RTP/RTA için SiC Kaplama Taşıyıcısı, Hızlı Termal İşleme ve Tavlama adı verilen yarı iletken üretim süreçlerinde kullanılan önemli bir bileşendir; son derece yüksek saflıkta, iyi kaplama düzgünlüğüne ve mükemmel bir hizmet ömrüne sahip silisyum karbür taşıyıcıyı üretmek için patentli teknolojimizi kullanıyoruz. Ayrıca yüksek kimyasal direnç ve termal kararlılık özellikleri de sunuyoruz.
Ürünlerimizin özellikleri:
1. 1700℃'ye kadar yüksek sıcaklık oksidasyon direnci.
2. Yüksek saflık ve termal homojenlik
3. Mükemmel korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
4. Yüksek sertlik, kompakt yüzey, ince parçacıklar.
5. Daha uzun hizmet ömrü ve daha dayanıklı
| CVD SiCAmerika Birleşik Devletleri CVD SiC'nin temel fiziksel özelliklerikaplama | |
| 性质 / Mülk | 典型数值 / Tipik Değer |
| 晶体结构 / Kristal Yapı | FCC β fazı多晶,主要为（111) |
| 密度 / Yoğunluk | 3,21 gr/cm³ |
| 硬度 / Sertlik | 2500 kg yük (500g yük) |
| 晶粒大小 / Tane Boyutu | 2~10μm |
| 纯度 / Kimyasal Saflık | %99,99995 |
| 热容 / Isı Kapasitesi | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Süblimleşme Sıcaklığı | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Eğilme Dayanımı | 415 MPa RT 4 nokta |
| 杨氏模量 / Young Modülü | 430 Gpa 4pt dirsek, 1300℃ |
| 导热系数 / Termalbenİletkenlik | 300W·m-1·K-1 |
| Amerika Birleşik Devletleri / Termal Genleşme (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy, SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama vb. gibi farklı kaplamalara sahip özelleştirilmiş grafit ve silisyum karbür ürünlerinin gerçek üreticisidir ve yarı iletken ve fotovoltaik endüstrisi için çeşitli özelleştirilmiş parçalar tedarik edebilir.
Yurtiçindeki en iyi araştırma kurumlarından gelen teknik ekibimiz, sizlere daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilir.
Daha gelişmiş malzemeler sunmak için sürekli olarak gelişmiş prosesler geliştiriyoruz ve kaplama ile alt tabaka arasındaki bağı daha sıkı hale getirebilen ve ayrılmaya daha az eğilimli hale getirebilen özel, patentli bir teknoloji geliştirdik.
Fabrikamızı ziyaret etmenizi içtenlikle bekliyoruz, daha detaylı konuşalım!
