TaC قاپلاش دېگەن نېمە؟

تېز سۈرئەتتە تەرەققىي قىلىۋاتقان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە، ئىقتىدار، چىدامچانلىق ۋە ئۈنۈمنى ئاشۇرىدىغان ماتېرىياللار ئىنتايىن مۇھىم. بۇنداق يېڭىلىقلارنىڭ بىرى تانتال كاربىد (TaC) قاپلىمى بولۇپ، بۇ گرافىت زاپچاسلىرىغا قوللىنىلىدىغان ئەڭ ئىلغار قوغداش قەۋىتى. بۇ بىلوگ TaC قاپلىمىسىنىڭ ئېنىقلىمىسى، تېخنىكىلىق ئەۋزەللىكى ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى ئۆزگەرتىش قوللىنىشچانلىقىنى تەتقىق قىلىدۇ.

1. TaC قاپلاش دېگەن نېمە؟

TaC قاپلىمىسى گرافىت يۈزىگە چاپلانغان تانتال كاربىد (تانتال ۋە كاربوننىڭ بىرىكمىسى) دىن تەركىب تاپقان يۇقىرى ئۈنۈملۈك كېرامىك قەۋەت. بۇ قاپلام ئادەتتە خىمىيىلىك پارغا چۆكۈش (CVD) ياكى فىزىكىلىق پارغا چۆكۈش (PVD) تېخنىكىسى ئارقىلىق سۈرۈلۈپ، گرافىتنى ئېغىر شارائىتتىن قوغدايدىغان زىچ، ئىنتايىن ساپ توساق ھاسىل قىلىدۇ.

TaC قاپلىمىسىنىڭ ئاساسلىق خۇسۇسىيەتلىرى

●يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى: 2200 سېلسىيە گرادۇستىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ، 1600 سېلسىيە گرادۇستىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پارچىلىنىدىغان كرېمنىي كاربىد (SiC) قاتارلىق ئەنئەنىۋى ماتېرىياللاردىن ئۈستۈن تۇرىدۇ.

●خىمىيىلىك قارشىلىق: ھىدروگېن (H₂)، ئاممىياك (NH₃)، كرېمنىي پارى ۋە ئېرىگەن مېتاللارنىڭ چىرىشىغا قارشى تۇرىدۇ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ پىششىقلاش مۇھىتى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.

●ئىنتايىن يۇقىرى ساپلىق: ئارىلاشما مىقدارى 5 ppm دىن تۆۋەن بولۇپ، كىرىستال ئۆسۈش جەريانىدىكى بۇلغىنىش خەۋپىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ.

●ئىسسىقلىق ۋە مېخانىكىلىق چىدامچانلىقگرافىتقا كۈچلۈك يېپىشىشچانلىقى، تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى (6.3×10⁻⁶/K) ۋە قاتتىقلىقى (~2000 HK) ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكى ئاستىدا ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.

2. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا TaC قاپلاش: ئاساسلىق قوللىنىشلار

TaC بىلەن قاپلانغان گرافىت تەركىبلىرى ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا، بولۇپمۇ كرېمنىي كاربىد (SiC) ۋە گاللىي نىترىد (GaN) ئۈسكۈنىلىرىدە مۇھىم رول ئوينايدۇ. تۆۋەندە ئۇلارنىڭ مۇھىم ئىشلىتىش ئەھۋاللىرى كۆرسىتىلدى:

1. SiC يەككە كىرىستال ئۆسۈشى

SiC لېنتىلىرى ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەر ۋە ئېلېكتر ماشىنىلىرى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم. TaC بىلەن قاپلانغان گرافىت تىگېللىرى ۋە سۇسسېپتورلىرى فىزىكىلىق پار توشۇش (PVT) ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق CVD (HT-CVD) سىستېمىلىرىدا تۆۋەندىكىدەك ئىشلاردا ئىشلىتىلىدۇ:

● بۇلغىنىشنى باستۇرۇشTaC نىڭ تۆۋەن ئارىلاشما مىقدارى (مەسىلەن، بور <0.01 ppm، گرافىتتا 1 ppm) SiC كرىستاللىرىدىكى نۇقسانلارنى ئازايتىپ، ۋافېرنىڭ قارشىلىقىنى ياخشىلايدۇ (سىرلانمىغان گرافىت ئۈچۈن 4.5 ohm-cm، 0.1 ohm-cm).

