SiC कोटिंग वाले ग्रेफाइट MOCVD वेफर कैरियर, ग्रेफाइट ससेप्टरSiC एपिटैक्सी,
कार्बन संवेदकों की आपूर्ति करता है, ग्रेफाइट एपिटैक्सी ससेप्टर्स, ग्रेफाइट सपोर्ट सब्सट्रेट, एमओसीवीडी ससेप्टर, SiC एपिटैक्सी, वेफर ससेप्टर्स,

हमारे SiC-लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर्स के विशेष लाभों में अत्यधिक शुद्धता, समरूप कोटिंग और उत्कृष्ट सेवा जीवन शामिल हैं। इनमें उच्च रासायनिक प्रतिरोध और ऊष्मीय स्थिरता के गुण भी मौजूद हैं।

सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए ग्रेफाइट सब्सट्रेट पर SiC कोटिंग करने से एक ऐसा पार्ट बनता है जिसमें बेहतर शुद्धता और ऑक्सीकरण वातावरण के प्रति प्रतिरोधकता होती है।
सरल या जटिल डिज़ाइन वाले ग्रेफाइट पुर्जों पर CVD SiC या CVI SiC कोटिंग की जाती है। कोटिंग को अलग-अलग मोटाई में और बहुत बड़े पुर्जों पर भी लगाया जा सकता है।

विशेषताएँ:
• उत्कृष्ट तापीय आघात प्रतिरोध
• उत्कृष्ट भौतिक आघात प्रतिरोधक क्षमता
• उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध
· अत्यधिक शुद्धता
• जटिल आकृतियों में उपलब्धता
· ऑक्सीकरण वातावरण में उपयोग योग्य

आवेदन पत्र:

आधार ग्रेफाइट सामग्री के विशिष्ट गुण:

कार्बन संवेदकों की आपूर्ति करता हैऔर सभी मौजूदा एपिटैक्सी रिएक्टरों के लिए ग्रेफाइट घटक। हमारे पोर्टफोलियो में एप्लाइड और एलपीई इकाइयों के लिए बैरल ससेप्टर, एलपीई, सीएसडी और जेमिनी इकाइयों के लिए पैनकेक ससेप्टर, और एप्लाइड और एएसएम इकाइयों के लिए सिंगल-वेफर ससेप्टर शामिल हैं। प्रमुख ओईएम के साथ मजबूत साझेदारी, सामग्री विशेषज्ञता और विनिर्माण जानकारी के संयोजन से, एसजीएल आपके अनुप्रयोग के लिए सर्वोत्तम डिज़ाइन प्रदान करता है।