ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ವೇಫರ್ ದೋಣಿಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಕೋಶ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ವಸ್ತು ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ವಾಹಕ ಸಾಧನವಾಗಿದ್ದು, ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾದ ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಾನೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಈ ಉತ್ಪನ್ನವು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಫ್ಯೂಸ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾ (SiO2) ನಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕಡಿಮೆ ಲೋಹದ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ, ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಕುಲುಮೆ, PECVD/LPCVD ಮತ್ತು ಇತರ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ, ಇದನ್ನು ವೇಫರ್ ಲೇಪನ, ಅಯಾನು ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಅನೀಲಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇತರ ಕೋರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
VET ಎನರ್ಜಿಯ ಸ್ಫಟಿಕ ದೋಣಿಯ ಪ್ರಮುಖ ಅನುಕೂಲಗಳು:
- ಅತಿ-ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ವಸ್ತು
ಶುದ್ಧತೆ ≥99.99%: ಕಲ್ಮಶದ ಅಂಶ (Na, K, Fe, ಇತ್ಯಾದಿ) <5ppm, ವೇಫರ್ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಚಿಪ್ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಖಾತರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಕಡಿಮೆ ಮಳೆ ಮತ್ತು ಹೊರಹೀರುವಿಕೆ: ಕಣಗಳ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಶೇಷವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸೂಪರ್-ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ (Ra≤0.4μm). - ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಸ್ಥಿರತೆ
ತಾಪಮಾನದ ಮಿತಿ: ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನ 1100℃, ಅಲ್ಪಾವಧಿಯ ಗರಿಷ್ಠ 1300℃, ಯಾವುದೇ ವಿರೂಪತೆಯಿಲ್ಲ, ಸ್ಫಟಿಕ ಮಳೆಯಿಲ್ಲ.
ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ (5.5x10-7/℃), ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ನಿರೋಧಕತೆ, ತ್ವರಿತ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಕೆ ಮತ್ತು ಕುಸಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ (ಉದಾ. RTP ಕ್ಷಿಪ್ರ ಅನೀಲಿಂಗ್). - ನಿಖರವಾದ ರಚನಾತ್ಮಕ ವಿನ್ಯಾಸ
ಸ್ಲಾಟ್ ನಿಖರತೆ± 0.1mm: 2" ರಿಂದ 12" ವೇಫರ್ಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುವುದು, ಅಂತರ ಏಕರೂಪತೆಯ ದೋಷ <0.05mm, ವೇಫರ್ಗಳಿಗೆ ಆಫ್ಸೆಟ್ ಇಲ್ಲ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಹೊರೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ: ಒಂದೇ ದೋಣಿಯಲ್ಲಿ ಗರಿಷ್ಠ 50 ವೇಫರ್ಗಳ ಲೋಡ್ (12” ವೇಫರ್ಗಳ ಪರಿಭಾಷೆಯಲ್ಲಿ), ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್ಗಳ (≥100um) ಸ್ಥಿರ ವರ್ಗಾವಣೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. - ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವ
ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ: ಆಮ್ಲ (HF ಹೊರತುಪಡಿಸಿ), ಕ್ಷಾರ ಮತ್ತು ಸಾವಯವ ದ್ರಾವಕ ತುಕ್ಕುಗೆ ನಿರೋಧಕ, CMP ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಅನಿಲ ಬಿಗಿತ: ಸೋರಿಕೆ ದರ <5x10-10 Pa.m3/s, ನಿರ್ವಾತ ಮತ್ತು ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಅನಿಲ ಪರಿಸರಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. - ದೀರ್ಘಾಯುಷ್ಯ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ
ಜೀವಿತಾವಧಿ ≥ 5000 ಚಕ್ರಗಳು (ಸಾಮಾನ್ಯ ಕೆಲಸದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳು), ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಪದೇ ಪದೇ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಬಳಸಬಹುದು, ಒಟ್ಟಾರೆ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು.
ಮಾಡ್ಯುಲರ್ ವಿನ್ಯಾಸ: ಭಾಗಶಃ ಬದಲಿಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ (ಉದಾ. ದೋಣಿ ಹಲ್ಲು ಒಂದೇ), ಇದು ಡೌನ್ಟೈಮ್ ಅನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಗ್ರಾಹಕರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ನಾವು ಪಾರದರ್ಶಕ ಮತ್ತು ಫ್ರಾಸ್ಟೆಡ್ ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತೇವೆ:
ನಿಂಗ್ಬೋ VET ಎನರ್ಜಿ ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ ಕಂ., ಲಿಮಿಟೆಡ್ ಒಂದು ಹೈಟೆಕ್ ಉದ್ಯಮವಾಗಿದ್ದು, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್, ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್, SiC ಲೇಪನದಂತಹ ಮೇಲ್ಮೈ ಚಿಕಿತ್ಸೆ, TaC ಲೇಪನ, ಗಾಜಿನ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ, ಪೈರೋಲಿಟಿಕ್ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ, ಇತ್ಯಾದಿ ಸೇರಿದಂತೆ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಸುಧಾರಿತ ವಸ್ತುಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಮಾರಾಟದ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ, ಅರೆವಾಹಕ, ಹೊಸ ಶಕ್ತಿ, ಲೋಹಶಾಸ್ತ್ರ, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ನಮ್ಮ ತಾಂತ್ರಿಕ ತಂಡವು ಉನ್ನತ ದೇಶೀಯ ಸಂಶೋಧನಾ ಸಂಸ್ಥೆಗಳಿಂದ ಬಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಬಹು ಪೇಟೆಂಟ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿದೆ, ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ವೃತ್ತಿಪರ ವಸ್ತು ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಸಹ ಒದಗಿಸಬಹುದು.
