Unsa ang TaC Coating?

Sa paspas nga nag-uswag nga industriya sa semiconductor, ang mga materyales nga nagpauswag sa pasundayag, kalig-on, ug kahusayan hinungdanon. Usa sa maong kabag-ohan mao ang Tantalum Carbide (TaC) coating, usa ka cutting-edge nga protective layer nga gipadapat sa graphite components. Gisusi sa kini nga blog ang kahulugan sa TaC coating, mga bentaha sa teknikal, ug ang mga pagbag-o nga aplikasyon niini sa paghimo sa semiconductor.

Ⅰ. Unsa ang TaC Coating?

Ang TaC coating kay usa ka high-performance ceramic layer nga gilangkuban sa tantalum carbide (usa ka compound sa tantalum ug carbon) nga gideposito sa graphite surfaces. Ang coating kasagarang gigamit gamit ang Chemical Vapor Deposition (CVD) o Physical Vapor Deposition (PVD) nga mga teknik, nga nagmugna og dasok, ultra-pure nga babag nga nanalipod sa graphite gikan sa grabeng mga kondisyon.

Panguna nga mga Properties sa TaC Coating

●Kalig-on sa Taas nga Temperatura: Makasugakod sa mga temperatura nga molapas sa 2200°C, labaw sa tradisyonal nga mga materyales sama sa silicon carbide (SiC), nga mous-os sa ibabaw sa 1600°C.

●Pagbatok sa Kemikal: Makasukol sa kaagnasan gikan sa hydrogen (H₂), ammonia (NH₃), silicon vapors, ug tinunaw nga mga metal, kritikal alang sa semiconductor processing environment.

●Labing Hataas nga Kaputli: Ang lebel sa kahugawan ubos sa 5 ppm, pagpamenos sa mga risgo sa kontaminasyon sa mga proseso sa pagtubo sa kristal.

●Thermal ug Mechanical nga Kalig-on: Ang lig-on nga adhesion sa graphite, ubos nga pagpalapad sa kainit (6.3 × 10⁻⁶ / K), ug ang katig-a (~ 2000 HK) nagsiguro sa taas nga kinabuhi ubos sa thermal cycling.

Ⅱ. TaC Coating sa Semiconductor Manufacturing: Panguna nga Aplikasyon

Ang TaC-coated graphite nga mga sangkap kinahanglanon sa advanced semiconductor fabrication, labi na alang sa silicon carbide (SiC) ug gallium nitride (GaN) nga mga aparato. Sa ubos mao ang ilang kritikal nga mga kaso sa paggamit:

1. SiC Single Crystal Growth

Ang mga wafer sa SiC hinungdanon alang sa mga elektroniko sa kuryente ug mga de-koryenteng salakyanan. Ang TaC-coated graphite crucibles ug susceptors gigamit sa Physical Vapor Transport (PVT) ug High-Temperature CVD (HT-CVD) nga mga sistema sa:

● Pugngi ang Kontaminasyon: Ang ubos nga kahugawan sa TaC (pananglitan, boron <0.01 ppm kumpara sa 1 ppm sa graphite) makapamenos sa mga depekto sa mga kristal sa SiC, makapauswag sa resistivity sa wafer (4.5 ohm-cm kumpara sa 0.1 ohm-cm alang sa uncoated graphite).

● Pagpauswag sa Thermal Management: Ang uniporme nga emissivity (0.3 sa 1000 ° C) nagsiguro sa makanunayon nga pag-apod-apod sa kainit, pag-optimize sa kalidad sa kristal.

2. Epitaxial Growth (GaN/SiC)

Sa Metal-Organic CVD (MOCVD) reactors, TaC-coated components sama sa wafer carriers ug injectors:

●Paglikay sa mga Reaksyon sa Gas: Makasukol sa pag-ukit pinaagi sa ammonia ug hydrogen sa 1400°C, pagmintinar sa integridad sa reaktor.

●Pauswaga ang abot: Pinaagi sa pagkunhod sa pag-ula sa partikulo gikan sa graphite, ang CVD TaC coating nagpamenos sa mga depekto sa mga epitaxial layer, hinungdanon alang sa high-performance nga mga LED ug RF device.

3. Ubang mga Aplikasyon sa Semiconductor

●Taas nga Temperatura nga mga Reaktor: Ang mga susceptor ug mga heater sa produksiyon sa GaN nakabenepisyo gikan sa kalig-on sa TaC sa mga palibot nga puno sa hydrogen.

●Pagdumala sa Wafer: Ang mga sangkap nga adunay sapaw sama sa mga singsing ug mga tabon nagpamenos sa kontaminasyon sa metal sa panahon sa pagbalhin sa wafer

Ⅲ. Ngano nga ang TaC Coating Labaw sa mga Alternatibo?

Ang pagtandi sa naandan nga mga materyales nagpasiugda sa pagkalabaw sa TaC:

Ang datos gikan sa mga pagtandi sa industriya

IV. Nganong pilion ang VET?

Pagkahuman sa padayon nga pagpamuhunan sa panukiduki ug pag-uswag sa teknolohiya,VETAng Tantalum carbide (TaC) nga adunay sapaw nga mga bahin, sama saTaC nga adunay sapaw nga graphite guide ring, CVD TaC nga adunay sapaw nga plate susceptor, TaC Coated Susceptor para sa Epitaxy Equipment,Tantalum carbide adunay sapaw nga porous graphite nga materyalugWafer susceptor nga adunay TaC coating, sikat kaayo sa mga merkado sa Europe ug Amerika. Ang VET sinsero nga nagpaabut nga mahimong imong dugay nga kauban.