Korkean puhtauden kvartsivene kiekkojen käsittelyyn

Lyhyt kuvaus:

Ammatillisen koulutuksen energia korkea puhtausaste kvartsiveneet on erityisesti suunniteltu puolijohde- ja aurinkokiekkojen prosessointiin. Nämä veneet on valmistettu ensiluokkaisesta kvartsimateriaalista, ja ne tarjoavat erinomaisen lämmönkestävyyden, kemikaalienkestävyyden ja kontaminaatiovapaan suorituskyvyn erilaisissa korkean lämpötilan prosesseissa.

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-tiedostona

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Tuotekuvaus

Kvartsikiekkoveneon keskeinen kantoväline puolijohdevalmistuksessa, aurinkokennojen tuotannossa sekä edistyneessä materiaalitutkimuksessa ja -kehityksessä, ja se on suunniteltu vakaaseen kiekkojen siirtoon ja asemointiin korkean lämpötilan prosesseissa. Tämä tuote on valmistettu erittäin puhtaasta sulatetusta piidioksidista (SiO2), jolla on erinomainen lämmönkestävyys, kemiallinen stabiilius ja erittäin alhaiset metallikontaminaatio-ominaisuudet. Se soveltuu diffuusiouuneihin, hapetusuuneihin, PECVD/LPCVD-laitteisiin ja muihin laitteisiin. Sitä käytetään laajalti kiekkojen pinnoituksessa, ioni-istutuksessa, korkean lämpötilan hehkuttamisessa ja muissa ydinprosesseissa.

VET Energyn kvartsiveneen keskeiset edut:

Erittäin puhdasta materiaalia
Puhtaus ≥99,99 %: Epäpuhtauspitoisuus (Na, K, Fe jne.) <5 ppm, mikä estää kiekkojen kontaminaation ja takaa sirun saannon.
Vähäinen saostuminen ja adsorptio: pinta on erittäin kiillotettu (Ra≤0,4 μm) hiukkasten tarttumisen ja kaasujäämien vähentämiseksi.
Korkea lämpötilan vakaus
Lämpötilaraja: Pitkäaikainen käyttölämpötila 1100 ℃, lyhytaikainen huippulämpötila 1300 ℃, ei muodonmuutoksia, ei kiteiden saostumista.
Alhainen lämpölaajenemiskerroin (5,5x10-7/℃), erinomainen lämmönsiirtokestävyys, soveltuu nopeaan lämpötilan nousuun ja laskuun (esim. RTP-pikahehkutus).
Tarkka rakennesuunnittelu
Uran tarkkuus ±0,1 mm: sovittaa 2–12 tuuman kiekot, etäisyyden tasaisuusvirhe <0,05 mm, mikä varmistaa, että kiekoissa ei ole siirtymää.
Suuri kuormituskapasiteetti: Yhteen veneeseen mahtuu enintään 50 kiekkoa (12 tuuman kiekkoina), mikä tukee ohuiden kiekkojen (≥100 μm) vakaata siirtoa.
Kemiallinen inerttiys
Korroosionkestävyys: Kestää happoja (paitsi HF), alkaleja ja orgaanisia liuottimia, yhteensopiva CMP-puhdistusprosessin kanssa.
Erinomainen kaasutiiviys: Vuotoaste <5x10-10 Pa.m3/s, sopii tyhjiö- ja suojakaasuympäristöihin.
Pitkä käyttöikä ja huollettavuus
Käyttöikä ≥ 5000 sykliä (normaalit käyttöolosuhteet), pinta voidaan puhdistaa ja käyttää toistuvasti, mikä alentaa kokonaiskustannuksia.
Modulaarinen rakenne: tukee osittaista vaihtoa (esim. yhden veneen hampaan), mikä vähentää seisokkiaikaa.

Tarjoamme sekä läpinäkyviä että himmeitä pintoja asiakkaan vaatimusten mukaisesti:

Yrityksen tiedot

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd on korkean teknologian yritys, joka keskittyy huippuluokan edistyneiden materiaalien tuotantoon ja myyntiin. Materiaalit ja teknologia, kuten grafiitti, piikarbidi, keramiikka, pintakäsittelyt, kuten SiC-pinnoite, TaC-pinnoite, lasimainen hiilipinnoite, pyrolyyttinen hiilipinnoite jne. Näitä tuotteita käytetään laajalti aurinkosähkössä, puolijohteissa, uudessa energiassa, metallurgiassa jne.

Tekninen tiimimme tulee kotimaisista huippututkimuslaitoksista ja on kehittänyt useita patentoituja teknologioita tuotteiden suorituskyvyn ja laadun varmistamiseksi. Se voi myös tarjota asiakkaille ammattimaisia materiaaliratkaisuja.