Huokoinen tantaalikarbidipäällysteinen grafiittirengas
Huokoinen tantaalikarbidilla (TaC) päällystetty grafiittion avainmateriaali, joka on kehitetty erityisesti puolijohdevalmistuksen korkeisiin lämpötiloihin ja erittäin syövyttäviä ympäristöjä varten. Sen substraatti on erittäin puhdasta isostaattista grafiittia, joka on päällystetty tasaisesti huokoisella tantaalikarbidipinnoitteella kemiallisen höyrypinnoituksen (CVD) avulla. TaC:lla on erittäin korkea kovuus (9-10 Mohsin asteikolla) ja sulamispiste 3880 °C. Yhdessä grafiitin erinomaisen lämmönkestävyyden ja keveyden kanssa tämä materiaali yhdistää korkean lämpötilan kestävyyden kemialliseen hyökkäykseen ja lämpöshokkiin, mikä tekee siitä ihanteellisen valinnan äärimmäisissä olosuhteissa toimiville puolijohdeprosessilaitteille.
Huokoisen tantaalikarbidigrafiitin edut:
1. Erittäin korkea korroosionkestävyys
-TaC on kemiallisesti inertti ja kestää tehokkaasti halogeenien, kuten fluorin ja kloorin, aiheuttamaa korroosiota, mikä pidentää merkittävästi laitteiden käyttöikää.
-Huokoinen rakenne lisää pinnoitteen pinta-alaa muodostaen kestävämmän suojakerroksen ja vähentäen hiukkasten irtoamisen riskiä.
2. Erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilius
-Sulamispisteen lähestyessä 4000 °C:ta se voi toimia pitkiä aikoja tyhjiössä tai inertissä ilmakehässä yli 2500 °C:n lämpötilassa.
-Pinnoitteen lämpölaajenemiskerroin on hyvin samankaltainen kuin grafiitilla, mikä estää lämpökierron aiheuttaman halkeilun ja delaminaation.
3. Korkea puhtaus ja alhainen kontaminaatio
-Käyttämällä puolijohdelaatuisia raaka-aineita ja prosesseja metalliepäpuhtauksien pitoisuus on erittäin alhainen, mikä vähentää merkittävästi kiekkojen kontaminaatioriskiä.
-Pinta on tiivis ja kemiallisesti vakaa, mikä vähentää hiukkasten muodostumista ja täyttää tiukat puhdastilastandardit.
4. Mukautettu suunnittelu
Asiakkaan piirustusten mukaan voidaan valmistaa monimutkaisia muotoja, ja huokoisuutta ja pinnoitteen paksuutta voidaan säätää optimaalisen kaasun virtauksen ja lämmönjohtavuuden saavuttamiseksi.
5. Pitkä käyttöikä ja alhaiset ylläpitokustannukset
Huokoisten TaC-pinnoitteiden erittäin korkea korroosion- ja kulumiskestävyys pidentää komponenttien käyttöikää 3–5 kertaa perinteiseen grafiittiin verrattuna, mikä vähentää vaihtotarvetta ja ylläpitokustannuksia.
Tärkeimmät sovellukset
1. Kiekkojen valmistuksen ydinkomponentit
- Reaktiokammion vuoraukset, ohjauslevyt ja suihkupää CVD/ALD-laitteille
- PVD-kohde tukee
- Korkean lämpötilan prosessikomponentit diffuusioon, hapetukseen, hehkutukseen ja muihin prosesseihin
2. Kemialliset höyrypinnoitusjärjestelmät
- Suojaa avainkomponentteja erittäin syövyttävissä ympäristöissä (kuten fluorideissa ja klorideissa) prosessin aikana
3. Muut korkean lämpötilan syövyttävät ympäristöt
- Sopii kemialliseen kaasunpuhdistukseen, erikoistuneisiin lämpökäsittelyuuneihin ja muihin sovelluksiin.
VET Energy on ammattimainen valmistaja, joka keskittyy korkealaatuisten edistyneiden materiaalien, kuten grafiitin, piikarbidin ja kvartsin, tutkimukseen ja kehitykseen sekä tuotantoon. Lisäksi se on erikoistunut materiaalien käsittelyyn, kuten piikarbidi-, takakarbidi-, lasihiili- ja pyrolyyttiseen hiilipinnoitteeseen. Tuotteita käytetään laajalti aurinkosähkössä, puolijohteissa, uudessa energiassa, metallurgiassa jne.
Tekninen tiimimme tulee kotimaisista huippututkimuslaitoksista ja voi tarjota sinulle ammattimaisempia materiaaliratkaisuja.
VET Energyn etuihin kuuluvat:
• Oma tehdas ja ammattimainen laboratorio;
• Alan johtavat puhtaustasot ja laatu;
• Kilpailukykyinen hinta ja nopea toimitusaika;
• Useita toimialakumppanuuksia maailmanlaajuisesti;
Tervetuloa tutustumaan tehtaaseen ja laboratorioon milloin tahansa!
