Wat is TaC-coating?

Yn 'e rap evoluearjende healgeleideryndustry binne materialen dy't prestaasjes, duorsumens en effisjinsje ferbetterje krúsjaal. Ien sokke ynnovaasje is Tantaalkarbid (TaC) coating, in baanbrekkende beskermjende laach dy't oanbrocht wurdt op grafytkomponinten. Dizze blog ûndersiket de definysje, technyske foardielen en syn transformative tapassingen fan TaC-coating yn 'e produksje fan healgeleiders.

Ⅰ. Wat is TaC-coating?

TaC-coating is in hege prestaasjes keramyske laach gearstald út tantaalkarbid (in ferbining fan tantaal en koalstof) ôfset op grafytoppervlakken. De coating wurdt typysk oanbrocht mei gebrûk fan Chemical Vapor Deposition (CVD) of Physical Vapor Deposition (PVD) techniken, wêrtroch in tichte, ultra-suvere barriêre ûntstiet dy't grafyt beskermet tsjin ekstreme omstannichheden.

Wichtige eigenskippen fan TaC-coating

●Hege-temperatuer stabiliteitIs bestand tsjin temperatueren boppe 2200 °C, en presteart better as tradisjonele materialen lykas silisiumkarbid (SiC), dat boppe 1600 °C degradearret.

●Gemyske wjerstânBestindich tsjin korrosje fan wetterstof (H₂), ammoniak (NH₃), silisiumdampen en smelte metalen, kritysk foar omjouwings foar healgeleiderferwurking.

●Ultra-hege suverensUnreinheidsnivo's ûnder 5 ppm, wêrtroch fersmoargingsrisiko's yn kristalgroeiprosessen minimalisearre wurde.

●Termyske en meganyske duorsumensSterke adhesion oan grafyt, lege termyske útwreiding (6.3 × 10⁻⁶/K), en hurdens (~ 2000 HK) soargje foar in lange libbensdoer ûnder termyske syklussen.

Ⅱ. TaC-coating yn healgeleiderproduksje: wichtige tapassingen

TaC-coated grafytkomponinten binne ûnmisber yn avansearre healgeleiderfabrikaasje, benammen foar silisiumkarbide (SiC) en galliumnitride (GaN) apparaten. Hjirûnder binne har krityske gebrûksgefallen:

1. SiC ienkristalgroei

SiC-wafers binne essensjeel foar krêftelektronika en elektryske auto's. TaC-coated grafytkroezen en susceptors wurde brûkt yn Physical Vapor Transport (PVT) en High-Temperature CVD (HT-CVD) systemen om:

● Fersmoarging ûnderdrukkeIt lege ûnreinheidsgehalte fan TaC (bgl. boor <0,01 ppm tsjin 1 ppm yn grafyt) ferminderet defekten yn SiC-kristallen, wêrtroch't de waferresistinsje ferbettere wurdt (4,5 ohm-cm tsjin 0,1 ohm-cm foar ûncoated grafyt).

● Ferbetterje termysk behearUniforme emissiviteit (0.3 by 1000 °C) soarget foar in konsekwinte waarmteferdieling, wêrtroch de kristalkwaliteit optimalisearre wurdt.

2. Epitaksiale groei (GaN/SiC)

Yn metaal-organyske CVD (MOCVD) reaktors, TaC-coated komponinten lykas waferdragers en ynjektors:

●Foarkom gasreaksjesBestindich tsjin etsen troch ammoniak en wetterstof by 1400 °C, wêrtroch de reaktoryntegriteit behâlden wurdt.

●Ferbetterje opbringstTroch it ferminderjen fan dieltsjefergieten fan grafyt, minimalisearret CVD TaC-coating defekten yn epitaksiale lagen, krúsjaal foar hege-prestaasjes LED's en RF-apparaten.

3. Oare tapassingen fan healgeleiders

●Hege-temperatuerreaktorsSusceptors en ferwaarmingselementen yn GaN-produksje profitearje fan 'e stabiliteit fan TaC yn wetterstofrike omjouwings.

●WaferbehannelingCoated ûnderdielen lykas ringen en deksels ferminderje metalen fersmoarging by waferoerdracht

Ⅲ. Wêrom prestearret TaC-coating better as alternativen?

In ferliking mei konvinsjonele materialen ûnderstreket de superioriteit fan TaC:

Gegevens ôfkomstich fan yndustryfergelikingen

IV. Wêrom kieze foar VET?

Nei trochgeande ynvestearring yn technologysk ûndersyk en ûntwikkeling,FETTantaalkarbid (TaC) bedekte ûnderdielen, lykasTaC-bedekte grafytgidsring, CVD TaC Coated plaat susceptor, TaC-coated susceptor foar epitaksy-apparatuer,Tantaalkarbide bedekt poreus grafytmateriaalenWafer-susceptor mei TaC-coating, binne tige populêr yn 'e Jeropeeske en Amerikaanske merken. VET sjocht der oprjocht nei út om jo partner op lange termyn te wurden.