Ọnọdụ nyocha nke sekit agbakwunyere SiC

N'adịghị ka ngwaọrụ S1C dị iche iche nke na-agbaso nnukwu voltaji, ike dị elu, ugboro ugboro dị elu na njirimara okpomọkụ dị elu, ebumnuche nyocha nke sekit integrated SiC bụ isi inweta sekit dijitalụ dị elu maka sekit njikwa ike ICs nwere ọgụgụ isi. Ebe ọ bụ na sekit integrated SiC maka ubi eletriki dị n'ime dị obere, yabụ mmetụta nke ntụpọ microtubules ga-ebelata nke ukwuu, nke a bụ akụkụ mbụ nke mgbawa amplifier arụmọrụ SiC monolithic ka akwadoro, ngwaahịa emechara ma chọpụta site na mmepụta dị elu karịa ntụpọ microtubules, ya mere, dabere na ụdị mmepụta SiC na ihe Si na CaAs doro anya dị iche. Chip ahụ dabere na teknụzụ NMOSFET na-ebelata. Isi ihe kpatara ya bụ na ngagharị dị irè nke ọwa azụ SiC MOSFETs dị oke ala. Iji melite ngagharị elu nke Sic, ọ dị mkpa imeziwanye ma melite usoro oxidation okpomọkụ nke Sic.

Mahadum Purdue arụọla ọrụ dị ukwuu na sekit SiC integrated. Na 1992, e mepụtara ụlọ ọrụ mmepụta ihe nke ọma site na sekit dijitalụ monolithic nke reverse channel 6H-SIC NMOSFETs. Chip ahụ nwere ma ọ bụghị sekit ọnụ ụzọ ámá, ma ọ bụ ọnụ ụzọ ámá, na ọnụ ụzọ ámá, counter binary, na ọkara adder ma nwee ike ịrụ ọrụ nke ọma na oke okpomọkụ nke 25°C ruo 300°C. Na 1995, e ji teknụzụ injection vanadium mepụta ụgbọelu SiC mbụ MESFET Ics. Site na ijikwa kpọmkwem ego vanadium a gbara, enwere ike nweta SiC insulating.

Na sekit teknụzụ dijitalụ, sekit CMOS mara mma karịa sekit NMOS. Na Septemba 1996, emepụtara sekit dijitalụ 6H-SIC CMOS mbụ. Ngwaọrụ ahụ na-eji oyi akwa N-order na deposition oxide a gbanyere mkpọrọgwụ, mana n'ihi nsogbu usoro ndị ọzọ, voltaji oke nke chip PMOSFETs dị oke elu. Na Maachị 1997 mgbe a na-emepụta sekit SiC CMOS nke ọgbọ nke abụọ. A nabatara teknụzụ nke ịgba ọnyà P na oyi akwa oxide uto okpomọkụ. Voltaji oke nke PMOSEFTs enwetara site na mmezi usoro bụ ihe dị ka -4.5V. Circuit niile dị na chip ahụ na-arụ ọrụ nke ọma na okpomọkụ ụlọ ruo 300°C ma na-enye ike site na otu ọkọnọ ike, nke nwere ike ịdị ebe ọ bụla site na 5 ruo 15V.

Site na mmụba nke ịdị mma nke wafer substrate, a ga-eme sekit ndị agbakwunyere na-arụ ọrụ nke ọma ma na-amụba mmepụta ha. Agbanyeghị, mgbe edoziri nsogbu ihe na usoro SiC n'ụzọ bụ isi, ntụkwasị obi nke ngwaọrụ na ngwugwu ga-abụ isi ihe na-emetụta arụmọrụ nke sekit agbakwunyere SiC dị elu.