Kvarsskífubáturer lykilburðartæki í framleiðslu hálfleiðara, framleiðslu sólarsella og rannsóknum og þróun á háþróaðri efnisfræði, hannað fyrir stöðugan flutning og staðsetningu skífa í háhitaferlum. Þessi vara er úr mjög hreinu bræddu kísil (SiO2), með framúrskarandi hitaþol, efnastöðugleika og mjög litla málmmengunareiginleika, hentugur fyrir dreifingarofna, oxunarofna, PECVD/LPCVD og annan búnað, mikið notaður í skífuhúðun, jónaígræðslu, háhitaglæðingu og öðrum kjarnaferlum.
Helstu kostir kvarsbátsins frá VET Energy:
- Efni með mjög mikilli hreinleika
Hreinleiki ≥99,99%: Óhreinindainnihald (Na, K, Fe, o.s.frv.) <5 ppm, sem kemur í veg fyrir mengun í skífum og tryggir flísafköst.
Lítil úrkoma og aðsog: Yfirborðið er mjög slípað (Ra≤0,4μm) til að draga úr viðloðun agna og gasleifum. - Stöðugleiki við háan hita
Hitastig: Langtíma vinnuhitastig 1100 ℃, skammtíma hámark 1300 ℃, engin aflögun, engin kristallaúrkoma.
Lágt hitauppþenslustuðull (5,5x10-7/℃), framúrskarandi hitaáfallsþol, aðlögunarhæft við hraða hitastigshækkun og -lækkun (t.d. RTP hraðglæðing). - Nákvæm byggingarhönnun
Nákvæmni raufar ± 0,1 mm: samsvörun 2” til 12” skífa, einsleitni bils <0,05 mm, sem tryggir að skífurnar hafi enga hliðrun.
Mikil burðargeta: Hámarksálag 50 skífur (miðað við 12" skífur) í einum bát, sem styður stöðugan flutning þunnra skífa (≥100µm). - Efnafræðileg óvirkni
Tæringarþol: Þolir tæringu af völdum sýru (nema HF), basa og lífrænna leysna, samhæft við CMP hreinsunarferli.
Frábær gasþéttleiki: Lekahraði <5x10-10 Pa.m3/s, hentugur fyrir lofttæmi og verndandi gasumhverfi. - Langur líftími og viðhaldshæfni
Líftími ≥ 5000 lotur (venjulegar vinnuaðstæður), hægt er að þrífa og nota yfirborðið ítrekað, sem dregur úr heildarkostnaði.
Mátunarhönnun: styður hlutaskipti (t.d. tönn á einni bát), sem dregur úr niðurtíma.
Við bjóðum upp á bæði gegnsæ og matt yfirborð í samræmi við kröfur viðskiptavina:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er hátæknifyrirtæki sem einbeitir sér að framleiðslu og sölu á hágæða efnum, þar á meðal grafíti, kísilkarbíði, keramik, yfirborðsmeðferð eins og SiC húðun, TaC húðun, glerkenndum kolefnishúðun, hitaleiðandi kolefnishúðun o.s.frv., þessar vörur eru mikið notaðar í ljósorku, hálfleiðurum, nýrri orku, málmvinnslu o.s.frv.
Tækniteymi okkar kemur frá fremstu innlendum rannsóknarstofnunum og hefur þróað margar einkaleyfisverndaðar tækni til að tryggja afköst og gæði vörunnar og getur einnig veitt viðskiptavinum faglegar efnislausnir.
