सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर

वेट-चीनसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिककोटिंग एक उच्च प्रदर्शन सुरक्षात्मक कोटिंग है जो अत्यंत कठोर और पहनने के लिए प्रतिरोधी सामग्री से बनी होती हैसिलिकॉन कार्बाइड (SiC)सामग्री, जो उत्कृष्ट रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध और उच्च तापमान स्थिरता प्रदान करती है। ये विशेषताएँ अर्धचालक उत्पादन में महत्वपूर्ण हैं, इसलिएसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगअर्धचालक विनिर्माण उपकरण के प्रमुख घटकों में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।

वेट-चाइना की विशिष्ट भूमिकासिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिकअर्धचालक उत्पादन में कोटिंग इस प्रकार होती है:

उपकरण स्थायित्व बढ़ाएँ:सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग अपनी अत्यधिक उच्च कठोरता और पहनने के प्रतिरोध के साथ अर्धचालक विनिर्माण उपकरणों के लिए उत्कृष्ट सतह संरक्षण प्रदान करती है। विशेष रूप से उच्च तापमान और अत्यधिक संक्षारक प्रक्रिया वातावरण में, जैसे कि रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) और प्लाज्मा नक़्क़ाशी, कोटिंग प्रभावी रूप से उपकरण की सतह को रासायनिक क्षरण या शारीरिक पहनने से क्षतिग्रस्त होने से रोक सकती है, जिससे उपकरण की सेवा जीवन में काफी वृद्धि होती है और बार-बार प्रतिस्थापन और मरम्मत के कारण होने वाले डाउनटाइम को कम किया जा सकता है।

प्रक्रिया शुद्धता में सुधार:सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में, छोटे संदूषण से उत्पाद में दोष हो सकते हैं। सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग की रासायनिक निष्क्रियता इसे चरम स्थितियों में स्थिर रहने की अनुमति देती है, जिससे सामग्री को कणों या अशुद्धियों को छोड़ने से रोका जा सकता है, जिससे प्रक्रिया की पर्यावरणीय शुद्धता सुनिश्चित होती है। यह उन विनिर्माण चरणों के लिए विशेष रूप से महत्वपूर्ण है जिनमें उच्च परिशुद्धता और उच्च स्वच्छता की आवश्यकता होती है, जैसे कि PECVD और आयन प्रत्यारोपण।

थर्मल प्रबंधन को अनुकूलित करें:उच्च तापमान वाले अर्धचालक प्रसंस्करण में, जैसे कि रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) और ऑक्सीकरण प्रक्रियाएँ, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग की उच्च तापीय चालकता उपकरण के अंदर समान तापमान वितरण को सक्षम बनाती है। यह तापमान में उतार-चढ़ाव के कारण होने वाले थर्मल तनाव और सामग्री विरूपण को कम करने में मदद करता है, जिससे उत्पाद निर्माण सटीकता और स्थिरता में सुधार होता है।

जटिल प्रक्रिया वातावरण का समर्थन करें:ऐसी प्रक्रियाओं में, जिनमें जटिल वातावरण नियंत्रण की आवश्यकता होती है, जैसे कि आईसीपी नक़्काशी और पीएसएस नक़्काशी प्रक्रियाएं, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग की स्थिरता और ऑक्सीकरण प्रतिरोध सुनिश्चित करता है कि उपकरण दीर्घकालिक संचालन में स्थिर प्रदर्शन बनाए रखता है, जिससे पर्यावरणीय परिवर्तनों के कारण सामग्री के क्षरण या उपकरण क्षति का जोखिम कम हो जाता है।