Il supporto per il rivestimento in SiC per RTP/RTA è un componente chiave utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori denominati Rapid Thermal Processing & Annealing (RTP/RTA). Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare il supporto in carburo di silicio con purezza estremamente elevata, buona uniformità del rivestimento, eccellente durata, nonché elevata resistenza chimica e stabilità termica.
Caratteristiche dei nostri prodotti:
1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700℃.
2. Elevata purezza e uniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sali e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Maggiore durata e maggiore resistenza
| Malattia cardiovascolare SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento | |
| 性质 / Proprietà | 典型数值 / Valore tipico |
| 晶体结构 / Struttura cristallina | Fase β FCC多晶,主要为（111）取向 |
| 密度 / Densità | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Durezza | 2500 tonnellate di carico (carico di 500 g) |
| 晶粒大小 / Dimensione del grano | 2~10μm |
| 纯度 / Purezza chimica | 99,99995% |
| 热容 / Capacità termica | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Temperatura di sublimazione | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Resistenza alla flessione | 415 MPa RT 4 punti |
| 杨氏模量 Modulo di Young | 430 GPa piegatura a 4 punti, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalConduttività | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy è un produttore affidabile di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con diversi rivestimenti, come rivestimento in SiC, rivestimento in TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc., e può fornire vari componenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico.
Il nostro team tecnico, composto da professionisti provenienti dai migliori istituti di ricerca nazionali, è in grado di offrirvi soluzioni più professionali in termini di materiali.
Sviluppiamo costantemente processi avanzati per fornire materiali sempre più performanti e abbiamo messo a punto una tecnologia brevettata esclusiva in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più forte e meno soggetta al distacco.
Vi diamo un caloroso benvenuto a visitare il nostro stabilimento, saremo lieti di discuterne ulteriormente!
