Háþróaður SiC Cantilever Paddle fyrir Wafer vinnslu

ÍtarlegriSiC Cantilever spaðaFyrir skífuvinnslu frá vet-china er frábær lausn fyrir framleiðslu á hálfleiðurum. Þessi sveigjandi spaði er úr SiC (kísillkarbíði) efni og mikil hörka og hitaþol gerir honum kleift að viðhalda framúrskarandi árangri í háum hita og tærandi umhverfi. Hönnun sveigjandi spaðans gerir kleift að styðja skífuna áreiðanlega við vinnslu, sem dregur úr hættu á sundrun og skemmdum.

SiC Cantilever spaðaer sérhæfður íhlutur sem notaður er í framleiðslubúnaði fyrir hálfleiðara eins og oxunarofna, dreifingarofna og glæðingarofna, aðalnotkunin er til að hlaða og afferma skífur, styðja og flytja skífur við háhitaferli.

Algengar mannvirkiafSiCcvörnpfíkniefni: Sjálfberandi uppbygging, föst í öðrum endanum og laus í hinum, hefur yfirleitt flata og spaðlaga hönnun.

VET Energy notar endurkristölluð kísilkarbíðefni með mikilli hreinleika til að tryggja gæði.