Il supporto di rivestimento in carburo di silicio per RTP/RTA è un componente chiave utilizzato nei processi di produzione dei semiconduttori denominati Rapid Thermal Processing & Annealing; utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare un supporto in carburo di silicio con purezza estremamente elevata, buona uniformità di rivestimento e un'eccellente durata, nonché elevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.
Caratteristiche dei nostri prodotti:
1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700℃.
2. Elevata purezza e uniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Maggiore durata e resistenza
| malattie cardiovascolari SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento | |
| 性质 / Proprietà | 典型数值 / Valore tipico |
| 晶体结构 / Struttura cristallina | Fase β FCC多晶,主要为（111）取向 |
| 密度 / Densità | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Durezza | 2500 tonnellate di carico (carico da 500 g) |
| 晶粒大小 / Granulometria | 2~10μm |
| 纯度 / Purezza chimica | 99,99995% |
| 热容 / Capacità termica | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Temperatura di sublimazione | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Resistenza alla flessione | 415 MPa RT 4 punti |
| 杨氏模量 / Modulo di Young | 430 Gpa 4pt curva, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalConduttività | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Espansione termica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy è il vero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con diversi rivestimenti come rivestimento in SiC, rivestimento in TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc., in grado di fornire vari componenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico.
Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di fornirvi le soluzioni più professionali in materia di materiali.
Sviluppiamo costantemente processi avanzati per fornire materiali ancora più avanzati e abbiamo elaborato una tecnologia brevettata esclusiva in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più salda e meno soggetta a distacco.
Vi invitiamo calorosamente a visitare la nostra fabbrica, per approfondire la questione!
