系数 / ТэрмалПраводнасць | 300 Вт·м-1·К-1 |
| 热膨胀系数 / Цеплавое пашырэнне (КТР) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy з'яўляецца сапраўдным вытворцам вырабаў з графіту і карбіду крэмнію на заказ з рознымі пакрыццямі, такімі як пакрыццё SiC, пакрыццё TaC, пакрыццё са шкловугляроду, пакрыццё з піролітычнага вугляроду і г.д., і можа пастаўляць розныя дэталі на заказ для паўправадніковай і фотаэлектрычнай прамысловасці.
Наша тэхнічная каманда складаецца з вядучых айчынных навукова-даследчых устаноў і можа прапанаваць вам больш прафесійныя матэрыяльныя рашэнні.
Мы пастаянна распрацоўваем перадавыя працэсы для стварэння больш дасканалых матэрыялаў і распрацавалі эксклюзіўную запатэнтаваную тэхналогію, якая дазваляе зрабіць сувязь паміж пакрыццём і падкладкай больш трывалай і менш схільнай да адслойвання.
Шчыра запрашаем вас наведаць наш завод, давайце абмяркуем гэта далей!
