Inona no atao hoe TaC Coating?

Ao amin'ny indostrian'ny semiconductor mivoatra haingana, ny fitaovana manatsara ny fahombiazany, ny faharetana ary ny fahombiazany dia tena ilaina. Ny iray amin'ireo fanavaozana ireo dia ny coating Tantalum Carbide (TaC), sosona fiarovana faran'izay tsara ampiharina amin'ny singa graphite. Ity bilaogy ity dia mandinika ny famaritana ny coating TaC, ny tombony ara-teknika ary ny fampiharana azy amin'ny fanovana amin'ny famokarana semiconductor.

Ⅰ. Inona no atao hoe TaC Coating?

Ny coating TaC dia sosona seramika avo lenta vita amin'ny tantalum carbide (fitambaran'ny tantalum sy karbaona) napetraka eo amin'ny tontolon'ny graphite. Ny coating dia matetika ampiasaina amin'ny fampiasana teknika Chemical Vapor Deposition (CVD) na Physical Vapor Deposition (PVD), mamorona sakana matevina sy madio indrindra izay miaro ny graphite amin'ny toe-javatra tafahoatra.

Ny fananana fototra amin'ny TaC Coating

●Fahamarinana amin'ny hafanana avo: Mahazaka hafanana mihoatra ny 2200°C, mihoatra ny fitaovana nentim-paharazana toy ny karbida silisiôna (SiC), izay mihasimba mihoatra ny 1600°C.

●Fanoherana simika: Manohitra ny harafesina avy amin'ny hidrôzenina (H₂), amoniaka (NH₃), etona silisiôma, ary metaly voarendrika, izay tena ilaina amin'ny tontolo fanodinana semiconductor.

●Ultra-Avo Fahadiovana: Ny haavon'ny loto eo ambanin'ny 5 ppm, manamaivana ny loza mety hitranga amin'ny fizotry ny fitomboan'ny kristaly.

●Faharetan'ny Thermal sy Mechanical: Miraikitra mafy amin'ny graphite, miitatra mafana ambany (6.3×10⁻⁶/K), ary ny hamafin'ny (~2000 HK) dia miantoka ny faharetana eo ambanin'ny bisikileta mafana.

Ⅱ. TaC coating amin'ny Semiconductor Manufacturing: Fampiharana fototra

Ny singa grafita vita amin'ny TaC dia ilaina amin'ny fanamboarana semiconductor mandroso, indrindra ho an'ny fitaovana silisiôma carbide (SiC) sy gallium nitride (GaN). Ireto ambany ireto ny trangan-javatra fampiasany manakiana:

1. Fitomboana kristaly tokana SiC

Ny wafers SiC dia tena ilaina amin'ny fitaovana elektronika sy fiara elektrika. TaC-coated graphite crucibles sy susceptors dia ampiasaina amin'ny Physical Vapor Transport (PVT) sy High-Temperature CVD (HT-CVD) rafitra mba:

● Atsaharo ny loto: Ny votoatin'ny fahalotoana ambany ao amin'ny TaC (oh: boron <0,01 ppm vs. 1 ppm amin'ny graphite) dia mampihena ny lesoka ao amin'ny kristaly SiC, manatsara ny fanoherana ny wafer (4,5 ohm-cm vs. 0,1 ohm-cm ho an'ny graphite tsy misy loko).

● Hatsarao ny fitantanana mafana: Miantoka ny fitsinjarana hafanana tsy miovaova (0,3 amin'ny 1000°C) ny fanamafisam-peo, manatsara ny kalitaon'ny kristaly.

2. Fitomboan'ny Epitaxial (GaN/SiC)

Ao amin'ny reactors Metal-Organic CVD (MOCVD), singa mifono TaC toy ny mpitatitra wafer sy injector:

●Misoroka ny fihetsiky ny entona: Manohitra ny fanosorana ny amoniaka sy ny hidrôzenina amin'ny 1400°C, mitazona ny fahamendrehan'ny reactor.

●Hatsarao ny vokatra: Amin'ny fampihenana ny fiparitahan'ny poti avy amin'ny graphite, ny coating CVD TaC dia manamaivana ny lesoka amin'ny sosona epitaxial, zava-dehibe ho an'ny LED sy fitaovana RF avo lenta.

3. Fampiharana Semiconductor hafa

●Reactors amin'ny maripana ambony: Ny susceptors sy ny heaters amin'ny famokarana GaN dia mandray soa avy amin'ny fahamarinan'ny TaC amin'ny tontolo misy hidrôzenina.

●Fikarakarana ovy: Ny singa mifono toy ny peratra sy ny sarony dia mampihena ny fandotoana metaly mandritra ny famindrana wafer

Ⅲ. Nahoana ny TaC Coating no mihoatra noho ny hafa?

Ny fampitahana amin'ny fitaovana mahazatra dia manasongadina ny fahambonian'ny TaC:

Ny angona avy amin'ny fampitahana indostria

IV. Nahoana no misafidy VET?

Taorian'ny fampiasam-bola mitohy amin'ny fikarohana sy ny fampandrosoana ny teknolojia,VET's Tantalum carbide (TaC) mifono ampahany, toy nyTaC coated graphite guide ring, CVD TaC Coated plate susceptor, TaC Coated Susceptor ho an'ny Epitaxy Equipment,Tantalum carbide mifono porous graphite akoraSYWafer susceptor misy TaC coating, dia tena malaza amin'ny tsena Eoropeana sy Amerikana. VET dia manantena fatratra ny ho mpiara-miasa aminao maharitra.