Inona no atao hoe TaC Coating?

Ao amin'ny indostrian'ny semiconductor izay mivoatra haingana dia tena ilaina ireo fitaovana izay manatsara ny fahombiazana, ny faharetana ary ny fahombiazana. Ny iray amin'ireo fanavaozana ireo dia ny coating Tantalum Carbide (TaC), sosona fiarovana farany ampiasaina amin'ny singa grafita. Ity bilaogy ity dia mikaroka ny famaritana ny coating TaC, ny tombony ara-teknika ary ny fampiharana azy amin'ny famokarana semiconductor.

Ⅰ. Inona no atao hoe TaC Coating?

Ny sosona seramika TaC dia sosona seramika avo lenta vita amin'ny karbida tantalum (fitambaran'ny tantalum sy karbônina) napetraka eo amin'ny velaran'ny grafita. Matetika ny sosona dia ampiharina amin'ny alàlan'ny teknika Chemical Vapor Deposition (CVD) na Physical Vapor Deposition (PVD), izay mamorona sakana matevina sy madio izay miaro ny grafita amin'ny toe-javatra tafahoatra.

Toetra fototra amin'ny TaC Coating

●Fahamarinan'ny mari-pana avoMahazaka mari-pana mihoatra ny 2200°C, mihoatra noho ny akora nentim-paharazana toy ny silicon carbide (SiC), izay simba mihoatra ny 1600°C.

●Fanoherana simikaMahatohitra ny harafesina avy amin'ny hidrôzenina (H₂), amoniaka (NH₃), etona silisiôma, ary metaly mitsonika, izay tena ilaina amin'ny tontolo fanodinana semiconductor.

●Fahadiovana avo lenta: Haavon'ny fahalotoana ambanin'ny 5 ppm, mampihena ny mety hisian'ny fahalotoana amin'ny fizotran'ny fitomboan'ny kristaly.

●Faharetana ara-hafanana sy mekanikaNy fifikirana mafy amin'ny grafita, ny fivelarana mafana ambany (6.3×10⁻⁶/K), ary ny hamafin'ny hoditra (~2000 HK) dia miantoka ny faharetany eo ambanin'ny tsingerin'ny hafanana.

II. Fandrakofana TaC amin'ny fanamboarana semiconductor: Fampiasana fototra

Tena ilaina amin'ny fanamboarana semiconductor mandroso ireo singa grafita voarakotra TaC, indrindra ho an'ny fitaovana silicon carbide (SiC) sy gallium nitride (GaN). Ireto ambany ireto ny fampiasana azy ireo tena ilaina:

1. Fitomboan'ny kristaly tokana SiC

Tena ilaina amin'ny fitaovana elektronika sy fiara elektrika ny "wafers" SiC. Ampiasaina amin'ny rafitra Fitaterana Vava Ara-batana (PVT) sy CVD amin'ny mari-pana avo (HT-CVD) ny "cucibles" sy ny "susceptors" vita amin'ny grafita voarakotra TaC mba:

● Manakana ny fahalotoan'ny rivotraNy votoatin'ny fahalotoan'ny TaC ambany (ohatra, boron <0.01 ppm raha oharina amin'ny 1 ppm amin'ny grafita) dia mampihena ny lesoka amin'ny kristaly SiC, manatsara ny fanoherana ny wafer (4.5 ohm-cm raha oharina amin'ny 0.1 ohm-cm ho an'ny grafita tsy voarakotra).

● Hatsarao ny fitantanana ny hafananaNy fiparitahan'ny hafanana mitovy (0.3 amin'ny 1000°C) dia miantoka ny fizarana hafanana tsy tapaka, izay manatsara ny kalitaon'ny kristaly.

2. Fitomboana Epitaxial (GaN/SiC)

Ao amin'ny reactors CVD Metal-Organic (MOCVD), ireo singa voarakotra TaC toy ny mpitondra wafer sy ny injecteurs:

●Fisorohana ny fihetsehan'ny entonaMahatohitra ny fandotoana ataon'ny amoniaka sy hidrôzenina amin'ny 1400°C, mitazona ny fahamarinan'ny reaktora.

●Hatsarao ny vokatraAmin'ny fampihenana ny fiparitahan'ny poti-javatra avy amin'ny grafita, ny coating CVD TaC dia mampihena ny lesoka amin'ny sosona epitaxial, izay tena ilaina amin'ny LED sy fitaovana RF avo lenta.

3. Fampiharana hafa amin'ny Semiconductor

●Reaktora amin'ny mari-pana avoMahazo tombony amin'ny fahamarinan'ny TaC ao anaty tontolo manankarena hidrôzenina ireo susceptors sy fanafanana ao amin'ny famokarana GaN.

●Fikirakirana Wafer: Ireo singa voarakotra toy ny peratra sy ny sarony dia mampihena ny loto metaly mandritra ny famindrana wafer

II. Nahoana ny TaC Coating no mahomby kokoa noho ireo safidy hafa?

Ny fampitahana amin'ny fitaovana mahazatra dia manasongadina ny maha-ambony ny TaC:

Angon-drakitra avy amin'ny fampitahana indostrialy

IV. Nahoana no misafidy ny VET?

Taorian'ny fampiasam-bola tsy tapaka tamin'ny fikarohana sy fampandrosoana ny teknolojia,Veterana ara-pahasalamanaIreo singa voarakotra Tantalum carbide (TaC), toy nyPeratra mpitari-dalana misy grafita voarakotra TaC, Mpanakanto takelaka voarakotra CVD TaC, Susceptor voarakotra TaC ho an'ny fitaovana epitaxy,Akora grafita porous misy tantalum carbideSYMpanindry Wafer misy sosona TaC, dia tena malaza eny amin'ny tsena Eoropeana sy Amerikana. Ny VET dia manantena amim-pahatsorana ny ho mpiara-miasa aminao maharitra.