TaC Coating çi ye?

Di pîşesaziya nîvconductoran de ku bi lez pêş dikeve, materyalên ku performans, domdarî û karîgeriyê zêde dikin pir girîng in. Yek ji van nûjeniyan pêçandina Tantalum Carbide (TaC) ye, ku çînek parastinê ya pêşkeftî ye ku li ser pêkhateyên grafîtê tê sepandin. Ev blog pênaseya pêçandina TaC, avantajên teknîkî û sepanên wê yên veguherîner di çêkirina nîvconductoran de vedikole.

1. Pêçandina TaC çi ye?

Pêçandina TaC çînek seramîk a performansa bilind e ku ji karbîda tantalumê (tevliheviyek ji tantalum û karbonê) pêk tê ku li ser rûyên grafîtê tê danîn. Pêçandin bi gelemperî bi karanîna teknîkên Depozîsyona Buxara Kîmyewî (CVD) an Depozîsyona Buxara Fîzîkî (PVD) tê sepandin, ku astengiyek zirav û pir paqij diafirîne ku grafîtê ji şert û mercên dijwar diparêze.

Taybetmendiyên sereke yên pêçandina TaC

●Aramiya Germahiya BilindLi hember germahiyên ku ji 2200°C derbas dibin, li ber xwe dide, ji materyalên kevneşopî yên wekî karbîda silîkonê (SiC), ku li jor 1600°C xirab dibe, çêtir performansê nîşan dide.

●Berxwedana KîmyewîLi hember korozyona hîdrojenê (H₂), amonyakê (NH₃), buhara silîkonê, û metalên heliyayî berxwe dide, ku ji bo jîngehên hilberandina nîvconductoran girîng e.

●Paqijiya Ultra-BilindAsta qirêjiyê di bin 5 ppm de, xetereyên kontaminasyonê di pêvajoyên mezinbûna krîstalan de kêm dike.

●Berxwedana Termal û MekanîkîPêvedana bihêz a bi grafîtê re, berfirehbûna germî ya kêm (6.3×10⁻⁶/K), û hişkbûn (~2000 HK) di bin çerxeya germî de temenê dirêj misoger dikin.

1. Pêçandina TaC di Çêkirina Nîvconductor de: Serlêdanên Sereke

Pêkhateyên grafîtê yên bi TaC hatine pêçandin di çêkirina nîvconductorên pêşketî de, bi taybetî ji bo cîhazên silicon carbide (SiC) û gallyum nitride (GaN), pir girîng in. Li jêr rewşên karanîna wan ên girîng hene:

1. Mezinbûna Krîstala Yekane ya SiC

Waflên SiC ji bo elektronîkên hêzê û wesayîtên elektrîkê girîng in. Xalîçeyên grafît û susceptorên bi pêçandina TaC di pergalên Veguhestina Buxara Fizîkî (PVT) û CVD-ya Germahiya Bilind (HT-CVD) de têne bikar anîn da ku:

● Pîsbûnê BitepisîneNaveroka nepakiya kêm a TaC (mînak, boron <0.01 ppm li hember 1 ppm di grafîtê de) kêmasiyên di krîstalên SiC de kêm dike, berxwedana waferê baştir dike (4.5 ohm-cm li hember 0.1 ohm-cm ji bo grafîta bê pêçandin).

● Rêvebiriya Germahîyê Baştir BikeEmîsivîteya yekreng (0.3 li 1000°C) belavkirina germê ya domdar misoger dike, û kalîteya krîstalê çêtir dike.

2. Mezinbûna Epitaksiyal (GaN/SiC)

Di reaktorên CVD yên Metal-Organîk (MOCVD) de, pêkhateyên bi TaC pêçayî yên wekî hilgirên wafl û enjektor:

●Pêşîgirtina li reaksiyonên gazêLi hember kolandina ji hêla amonyak û hîdrojenê ve di 1400°C de li ber xwe dide, û yekparebûna reaktorê diparêze.

●Baştirkirina BerhemêBi kêmkirina rijandina perçeyan ji grafîtê, pêçandina CVD TaC kêmasiyên di tebeqeyên epitaksiyal de kêm dike, ku ji bo LED-ên performansa bilind û cîhazên RF pir girîng e.

3. Serlêdanên Din ên Nîvconductor

●Reaktorên Germahiya BilindSepker û germkerên di hilberîna GaN de ji aramiya TaC di jîngehên dewlemend bi hîdrojenê de sûd werdigirin.

●Birêvebirina WaferêParçeyên pêçayî yên wekî zengil û qapax gemarbûna metalî di dema veguhastina waferê de kêm dikin.

1. Çima TaC Coating ji Alternatîfan Baştir e?

Berawirdkirinek bi materyalên kevneşopî re serdestiya TaC-ê destnîşan dike:

Daneyên ji berawirdkirinên pîşesaziyê hatine wergirtin

IV. Çima VET hilbijêrin?

Piştî veberhênana berdewam di lêkolîn û pêşkeftina teknolojiyê de,VETParçeyên ku bi karbîda tantalumê (TaC) hatine pêçandin, wek mînakXeleka rêberiya grafîtê ya pêçayî bi TaC, Pêveka plakaya pêçayî ya CVD TaC, Susceptorê bi TaC-ê pêçayî ji bo alavên Epitaksiyê,Materyalê grafîtê poroz ê bi karbîda tantalumê pêçayîûWafer susceptor bi pêçandina TaC, li bazarên Ewropî û Amerîkî pir populer in. VET bi dilgermî li bendê ye ku bibe hevkarê we yê demdirêj.