TaC کوٹنگ کیا ہے؟

تیزی سے تیار ہوتی ہوئی سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں، وہ مواد جو کارکردگی، استحکام اور کارکردگی کو بڑھاتا ہے، اہم ہیں۔ ایسی ہی ایک اختراع ٹینٹلم کاربائیڈ (ٹی اے سی) کوٹنگ ہے، جو گریفائٹ کے اجزاء پر لاگو ایک جدید حفاظتی تہہ ہے۔ یہ بلاگ ٹی اے سی کوٹنگ کی تعریف، تکنیکی فوائد، اور سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں اس کی تبدیلی کے اطلاقات کو تلاش کرتا ہے۔

Ⅰ TaC کوٹنگ کیا ہے؟

ٹی اے سی کوٹنگ ایک اعلی کارکردگی والی سیرامک ​​پرت ہے جو ٹینٹلم کاربائیڈ (ٹینٹلم اور کاربن کا ایک مرکب) پر مشتمل ہے جو گریفائٹ کی سطحوں پر جمع ہوتی ہے۔ کوٹنگ کو عام طور پر کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) یا جسمانی بخارات جمع کرنے (PVD) تکنیکوں کا استعمال کرتے ہوئے لاگو کیا جاتا ہے، ایک گھنے، انتہائی خالص رکاوٹ پیدا کرتا ہے جو گریفائٹ کو انتہائی حالات سے بچاتا ہے۔

ٹی اے سی کوٹنگ کی کلیدی خصوصیات

●اعلی درجہ حرارت کا استحکام: 2200 ° C سے زیادہ درجہ حرارت کو برداشت کرتا ہے، روایتی مواد جیسے سلکان کاربائیڈ (SiC) کو پیچھے چھوڑتا ہے، جو 1600 ° C سے اوپر گر جاتا ہے۔

●کیمیائی مزاحمت: ہائیڈروجن (H₂)، امونیا (NH₃)، سیلیکون بخارات، اور پگھلی ہوئی دھاتوں سے سنکنرن کے خلاف مزاحمت کرتا ہے، جو سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ ماحول کے لیے اہم ہیں۔

●الٹرا ہائی طہارت: ناپاکی کی سطح 5 پی پی ایم سے نیچے، کرسٹل کی نمو کے عمل میں آلودگی کے خطرات کو کم کرنا۔

●تھرمل اور مکینیکل استحکام: گریفائٹ سے مضبوط چپکنا، کم تھرمل توسیع (6.3×10⁻⁶/K)، اور سختی (~2000 HK) تھرمل سائیکلنگ کے تحت لمبی عمر کو یقینی بناتی ہے۔

Ⅱ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ٹی اے سی کوٹنگ: کلیدی ایپلی کیشنز

ٹی اے سی لیپت گریفائٹ کے اجزا جدید سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن میں ناگزیر ہیں، خاص طور پر سلکان کاربائیڈ (SiC) اور گیلیم نائٹرائڈ (GaN) آلات کے لیے۔ ذیل میں ان کے استعمال کے اہم معاملات ہیں:

1. SiC سنگل کرسٹل گروتھ

پاور الیکٹرانکس اور الیکٹرک گاڑیوں کے لیے SiC ویفرز بہت ضروری ہیں۔ ٹی اے سی کوٹڈ گریفائٹ کروسیبلز اور سسپٹرز کو فزیکل ویپر ٹرانسپورٹ (PVT) اور ہائی ٹمپریچر CVD (HT-CVD) سسٹم میں استعمال کیا جاتا ہے:

● آلودگی کو دبانا: TaC کا کم ناپاک مواد (مثال کے طور پر، بوران <0.01 پی پی ایم بمقابلہ گریفائٹ میں 1 پی پی ایم) SiC کرسٹل میں نقائص کو کم کرتا ہے، ویفر ریزسٹوٹی کو بہتر بناتا ہے (4.5 اوہم-سینٹی میٹر بمقابلہ 0.1 اوہم سینٹی میٹر غیر کوٹیڈ گریفائٹ کے لیے)۔

● تھرمل مینجمنٹ کو بہتر بنائیں: یکساں اخراج (0.3 پر 1000 ° C) کرسٹل کے معیار کو بہتر بناتے ہوئے گرمی کی مستقل تقسیم کو یقینی بناتا ہے۔

2. ایپیٹیکسیل گروتھ (GaN/SiC)

میٹل آرگینک سی وی ڈی (ایم او سی وی ڈی) ری ایکٹرز میں، ٹی اے سی لیپت اجزاء جیسے ویفر کیریئرز اور انجیکٹر:

●گیس کے رد عمل کو روکیں۔: ری ایکٹر کی سالمیت کو برقرار رکھتے ہوئے، 1400 ° C پر امونیا اور ہائیڈروجن کے ذریعے اینچنگ کے خلاف مزاحمت کرتا ہے۔

●پیداوار کو بہتر بنائیں: گریفائٹ سے ذرات کے بہاؤ کو کم کرکے، CVD TaC کوٹنگ ایپیٹیکسیل تہوں میں نقائص کو کم کرتی ہے، جو کہ اعلی کارکردگی والے LEDs اور RF آلات کے لیے اہم ہے۔

3. دیگر سیمی کنڈکٹر ایپلی کیشنز

●ہائی ٹمپریچر ری ایکٹر: GaN کی پیداوار میں سسپٹرز اور ہیٹر ہائیڈروجن سے بھرپور ماحول میں TaC کے استحکام سے فائدہ اٹھاتے ہیں۔

●ویفر ہینڈلنگ: لیپت اجزاء جیسے انگوٹھی اور ڈھکن ویفر کی منتقلی کے دوران دھاتی آلودگی کو کم کرتے ہیں۔

Ⅲ کیوں TaC کوٹنگ متبادل کو بہتر کرتی ہے؟

روایتی مواد کے ساتھ موازنہ TaC کی برتری کو نمایاں کرتا ہے:

صنعت کے موازنہ سے حاصل کردہ ڈیٹا

چہارم VET کیوں منتخب کریں؟

ٹیکنالوجی کی تحقیق اور ترقی میں مسلسل سرمایہ کاری کے بعد،VETکے ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) لیپت حصے، جیسےٹی اے سی لیپت گریفائٹ گائیڈ کی انگوٹی, CVD TaC لیپت پلیٹ سسیپٹرEpitaxy آلات کے لیے TaC Coated Susceptor،ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت غیر محفوظ گریفائٹ مواداورTaC کوٹنگ کے ساتھ Wafer susceptorیورپی اور امریکی مارکیٹوں میں بہت مقبول ہیں۔ VET خلوص دل سے آپ کا طویل مدتی پارٹنر بننے کا منتظر ہے۔