He aha te TaC Coating?

I roto i te ahumahi semiconductor e tere haere ana, he mea tino nui nga rauemi e whakanui ana i te mahi, te mauroa, me te whai hua. Ko tetahi o enei mahi hou ko te paninga Tantalum Carbide (TaC), he paparanga whakamarumaru tapahi-mata kua whakamahia ki nga waahanga kauwhata. Ka tirotirohia e tenei blog te whakamaramatanga o te paninga TaC, nga painga hangarau, me ona tono whakarereke i roto i nga mahi hangahanga hiko.

Ⅰ. He aha te TaC Coating?

Ko te whakakikoruatanga TaC he paparanga uku teitei i titoa mai i te tantalum carbide (he pūhui o te tantalum me te waro) kua whakatakotoria ki runga i nga papa kauwhata. I te nuinga o te wa ka whakamahia te paninga ma te whakamahi i nga tikanga Kohu Kohu Maama (CVD) me nga tikanga Tiaki Kohu Kohu (PVD), ka hanga he arai tino parakore hei tiaki i te kauwhata mai i nga ahuatanga tino kino.

Nga Ahuatanga Matua o te TaC coating

●Te Pumau-Maamaa Nui: Ka mau i te pāmahana neke atu i te 2200°C, he pai ake i nga taonga tuku iho penei i te silicon carbide (SiC), ka heke ki runga ake i te 1600°C.

●Ātete matū: He ātete ki te waikura mai i te hauwai (H₂), te haukini (NH₃), te kohu silicon, me nga konganuku whakarewa, he mea nui mo nga taiao tukatuka semiconductor.

●Tino-Teitei Pure: Ko nga taumata poke i raro iho i te 5 ppm, ka whakaiti i te mate poke i roto i nga tukanga tipu tioata.

●Te Maamaa me te Maamaa Miihini: Ko te kaha o te piri ki te graphite, te iti o te roha wera (6.3×10⁻⁶/K), me te pakeke (~ 2000 HK) ka whakarite kia roa te noho i raro i te pahikara waiariki.

Ⅱ. Ko te Whakakikorua TaC i te Hanga Semiconductor: Nga tono matua

He mea nui nga waahanga kauwhata kua whakakikoruatia ki te TaC i roto i te hangahanga semiconductor matatau, otira mo nga taputapu silicon carbide (SiC) me te gallium nitride (GaN). Kei raro nei o raatau take whakamahi tino nui:

1. SiC Tipu Kiriata Kotahi

He mea nui nga wafers SiC mo nga hiko hiko me nga waka hiko. Ka whakamahia nga parapara kauwhata kua pania ki te TaC i roto i nga punaha Whakawhiti Kohu Kohu (PVT) me nga punaha CVD (HT-CVD) ki te:

● Pehi Whakakino: Ko te iti o te poke o TaC (hei tauira, boron <0.01 ppm vs. 1 ppm i roto i te kauwhata) ka whakaiti i nga hapa o nga kiripiri SiC, te whakapai ake i te parenga angiangi (4.5 ohm-cm vs. 0.1 ohm-cm mo te kauwhata kore i pania).

● Whakanuia te Whakahaere Ngawha: Ko te tukunga rite (0.3 i te 1000°C) ka whakarite kia rite te tohatoha wera, me te pai o te kounga o te karaihe.

2. Te Tipu Epitaxial (GaN/SiC)

I roto i nga reactors Metal-Organic CVD (MOCVD), nga waahanga whakakikorua TaC penei i te kawe kawe angiangi me nga werohanga:

●Aukati i nga Tauhohenga Hau: He ātete ki te haukinia me te hauwai i te 1400°C, ka mau tonu te tika o te reactor.

●Whakapai ake te Hua: Ma te whakaiti i te whakaheke matūriki mai i te kauwhata, ka whakaitihia e te paninga CVD TaC nga hapa i roto i nga paparanga epitaxial, he mea nui mo nga LED mahi teitei me nga taputapu RF.

3. Ētahi atu tono Semiconductor

●Reactors Te Pawera-Teitei: Ka whai hua nga kaitarai me nga whakamahana i roto i te hanga GaN i te pumau o TaC i roto i nga taiao hauwai.

●Te Mahi Wafer: Ko nga waahanga kua whakakikoruatia penei i nga mowhiti me nga taupoki ka whakaiti i te poke konganuku i te wa whakawhiti angiangi

Ⅲ. He aha te TaC paninga i pai ake i etahi atu?

Ko te whakataurite ki nga rauemi tikanga e whakaatu ana i te hiranga o TaC:

Ko nga raraunga i puta mai i nga whakataurite ahumahi

IV. He aha i whiriwhiri ai i te VET?

I muri i te haumi tonu ki te rangahau hangarau me te whakawhanaketanga,WETKo nga wahanga o te Tantalum carbide (TaC) kua pania, penei iTaC whakakikoruatia te mowhiti aratohu kauwhata, Ko te CVD TaC te whakakikorua pereti susceptor, TaC Susceptor Whakakikoruatia mo nga Taputapu Epitaxy,Tantalum carbide pani rawa graphite porousaKo te wafer susceptor me te paninga TaC, he tino rongonui i nga maakete a te Pakeha me Amerika. Kei te titiro whakamua a VET ki te noho hei hoa mo te wa roa.