ٽي سي ڪوٽنگ ڇا آهي؟

تيزي سان ترقي ڪندڙ سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾، اهي مواد جيڪي ڪارڪردگي، استحڪام ۽ ڪارڪردگي کي وڌائين ٿا، اهم آهن. اهڙي ئي هڪ جدت ٽينٽالم ڪاربائيڊ (TaC) ڪوٽنگ آهي، هڪ جديد حفاظتي پرت جيڪا گريفائٽ حصن تي لاڳو ٿئي ٿي. هي بلاگ ٽي سي ڪوٽنگ جي تعريف، ٽيڪنيڪل فائدن، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ان جي تبديلي واري ايپليڪيشنن کي ڳولي ٿو.

Ⅰ. ٽي سي ڪوٽنگ ڇا آهي؟

ٽي اي سي ڪوٽنگ هڪ اعليٰ ڪارڪردگي واري سيرامڪ پرت آهي جيڪا ٽينٽالم ڪاربائيڊ (ٽينٽلم ۽ ڪاربان جو هڪ مرکب) مان ٺهيل آهي جيڪا گريفائٽ جي مٿاڇري تي جمع ٿيل آهي. ڪوٽنگ عام طور تي ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن (سي وي ڊي) يا فزيڪل وانپ ڊپوزيشن (پي وي ڊي) ٽيڪنڪ استعمال ڪندي لاڳو ڪئي ويندي آهي، هڪ گهاٽو، الٽرا پيور رڪاوٽ ٺاهيندي آهي جيڪا گريفائٽ کي انتهائي حالتن کان بچائيندي آهي.

ٽي سي ڪوٽنگ جون اهم خاصيتون

●تيز گرمي پد جي استحڪام: 2200 °C کان وڌيڪ گرمي پد برداشت ڪري ٿو، روايتي مواد جهڙوڪ سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) کان بهتر ڪارڪردگي ڏيکاري ٿو، جيڪو 1600 °C کان مٿي خراب ٿئي ٿو.

●ڪيميائي مزاحمت: هائيڊروجن (H₂)، امونيا (NH₃)، سلڪون بخارات، ۽ پگھليل ڌاتو مان نڪرندڙ سنکنرن جي مزاحمت ڪري ٿو، جيڪو سيمي ڪنڊڪٽر پروسيسنگ ماحول لاءِ اهم آهي.

●انتهائي اعليٰ پاڪائي: نجاست جي سطح 5 پي پي ايم کان هيٺ، ڪرسٽل جي واڌ جي عملن ۾ آلودگي جي خطرن کي گھٽائي ٿي.

●حرارتي ۽ مشيني استحڪام: گريفائٽ سان مضبوط چپڪ، گهٽ حرارتي توسيع (6.3×10⁻⁶/K)، ۽ سختي (~2000 HK) حرارتي سائيڪلنگ دوران ڊگهي عمر کي يقيني بڻائي ٿي.

Ⅱ. سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ٽي سي ڪوٽنگ: اهم ايپليڪيشنون

TaC-ڪوٽيڊ گريفائيٽ جزا ترقي يافته سيمي ڪنڊڪٽر ٺاھڻ ۾ ناگزير آهن، خاص طور تي سلڪون ڪاربائڊ (SiC) ۽ گيليم نائٽرائڊ (GaN) ڊوائيسز لاءِ. هيٺ انهن جي نازڪ استعمال جا ڪيس آهن:

1. SiC سنگل ڪرسٽل واڌ

پاور اليڪٽرانڪس ۽ برقي گاڏين لاءِ SiC ويفرز اهم آهن. TaC-ڪوٽيڊ گريفائيٽ ڪروسيبلز ۽ سسپيٽر فزيڪل ويپر ٽرانسپورٽ (PVT) ۽ هاءِ-ٽيمپريچر CVD (HT-CVD) سسٽم ۾ استعمال ڪيا ويندا آهن:

● آلودگي کي دٻايو: TaC جو گهٽ نجاست وارو مواد (مثال طور، بوران <0.01 ppm بمقابله گريفائٽ ۾ 1 ppm) SiC ڪرسٽل ۾ خرابين کي گھٽائي ٿو، ويفر مزاحمت کي بهتر بڻائي ٿو (4.5 ohm-cm بمقابله 0.1 ohm-cm غير ڪوٽيڊ گريفائٽ لاءِ).

