TaC Coating чист?

Дар саноати босуръат инкишофёбандаи нимноқилҳо маводҳое муҳиманд, ки фаъолият, устуворӣ ва самаранокиро баланд мебардоранд. Яке аз чунин навовариҳо пӯшиши Tantalum Carbide (TaC) мебошад, ки қабати муосири муҳофизатӣ ба ҷузъҳои графит истифода мешавад. Ин блог таърифи TaC coating, бартариҳои техникӣ ва барномаҳои табдилдиҳандаи онро дар истеҳсоли нимноқилҳо меомӯзад.

Ⅰ. TaC Coating чист?

Кабати TaC як қабати сафолии баландсифат мебошад, ки аз карбиди тантал (пайванди тантал ва карбон) дар рӯи графит ҷойгир шудааст. Рӯйпӯш одатан бо истифода аз усулҳои таҳшини буғи химиявӣ (CVD) ё таҳшини буғи физикӣ (PVD) татбиқ карда мешавад, ки монеаи зиччи ва ултра покро эҷод мекунад, ки графитро аз шароити шадид муҳофизат мекунад.

Хусусиятҳои асосии Coating TaC

●Устувории ҳарорати баланд: Ба ҳарорати зиёда аз 2200°C тоб оварда, аз маводҳои анъанавӣ ба мисли карбиди кремний (SiC), ки аз 1600°C боло вайрон мешавад, бартарӣ дорад.

●Муқовимати кимиёвӣ: Ба зангзании гидроген (H₂), аммиак (NH₃), буғҳои кремний ва металлҳои гудохта тобовар аст, ки барои муҳити коркарди нимноқилҳо муҳим аст.

●Ультра-баланд тозалик: Сатҳи наҷосат камтар аз 5 ppm, кам кардани хатари олудашавӣ дар равандҳои афзоиши кристалл.

●Давомнокии гармӣ ва механикӣ: Пайвастани қавӣ ба графит, тавсеаи гармии паст (6,3×10⁻⁶/К) ва сахтӣ (~2000 HK) умри дарозро дар давраи гардиши гармӣ таъмин мекунад.

Ⅱ. Coating TaC дар истеҳсоли нимноқилҳо: Барномаҳои асосӣ

Ҷузъҳои графити бо TaC пӯшидашуда дар истеҳсоли пешрафтаи нимноқилҳо, махсусан барои дастгоҳҳои карбиди кремний (SiC) ва нитриди галлий (GaN) ҳатмӣ мебошанд. Дар зер ҳолатҳои муҳими истифодаи онҳо оварда шудаанд:

1. Афзоиши кристали ягонаи SiC

Вафли SiC барои электроникаи барқӣ ва мошинҳои барқӣ муҳим аст. Тигелҳо ва ҳассосҳои графити бо TaC пӯшидашуда дар системаҳои интиқоли буғи физикӣ (PVT) ва CVD-и ҳарорати баланд (HT-CVD) истифода мешаванд:

● Паҳн кардани ифлосшавӣ: Мазмуни наҷосати ками TaC (масалан, бор <0,01 ppm дар муқоиса бо 1 ppm дар графит) камбудиҳоро дар кристаллҳои SiC коҳиш дода, муқовимати вафлиро беҳтар мекунад (4,5 Ом-см бар зидди 0,1 Ом-см барои графити пӯшиданашуда).

● Идоракунии гармиро такмил диҳед: Пардохти якхела (0,3 дар 1000°C) тақсимоти пайвастаи гармиро таъмин намуда, сифати кристаллро беҳтар мекунад.

2. Афзоиши эпитаксиалӣ (GaN/SiC)

Дар реакторҳои металлӣ-органикӣ CVD (MOCVD), ҷузъҳои бо TaC пӯшонидашуда ба монанди интиқолдиҳандаҳо ва инжекторҳо:

●Пешгирии реаксияҳои газ: Муқовимат бо аммиак ва гидроген дар ҳарорати 1400°C, нигоҳ доштани тамомияти реактор.

●Баланд бардоштани ҳосилнокӣ: Бо коҳиш додани рехтани зарраҳо аз графит, пӯшиши CVD TaC нуқсонҳоро дар қабатҳои эпитаксиалӣ кам мекунад, ки барои LED-ҳои баландсифат ва дастгоҳҳои РБ муҳим аст.

3. Дигар барномаҳои нимноқилҳо

●Реакторҳои ҳарорати баланд: Ҳассосиятҳо ва гармкунакҳо дар истеҳсоли GaN аз устувории TaC дар муҳити аз гидроген бой баҳра мебаранд.

●Муносибати вафель: Қисмҳои пӯшида ба монанди ҳалқаҳо ва сарпӯшҳо ифлосшавии металлиро ҳангоми интиқоли вафли кам мекунанд

Ⅲ. Чаро Coating TaC аз алтернативаҳо бартарӣ дорад?

Муқоиса бо маводи анъанавӣ бартарии TaC-ро нишон медиҳад:

Маълумот аз муқоисаи соҳаҳо гирифта шудааст

IV. Чаро VET-ро интихоб кунед?

Пас аз сармоягузории пайваста дар таҳқиқот ва рушди технологӣ,СТҚисмҳои карбиди танталӣ (TaC), аз қабилиTaC ҳалқаи дастури графити пӯшида, CVD TaC ҳассосияти таблиғи пӯшида, Susceptor Coated TaC барои Таҷҳизоти Epitaxy,Карбиди тантал, ки бо маводи графити ковокӣ фаро гирифта шудаастваҲасбкунандаи вафли бо рӯйпӯши TaC, дар бозорхои Европа ва Америка хеле машхуранд. VET самимона интизори шарики дарозмуддати шумо шудан аст.