hitari fyrir kísilkarbíð keramikhúðun

Vet-KínaKísilkarbíð keramikHúðun er öflug verndarhúðun úr afar hörðu og slitsterku efni.kísillkarbíð (SiC)efni, sem býður upp á framúrskarandi efnatæringarþol og stöðugleika við háan hita. Þessir eiginleikar eru mikilvægir í framleiðslu hálfleiðara, svoKísilkarbíð keramikhúðuner mikið notað í lykilhlutum í framleiðslubúnaði fyrir hálfleiðara.

Sérstakt hlutverk Vet-ChinaKísilkarbíð keramikHúðun í framleiðslu hálfleiðara er sem hér segir:

Auka endingu búnaðar:Kísilkarbíð keramikhúðun Kísilkarbíð keramikhúðun veitir framúrskarandi yfirborðsvörn fyrir framleiðslubúnað fyrir hálfleiðara með afar mikilli hörku og slitþoli. Sérstaklega í háhita og mjög tærandi ferlumhverfi, svo sem efnagufuútfellingu (CVD) og plasmaetsun, getur húðunin á áhrifaríkan hátt komið í veg fyrir að yfirborð búnaðarins skemmist vegna efnarofs eða slits, og þar með lengt endingartíma búnaðarins verulega og dregið úr niðurtíma af völdum tíðra skipti og viðgerða.

Bæta hreinleika ferlisins:Í framleiðsluferli hálfleiðara getur örlítil mengun valdið vörugöllum. Efnafræðileg óvirkni kísilkarbíð keramikhúðunar gerir henni kleift að vera stöðug við erfiðar aðstæður, sem kemur í veg fyrir að efnið losi agnir eða óhreinindi og tryggir þannig umhverfishreinleika ferlisins. Þetta er sérstaklega mikilvægt fyrir framleiðsluskref sem krefjast mikillar nákvæmni og hreinlætis, svo sem PECVD og jónígræðslu.

Hámarka hitastjórnun:Í háhitavinnslu á hálfleiðurum, svo sem hraðhitavinnslu (RTP) og oxunarferlum, gerir mikil varmaleiðni kísilkarbíðs keramikhúðunar kleift að dreifa hitanum jafnt inni í búnaðinum. Þetta hjálpar til við að draga úr varmaálagi og aflögun efnis af völdum hitasveiflna og bætir þannig nákvæmni og samræmi í framleiðslu vörunnar.

Styðjið flókin ferlaumhverfi:Í ferlum sem krefjast flókinnar andrúmsloftsstýringar, svo sem ICP-etsunar og PSS-etsunar, tryggja stöðugleiki og oxunarþol kísilkarbíðkeramikhúðunar að búnaðurinn haldi stöðugri afköstum við langtímanotkun, sem dregur úr hættu á efnisskemmdum eða skemmdum á búnaði vegna umhverfisbreytinga.