उन्नतSiC कैंटिलीवर पैडलवेट-चाइना द्वारा निर्मित वेफर प्रोसेसिंग के लिए सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए एक उत्कृष्ट समाधान प्रदान करता है। यह कैंटिलीवर पैडल SiC (सिलिकॉन कार्बाइड) सामग्री से बना है, और इसकी उच्च कठोरता और गर्मी प्रतिरोध इसे उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में उत्कृष्ट प्रदर्शन बनाए रखने में सक्षम बनाता है। कैंटिलीवर पैडल का डिज़ाइन प्रसंस्करण के दौरान वेफर को मज़बूती से सहारा देने की अनुमति देता है, जिससे विखंडन और क्षति का जोखिम कम हो जाता है।
SiC कैंटिलीवर पैडलयह एक विशेष घटक है जिसका उपयोग ऑक्सीकरण भट्ठी, प्रसार भट्ठी और एनीलिंग भट्ठी जैसे अर्धचालक विनिर्माण उपकरणों में किया जाता है, इसका मुख्य उपयोग वेफर लोडिंग और अनलोडिंग के लिए होता है, उच्च तापमान प्रक्रियाओं के दौरान वेफर्स का समर्थन और परिवहन करता है।
सामान्य संरचनाएंकासिकcएंटीलीवरpसड़ा: एक ब्रैकट संरचना, जो एक छोर पर स्थिर और दूसरे छोर पर मुक्त होती है, आमतौर पर एक सपाट और चप्पू जैसी डिजाइन होती है।
वीईटी एनर्जी गुणवत्ता की गारंटी के लिए उच्च शुद्धता वाले पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री का उपयोग करती है।
| पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण | |
| संपत्ति | विशिष्ट मूल्य |
| कार्य तापमान (°C) | 1600°C (ऑक्सीजन के साथ), 1700°C (अपचयन वातावरण) |
| SiC सामग्री | > 99.96% |
| मुफ़्त Si सामग्री | < 0.1% |
| थोक घनत्व | 2.60-2.70 ग्राम/सेमी3 |
| स्पष्ट छिद्र्यता | < 16% |
| संपीड़न ताकत | > 600एमपीए |
| शीत झुकाव शक्ति | 80-90 एमपीए (20° सेल्सियस) |
| गर्म झुकने ताकत | 90-100 एमपीए (1400°C) |
| तापीय विस्तार @1500°C | 4.70 10-6/डिग्री सेल्सियस |
| तापीय चालकता @1200°C | 23डब्ल्यू/एम•के |
| प्रत्यास्थता मापांक | 240 जीपीए |
| थर्मल शॉक प्रतिरोध | बहुत ही अच्छा |
वेफर प्रसंस्करण के लिए वीईटी एनर्जी के उन्नत एसआईसी कैंटिलीवर पैडल के लाभ हैं:
-उच्च तापमान स्थिरता: 1600°C से ऊपर के वातावरण में प्रयोग योग्य;
- कम तापीय विस्तार गुणांक: आयामी स्थिरता बनाए रखता है, वेफर वॉरपेज जोखिम को कम करता है;
-उच्च शुद्धता: धातु संदूषण का कम जोखिम;
-रासायनिक निष्क्रियता: संक्षारण प्रतिरोधी, विभिन्न गैस वातावरण के लिए उपयुक्त;
-उच्च शक्ति और कठोरता: पहनने के लिए प्रतिरोधी, लंबी सेवा जीवन;
-अच्छी तापीय चालकता: वेफर को एकसमान रूप से गर्म करने में मदद करती है।