● ئىسسىقلىق باشقۇرۇشنى كۈچەيتىشبىردەك نۇر چىقىرىش نىسبىتى (1000 سېلسىيە گرادۇستا 0.3) ئىسسىقلىقنىڭ مۇقىم تەقسىملىنىشىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ، كرىستال سۈپىتىنى ئەڭ ياخشىلايدۇ.

2. ئېپىتاكسىيال ئۆسۈش (GaN/SiC)

مېتال-ئورگانىك CVD (MOCVD) رېئاكتورلىرىدا، ۋافېر توشۇغۇچى ۋە ئوكۇل قاتارلىق TaC بىلەن قاپلانغان زاپچاسلار:

●گاز رېئاكسىيەسىنىڭ ئالدىنى ئېلىش: 1400 سېلسىيە گرادۇستا ئاممىياك ۋە ھىدروگېننىڭ ئويۇش جەريانىغا چىداملىق بولۇپ، رېئاكتورنىڭ پۈتۈنلۈكىنى ساقلايدۇ.

●ھوسۇلنى ئاشۇرۇشCVD TaC قاپلىمى گرافىتتىن زەررىچە تۆكۈلۈشىنى ئازايتىش ئارقىلىق، ئېپىتاكسىيال قەۋەتلەردىكى نۇقسانلارنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ، بۇ يۇقىرى ئىقتىدارلىق LED ۋە RF ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.

3. باشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قوللىنىشلىرى

●يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق رېئاكتورلارGaN ئىشلەپچىقىرىشتىكى سۇسېپتورلار ۋە ئىسسىتقۇچلار TaC نىڭ ھىدروگېنغا باي مۇھىتتىكى مۇقىملىقىدىن پايدىلىنىدۇ.

●ۋافېر بىر تەرەپ قىلىشئۈزۈك ۋە قاپاق قاتارلىق قاپلانغان زاپچاسلار ۋافلىنىڭ يۆتكىلىشى جەريانىدا مېتال بۇلغىنىشىنى ئازايتىدۇ

Ⅲ. نېمە ئۈچۈن TaC قاپلاش باشقا قاپلاشلاردىن ياخشىراق ئۈنۈمگە ئىگە؟

ئادەتتىكى ماتېرىياللار بىلەن سېلىشتۇرۇش TaC نىڭ ئەۋزەللىكىنى نامايان قىلىدۇ:

مۈلۈك	TaC قاپلاش	SiC قاپلاش	يالىڭاچ گرافىت
ئەڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرا	>2200°C	<1600°C	~2000°C (پارچىلىنىش بىلەن)
NH₃ دىكى ئويۇقلاش نىسبىتى	0.2 µm/h	1.5 µm/h	يوق
ئارىلاشما دەرىجىسى	<5 ppm	يۇقىرىراق	260 ppm ئوكسىگېن
ئىسسىقلىق سوقۇلۇشىغا قارشى تۇرۇش	ناھايىتى ياخشى	ئوتتۇراھال	نامرات

سانلىق مەلۇماتلار كەسىپ سېلىشتۇرمىلىرىدىن ئېلىندى

IV. نېمە ئۈچۈن كەسپىي مائارىپنى تاللايسىز؟

تېخنىكا تەتقىقاتى ۋە تەرەققىياتىغا ئۈزلۈكسىز مەبلەغ سالغاندىن كېيىن،كەسپىي تېخنىكانىڭ تانتال كاربىد (TaC) بىلەن قاپلانغان قىسىملىرى، مەسىلەنTaC قاپلانغان گرافىت يېتەكچى ھالقىسى, CVD TaC قاپلانغان تاختايلىق سۇسېپتور، ئېپىتاكسىيە ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن TaC قاپلانغان سۇسېپتور،تانتال كاربىد قاپلانغان تۆشۈكلۈك گرافىت ماتېرىيالىۋەTaC قاپلانغان ۋافېر سۇسېپتورى، ياۋروپا ۋە ئامېرىكا بازارلىرىدا ناھايىتى ئالقىشقا ئېرىشكەن. VET سىزنىڭ ئۇزۇن مۇددەتلىك ھەمراھىڭىز بولۇشنى چىن دىلىدىن ئۈمىد قىلىدۇ.