TaC ਕੋਟਿੰਗ ਕੀ ਹੈ?

ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਵਿਕਸਤ ਹੋ ਰਹੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ, ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ, ਟਿਕਾਊਤਾ ਅਤੇ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਵਾਲੀਆਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹਨ। ਅਜਿਹੀ ਇੱਕ ਨਵੀਨਤਾ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (TaC) ਕੋਟਿੰਗ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਹਿੱਸਿਆਂ 'ਤੇ ਲਾਗੂ ਇੱਕ ਅਤਿ-ਆਧੁਨਿਕ ਸੁਰੱਖਿਆ ਪਰਤ ਹੈ। ਇਹ ਬਲੌਗ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ TaC ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਪਰਿਭਾਸ਼ਾ, ਤਕਨੀਕੀ ਫਾਇਦਿਆਂ ਅਤੇ ਇਸਦੇ ਪਰਿਵਰਤਨਸ਼ੀਲ ਉਪਯੋਗਾਂ ਦੀ ਪੜਚੋਲ ਕਰਦਾ ਹੈ।

Ⅰ. TaC ਕੋਟਿੰਗ ਕੀ ਹੈ?

TaC ਕੋਟਿੰਗ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਾਲੀ ਸਿਰੇਮਿਕ ਪਰਤ ਹੈ ਜੋ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (ਟੈਂਟਲਮ ਅਤੇ ਕਾਰਬਨ ਦਾ ਮਿਸ਼ਰਣ) ਤੋਂ ਬਣੀ ਹੈ ਜੋ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਸਤਹਾਂ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਕੋਟਿੰਗ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕੈਮੀਕਲ ਵਾਸ਼ਪ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ (CVD) ਜਾਂ ਫਿਜ਼ੀਕਲ ਵਾਸ਼ਪ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ (PVD) ਤਕਨੀਕਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਲਾਗੂ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਇੱਕ ਸੰਘਣੀ, ਅਤਿ-ਸ਼ੁੱਧ ਰੁਕਾਵਟ ਬਣ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਜੋ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਨੂੰ ਅਤਿਅੰਤ ਸਥਿਤੀਆਂ ਤੋਂ ਬਚਾਉਂਦੀ ਹੈ।

TaC ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਮੁੱਖ ਗੁਣ

●ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ: 2200°C ਤੋਂ ਵੱਧ ਤਾਪਮਾਨ ਦਾ ਸਾਮ੍ਹਣਾ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਵਰਗੀਆਂ ਰਵਾਇਤੀ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਨੂੰ ਪਛਾੜਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ 1600°C ਤੋਂ ਉੱਪਰ ਘਟਦੀ ਹੈ।

●ਰਸਾਇਣਕ ਵਿਰੋਧ: ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ (H₂), ਅਮੋਨੀਆ (NH₃), ਸਿਲੀਕਾਨ ਵਾਸ਼ਪਾਂ, ਅਤੇ ਪਿਘਲੀਆਂ ਧਾਤਾਂ ਤੋਂ ਹੋਣ ਵਾਲੇ ਖੋਰ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਵਾਤਾਵਰਣ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ।

●ਅਤਿ-ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ: ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦਾ ਪੱਧਰ 5 ਪੀਪੀਐਮ ਤੋਂ ਘੱਟ, ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਗੰਦਗੀ ਦੇ ਜੋਖਮਾਂ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਦਾ ਹੈ।

●ਥਰਮਲ ਅਤੇ ਮਕੈਨੀਕਲ ਟਿਕਾਊਤਾ: ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਨਾਲ ਮਜ਼ਬੂਤ ​​ਚਿਪਕਣ, ਘੱਟ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ (6.3×10⁻⁶/K), ਅਤੇ ਕਠੋਰਤਾ (~2000 HK) ਥਰਮਲ ਸਾਈਕਲਿੰਗ ਦੇ ਅਧੀਨ ਲੰਬੀ ਉਮਰ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।

Ⅱ. ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ TaC ਕੋਟਿੰਗ: ਮੁੱਖ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ

TaC-ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਹਿੱਸੇ ਉੱਨਤ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਲਾਜ਼ਮੀ ਹਨ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਅਤੇ ਗੈਲਿਅਮ ਨਾਈਟਰਾਈਡ (GaN) ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ। ਹੇਠਾਂ ਉਹਨਾਂ ਦੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਵਰਤੋਂ ਦੇ ਮਾਮਲੇ ਹਨ:

1. SiC ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਗ੍ਰੋਥ

SiC ਵੇਫਰ ਪਾਵਰ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕਸ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਵਾਹਨਾਂ ਲਈ ਬਹੁਤ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹਨ। TaC-ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਅਤੇ ਸਸੈਪਟਰ ਭੌਤਿਕ ਭਾਫ਼ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ (PVT) ਅਤੇ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ CVD (HT-CVD) ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ:

● ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਦਬਾਓ: TaC ਦੀ ਘੱਟ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸਮੱਗਰੀ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ, ਬੋਰਾਨ <0.01 ppm ਬਨਾਮ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਵਿੱਚ 1 ppm) SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲਾਂ ਵਿੱਚ ਨੁਕਸ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਵੇਫਰ ਰੋਧਕਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਦੀ ਹੈ (4.5 ohm-cm ਬਨਾਮ 0.1 ohm-cm ਬਿਨਾਂ ਕੋਟ ਕੀਤੇ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਲਈ)।

● ਥਰਮਲ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣਾ: ਇਕਸਾਰ ਉਤਸਰਜਨ (1000°C 'ਤੇ 0.3) ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹੋਏ, ਇਕਸਾਰ ਗਰਮੀ ਵੰਡ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।

2. ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਗ੍ਰੋਥ (GaN/SiC)

ਧਾਤੂ-ਆਰਗੈਨਿਕ CVD (MOCVD) ਰਿਐਕਟਰਾਂ ਵਿੱਚ, TaC-ਕੋਟੇਡ ਹਿੱਸੇ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ ਅਤੇ ਇੰਜੈਕਟਰ:

●ਗੈਸ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਨੂੰ ਰੋਕੋ: 1400°C 'ਤੇ ਅਮੋਨੀਆ ਅਤੇ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਦੁਆਰਾ ਐਚਿੰਗ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਰਿਐਕਟਰ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦਾ ਹੈ।

●ਉਪਜ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰੋ: ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਤੋਂ ਕਣਾਂ ਦੀ ਛਾਂਟੀ ਨੂੰ ਘਟਾ ਕੇ, CVD TaC ਕੋਟਿੰਗ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਪਰਤਾਂ ਵਿੱਚ ਨੁਕਸ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਾਲੇ LEDs ਅਤੇ RF ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ।

3. ਹੋਰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ

●ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਰਿਐਕਟਰ: GaN ਉਤਪਾਦਨ ਵਿੱਚ ਸਸੈਪਟਰ ਅਤੇ ਹੀਟਰ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ-ਅਮੀਰ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ TaC ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਤੋਂ ਲਾਭ ਉਠਾਉਂਦੇ ਹਨ।

●ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ: ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਦੌਰਾਨ ਰਿੰਗ ਅਤੇ ਢੱਕਣ ਵਰਗੇ ਕੋਟੇਡ ਹਿੱਸੇ ਧਾਤੂ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੇ ਹਨ।

Ⅲ. TaC ਕੋਟਿੰਗ ਵਿਕਲਪਾਂ ਤੋਂ ਵਧੀਆ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਕਿਉਂ ਕਰਦੀ ਹੈ?

ਰਵਾਇਤੀ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਨਾਲ ਤੁਲਨਾ TaC ਦੀ ਉੱਤਮਤਾ ਨੂੰ ਉਜਾਗਰ ਕਰਦੀ ਹੈ:

ਉਦਯੋਗ ਤੁਲਨਾਵਾਂ ਤੋਂ ਪ੍ਰਾਪਤ ਡੇਟਾ

IV. VET ਕਿਉਂ ਚੁਣੋ?

ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਖੋਜ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਵਿੱਚ ਨਿਰੰਤਰ ਨਿਵੇਸ਼ ਤੋਂ ਬਾਅਦ,ਵੀ.ਈ.ਟੀ.ਦੇ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (TaC) ਕੋਟੇਡ ਹਿੱਸੇ, ਜਿਵੇਂ ਕਿTaC ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਗਾਈਡ ਰਿੰਗ, CVD TaC ਕੋਟੇਡ ਪਲੇਟ ਸਸੈਪਟਰ, ਐਪੀਟੈਕਸੀ ਉਪਕਰਣ ਲਈ TaC ਕੋਟੇਡ ਸਸੈਪਟਰ,ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟੇਡ ਪੋਰਸ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਸਮੱਗਰੀਅਤੇTaC ਕੋਟਿੰਗ ਵਾਲਾ ਵੇਫਰ ਸਸੈਪਟਰ, ਯੂਰਪੀ ਅਤੇ ਅਮਰੀਕੀ ਬਾਜ਼ਾਰਾਂ ਵਿੱਚ ਬਹੁਤ ਮਸ਼ਹੂਰ ਹਨ। VET ਤੁਹਾਡੇ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੇ ਸਾਥੀ ਬਣਨ ਦੀ ਦਿਲੋਂ ਉਮੀਦ ਕਰਦਾ ਹੈ।