TaC Coating ဆိုတာ ဘာလဲ။

လျင်မြန်စွာ ပြောင်းလဲတိုးတက်နေသော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် စွမ်းဆောင်ရည်၊ တာရှည်ခံမှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးသည့် ပစ္စည်းများသည် အရေးကြီးပါသည်။ ထိုကဲ့သို့သော ဆန်းသစ်တီထွင်မှုတစ်ခုမှာ Tantalum Carbide (TaC) coating ဖြစ်ပြီး ဂရပ်ဖိုက် အစိတ်အပိုင်းများတွင် နောက်ဆုံးပေါ် အကာအကွယ်အလွှာတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤဘလော့ဂ်သည် TaC coating ၏ အဓိပ္ပါယ်ဖွင့်ဆိုချက်၊ နည်းပညာဆိုင်ရာ အားသာချက်များနှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် ၎င်း၏အသွင်ပြောင်းသည့်အသုံးချပရိုဂရမ်များကို စူးစမ်းလေ့လာပါသည်။

Ⅰ။ TaC Coating ဆိုတာ ဘာလဲ။

TaC coating သည် ဂရပ်ဖိုက် မျက်နှာပြင်များပေါ်တွင် တင်တန်တလမ်ကာဘိုက် (တန့်တလမ်နှင့် ကာဗွန်ဒြပ်ပေါင်း) ဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ကြွေလွှာဖြစ်သည်။ အလွှာကို ယေဘူယျအားဖြင့် Chemical Vapor Deposition (CVD) သို့မဟုတ် Physical Vapor Deposition (PVD) နည်းပညာများကို အသုံးပြု၍ ဂရပ်ဖိုက်ကို လွန်ကဲသော အခြေအနေများမှ ကာကွယ်ပေးသော သိပ်သည်းပြီး အလွန်သန့်စင်သော အတားအဆီးကို ဖန်တီးသည်။

TaC Coating ၏ အဓိက ဂုဏ်သတ္တိများ

●မြင့်မားသောအပူချိန်တည်ငြိမ်မှု: အပူချိန် 2200°C ထက်ကျော်လွန်၍ အပူချိန် 1600°C အထက် ကျဆင်းသွားသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) ကဲ့သို့ သမားရိုးကျ ပစ္စည်းများထက် သာလွန်သည်။

●ဓာတုခုခံမှု: ဟိုက်ဒရိုဂျင် (H₂)၊ အမိုးနီးယား (NH₃)၊ ဆီလီကွန်အခိုးအငွေ့များနှင့် သွန်းသောသတ္တုများကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်သည့် ပတ်ဝန်းကျင်အတွက် အရေးကြီးပါသည်။

●အလွန်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု: 5 ppm အောက်ရှိ အညစ်အကြေးအဆင့်များ ၊ ပုံဆောင်ခဲ ကြီးထွားမှု လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်များကို လျော့နည်းစေသည်။

●အပူနှင့်စက်ပိုင်းဆိုင်ရာကြာရှည်ခံမှု− ဂရပ်ဖိုက်အား ခိုင်ခံ့စွာ ကပ်နိုင်ခြင်း၊ အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု နည်းပါးခြင်း (6.3×10⁻⁶/K) နှင့် မာကျောမှု (~2000 HK) တို့သည် အပူစက်ဘီးစီးခြင်းတွင် တာရှည်ခံအောင် ဆောင်ရွက်ပေးပါသည်။

Ⅱ Semiconductor ထုတ်လုပ်မှုတွင် TaC coating- အဓိကအသုံးချမှုများ

အထူးသဖြင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) နှင့် gallium nitride (GaN) စက်ပစ္စည်းများအတွက် အဆင့်မြင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် TaC-coated ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။ အောက်တွင် ၎င်းတို့၏ အရေးပါသော အသုံးပြုမှုကိစ္စများ ဖြစ်သည်-

1. SiC Single Crystal Growth

SiC wafers များသည် ပါဝါအီလက်ထရွန်နစ်ပစ္စည်းများနှင့် လျှပ်စစ်ကားများအတွက် အရေးကြီးပါသည်။ TaC-coated graphite crucibles နှင့် susceptors ကို Physical Vapor Transport (PVT) နှင့် High-Temperature CVD (HT-CVD) စနစ်များတွင် အသုံးပြုသည်-

