उन्नतSiC कैंटिलीवर पैडलवेफर प्रोसेसिंग के लिए वेट-चाइना द्वारा निर्मित यह कैंटिलीवर पैडल सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए एक उत्कृष्ट समाधान प्रदान करता है। यह सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सामग्री से बना है, और इसकी उच्च कठोरता और ताप प्रतिरोधकता इसे उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में भी उत्कृष्ट प्रदर्शन करने में सक्षम बनाती है। कैंटिलीवर पैडल का डिज़ाइन प्रोसेसिंग के दौरान वेफर को मज़बूती से सहारा देता है, जिससे विखंडन और क्षति का जोखिम कम हो जाता है।
SiC कैंटिलीवर पैडलयह ऑक्सीकरण भट्टी, प्रसार भट्टी और एनीलिंग भट्टी जैसे अर्धचालक निर्माण उपकरणों में उपयोग किया जाने वाला एक विशेष घटक है, जिसका मुख्य उपयोग वेफर को लोड और अनलोड करने, उच्च तापमान प्रक्रियाओं के दौरान वेफर्स को सहारा देने और परिवहन करने के लिए होता है।
सामान्य संरचनाएँकासिकcएंटीलीवरpसड़ा: एक कैंटिलीवर संरचना, जो एक सिरे पर स्थिर और दूसरे सिरे पर स्वतंत्र होती है, आमतौर पर एक सपाट और चप्पू जैसी आकृति की होती है।
VET Energy गुणवत्ता की गारंटी के लिए उच्च शुद्धता वाले पुन: क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड सामग्रियों का उपयोग करती है।
| पुन: क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण | |
| संपत्ति | विशिष्ट मान |
| कार्यशील तापमान (°C) | 1600°C (ऑक्सीजन के साथ), 1700°C (अपचायक वातावरण) |
| SiC सामग्री | > 99.96% |
| निःशुल्क एसआई सामग्री | < 0.1% |
| थोक घनत्व | 2.60-2.70 ग्राम/सेमी3 |
| स्पष्ट सरंध्रता | < 16% |
| संपीड़न ताकत | > 600एमपीए |
| ठंडे तापमान पर झुकने की क्षमता | 80-90 एमपीए (20°C) |
| गर्म झुकने की ताकत | 90-100 एमपीए (1400°C) |
| 1500°C पर ऊष्मीय प्रसार | 4.70 10-6/°C |
| 1200°C पर तापीय चालकता | 23डब्ल्यू/एम•के |
| प्रत्यास्थ मापांक | 240 जीपीए |
| थर्मल शॉक प्रतिरोध | बहुत ही अच्छा |
वेफर प्रोसेसिंग के लिए वीईटी एनर्जी के एडवांस्ड एसआईसी कैंटिलीवर पैडल के फायदे इस प्रकार हैं:
-उच्च तापमान स्थिरता: 1600 डिग्री सेल्सियस से ऊपर के वातावरण में उपयोग योग्य;
-कम तापीय विस्तार गुणांक: आयामी स्थिरता बनाए रखता है, जिससे वेफर के मुड़ने का खतरा कम होता है;
-उच्च शुद्धता: धातु संदूषण का कम जोखिम;
-रासायनिक निष्क्रियता: संक्षारण-प्रतिरोधी, विभिन्न गैस वातावरणों के लिए उपयुक्त;
-उच्च शक्ति और कठोरता: घिसाव-प्रतिरोधी, लंबी सेवा आयु;
-अच्छी तापीय चालकता: इससे वेफर को समान रूप से गर्म करने में मदद मिलती है।
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