● حرارتي انتظام کي بهتر بڻايو: هڪجهڙائي خارج ڪرڻ (0.3 تي 1000 ° C) مسلسل گرمي جي ورڇ کي يقيني بڻائي ٿي، ڪرسٽل جي معيار کي بهتر بڻائي ٿي.

2. ايپيٽيڪسيل واڌ (GaN/SiC)

ڌاتو-آرگينڪ سي وي ڊي (MOCVD) ري ايڪٽرن ۾، ٽي سي ڪوٽيڊ جزا جهڙوڪ ويفر ڪيريئر ۽ انجيڪٽرز:

●گئس جي رد عمل کي روڪيو: 1400°C تي امونيا ۽ هائيڊروجن جي ايچنگ جي مزاحمت ڪري ٿو، ري ايڪٽر جي سالميت کي برقرار رکي ٿو.

●پيداوار بهتر ڪريو: گريفائٽ مان ذرڙن جي شيڊنگ کي گهٽائڻ سان، سي وي ڊي ٽي سي ڪوٽنگ ايپيٽيڪسيل پرتن ۾ خرابين کي گهٽ ڪري ٿي، جيڪا اعليٰ ڪارڪردگي واري ايل اي ڊي ۽ آر ايف ڊوائيسز لاءِ اهم آهي.

3. ٻيون سيمي ڪنڊڪٽر ايپليڪيشنون

●تيز گرمي پد وارا ري ايڪٽر: GaN جي پيداوار ۾ سسپيٽر ۽ هيٽر هائيڊروجن سان مالا مال ماحول ۾ TaC جي استحڪام مان فائدو حاصل ڪن ٿا.

●ويفر هينڊلنگ: ڍڪيل جزا جهڙوڪ ڇلا ۽ ڍڪ ويفر جي منتقلي دوران ڌاتو جي آلودگي کي گھٽ ڪن ٿا.

Ⅲ. ڇو TaC ڪوٽنگ متبادلن کان بهتر ڪارڪردگي ڏيکاري ٿي؟

روايتي مواد سان مقابلو TaC جي برتري کي اجاگر ڪري ٿو:

ملڪيت	ٽي سي ڪوٽنگ	سي سي ڪوٽنگ	بيئر گريفائيٽ
وڌ ۾ وڌ گرمي پد	>2200°C	<1600°C	~2000°C (تباهيءَ سان)
اينچ ريٽ NH₃ ۾	0.2 µm/ڪلاڪ	1.5 µm/ڪلاڪ	نه/هڪ
نجاست جي سطح	<5 پي پي ايم	اعليٰ	260 پي پي ايم آڪسيجن
حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت	بهترين	وچولي	غريب

صنعت جي مقابلي مان حاصل ڪيل ڊيٽا

IV. VET ڇو چونڊيو؟

ٽيڪنالاجي تحقيق ۽ ترقي ۾ مسلسل سيڙپڪاري کان پوءِ،ويٽجي ٽينٽلم ڪاربائيڊ (TaC) ڪوٽيڊ حصا، جهڙوڪٽي سي ڪوٽيڊ گريفائيٽ گائيڊ رنگ, سي وي ڊي ٽي سي ڪوٽيڊ پليٽ سسپيٽر، ايپيٽيڪسي سامان لاءِ ٽي سي ڪوٽيڊ سسپيٽر،ٽينٽالم ڪاربائيڊ ڪوٽيڊ پورس گريفائيٽ مواد۽ٽي سي ڪوٽنگ سان ويفر سسپيٽر، يورپي ۽ آمريڪي مارڪيٽن ۾ تمام گهڻا مشهور آهن. VET خلوص دل سان توهان جو ڊگهي مدت جو ساٿي بڻجڻ جي منتظر آهي.