● ညစ်ညမ်းမှုကို နှိမ်နှင်းပါ။: TaC ၏ ညစ်ညမ်းမှုနည်းသော အကြောင်းအရာ (ဥပမာ၊ ဘိုရွန် <0.01 ppm နှင့် ဂရပ်ဖိုက်တွင် 1 ppm) သည် SiC ပုံဆောင်ခဲများတွင် ချို့ယွင်းချက်များကို လျော့နည်းစေပြီး wafer ခံနိုင်ရည်အား ပိုမိုကောင်းမွန်စေသည် (4.5 ohm-cm vs. 0.1 ohm-cm) သည် SiC ပုံဆောင်ခဲများတွင် ချွတ်ယွင်းချက်များကို လျော့နည်းစေသည်။

● အပူပိုင်းစီမံခန့်ခွဲမှုကို မြှင့်တင်ပါ။: Uniform emissivity (1000°C တွင် 0.3) သည် တစ်သမတ်တည်း အပူဖြန့်ဖြူးမှုကို သေချာစေပြီး ပုံဆောင်ခဲ၏ အရည်အသွေးကို ပိုကောင်းစေသည်။

2. Epitaxial ကြီးထွားမှု (GaN/SiC)

Metal-Organic CVD (MOCVD) ဓာတ်ပေါင်းဖိုများတွင် wafer carriers နှင့် injectors ကဲ့သို့သော TaC-coated အစိတ်အပိုင်းများ-

●ဓာတ်ငွေ့တုံ့ပြန်မှုကိုကာကွယ်ပါ။: 1400°C တွင် အမိုးနီးယားနှင့် ဟိုက်ဒရိုဂျင်တို့က ခြစ်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဓာတ်ပေါင်းဖို၏ ကြံ့ခိုင်မှုကို ထိန်းသိမ်းထားသည်။

●အထွက်နှုန်းတိုးတက်စေခြင်း။: ဂရပ်ဖိုက်မှ အမှုန်အမွှားများ ကြွေကျခြင်းကို လျှော့ချခြင်းဖြင့် CVD TaC coating သည် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် LEDs နှင့် RF စက်များအတွက် အရေးကြီးသော epitaxial အလွှာများရှိ ချို့ယွင်းချက်များကို လျော့နည်းစေသည်။

3. အခြားသော Semiconductor Applications များ

●အပူချိန်မြင့် ဓာတ်ပေါင်းဖိုများ: GaN ထုတ်လုပ်မှုရှိ Susceptors နှင့် အပူပေးစက်များသည် ဟိုက်ဒရိုဂျင်ကြွယ်ဝသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် TaC ၏တည်ငြိမ်မှုမှအကျိုးရှိသည်။

●Wafer ကိုင်တွယ်ခြင်း။: လက်စွပ်များနှင့် အဖုံးများကဲ့သို့ coated အစိတ်အပိုင်းများသည် wafer လွှဲပြောင်းစဉ်အတွင်း သတ္တုညစ်ညမ်းမှုကို လျှော့ချပေးသည်။

Ⅲ။ အဘယ်ကြောင့် TaC Coating သည် အခြားရွေးချယ်စရာများကို စွမ်းဆောင်နိုင်သနည်း။

သမားရိုးကျ ပစ္စည်းများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက TaC ၏ သာလွန်မှုကို မီးမောင်းထိုးပြသည်-

လုပ်ငန်းဆိုင်ရာ နှိုင်းယှဉ်မှုများမှ ရရှိသည့် အချက်အလက်

IV အဘယ်ကြောင့် VET ကိုရွေးချယ်သနည်း။

စဉ်ဆက်မပြတ် ရင်းနှီးမြှုပ်နှံမှုများ ပြုလုပ်ပြီးနောက် နည်းပညာ သုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေး၊VET's Tantalum carbide (TaC) ကဲ့သို့သော coated အစိတ်အပိုင်းများTaC coated ဂရပ်ဖိုက်လမ်းညွှန်လက်စွပ်, CVD TaC Coated plate susceptorEpitaxy စက်အတွက် TaC Coated Susceptor၊တန်တလမ်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော porous graphite ပစ္စည်းနှင့်TaC coating ဖြင့် Wafer susceptorဥရောပနှင့် အမေရိကဈေးကွက်များတွင် အလွန်ရေပန်းစားသည်။ VET သည် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် စိတ်ရင်းမှန်ဖြင့် စောင့်မျှော်နေပါသည်။