O le ā le Ufiufi TaC?

I le pisinisi semiconductor o loʻo vave ona suia, o mea e faʻaleleia atili ai le faʻatinoga, tumau, ma le lelei e matua taua tele. O se tasi o na mea fou o le ufiufi Tantalum Carbide (TaC), o se vaega puipuia sili ona lelei e faʻaaogaina i vaega o le graphite. O lenei blog e suʻesuʻeina ai le faʻamatalaga o le ufiufi TaC, faʻamanuiaga faʻapitoa, ma ona faʻaoga suia i le gaosiga o semiconductor.

Ⅰ. O le ā le Ufiufi TaC?

O le ufiufi TaC o se vaega seramika maualuga le faatinoga e aofia ai le tantalum carbide (o se tuufaatasiga o le tantalum ma le carbon) ua faaputuina i luga o luga o le graphite. O le ufiufi e masani ona faaaogaina e faaaoga ai metotia o le Chemical Vapor Deposition (CVD) po o le Physical Vapor Deposition (PVD), e fausia ai se pa puipui mafiafia ma mama atoatoa e puipuia ai le graphite mai tulaga faigata.

Meatotino Autū o le Ufiufi TaC

●Mausali o le Vevela MaualugaE tatalia le vevela e sili atu i le 2200°C, e sili atu nai lo mea masani e pei o le silicon carbide (SiC), lea e pala i luga atu o le 1600°C.

●Tete'e atu i vaila'au fa'akemikoloE tete'e atu i le 'ele mai le haitorosene (H₂), ammonia (NH₃), ausa silicon, ma metala ua liusuavai, e taua tele mo siosiomaga fa'agaoioia o semiconductor.

●Mama Maualuga Tele: Tulaga o mea leaga i lalo ifo o le 5 ppm, e fa'aitiitia ai lamatiaga o le fa'aleagaina i fa'agasologa o le tuputupu a'e o le tioata.

●Tumau i le Vevela ma le Fa'amekanikaO le pipii malosi i le karapite, le maualalo o le fa'alauteleina o le vevela (6.3×10⁻⁶/K), ma le ma'a'a (~2000 HK) e fa'amautinoa ai le umi o le ola i lalo o le ta'amilosaga fa'avevela.

II. Ufiufi TaC i le Gaosiga o Semiconductor: Fa'aoga Autū

E taua tele vaega o le graphite ua ufiufi i le TaC i le gaosiga o semiconductor fa'aonaponei, aemaise lava mo masini silicon carbide (SiC) ma le gallium nitride (GaN). O lo'o i lalo a latou fa'aoga taua:

1. Tuputupu Aʻe o le SiC Crystal Tasi

E taua tele wafers SiC mo eletise eletise ma taavale eletise. O ipu fa'asu'u ma susceptors graphite ua ufiufiina i le TaC e fa'aaogaina i le Physical Vapor Transport (PVT) ma le High-Temperature CVD (HT-CVD) systems e:

● Taofi le Fa'aleagainaO le maualalo o le aofaʻi o mea leaga o le TaC (e pei o le boron <0.01 ppm vs. 1 ppm i le graphite) e faʻaitiitia ai mea sese i tioata SiC, ma faʻaleleia atili ai le teteʻe o le wafer (4.5 ohm-cm vs. 0.1 ohm-cm mo le graphite e leʻi ufiufia).

● Fa'aleleia le Pulega o le VevelaO le tutusa o le emissivity (0.3 i le 1000°C) e faʻamautinoa ai le tutusa o le tufatufaina atu o le vevela, ma faʻaleleia atili ai le lelei o le tioata.

2. Tuputupu Aʻe o le Epitaxial (GaN/SiC)

I totonu o reactors Metal-Organic CVD (MOCVD), o vaega ua ufiufiina i le TaC e pei o wafer carriers ma injectors:

●Puipuia Tali atu o le Kasa: Tetee atu i le vaneina e le ammonia ma le haitorosene i le 1400°C, ma faatumauina ai le tulaga lelei o le reactor.

●Fa'aleleia le FuaI le faʻaitiitia o le faʻamaligiina o vaega mai le graphite, o le ufiufi CVD TaC e faʻaitiitia ai faʻaletonu i vaega epitaxial, e taua tele mo LED maualuluga ma masini RF.

3. Isi Fa'aoga o Semiconductor

●Reactors o le Vevela MaualugaE manuia masini fa'amafanafana ma mea fa'avevela i le gaosiga o le GaN mai le mautu o le TaC i siosiomaga e tele ai le haitorosene.

●Taulimaina o le WaferO vaega ua ufiufi e pei o mama ma tapuni e faʻaitiitia ai le faʻaleagaina o uʻamea i le taimi o le fesiitaiga o le wafer

I. Aiseā e sili atu ai le lelei o le TaC Coating nai lo isi auala?

O le fa'atusatusaga ma meafaitino masani e fa'amamafaina ai le lelei o le TaC:

Fa'amaumauga e maua mai fa'atusatusaga o alamanuia

IV. Aiseā e filifili ai le VET?

A maeʻa ona faʻafaigaluega pea i suʻesuʻega ma atinaʻe o tekinolosi,FET'O vaega ua ufiufi i le Tantalum carbide (TaC), e pei oMama taiala karapite ua ufiufiina i le TaC, Pusa fa'apipi'i CVD TaC, TaC Coated Susceptor mo Epitaxy Meafaigaluega,Mea fa'a-graphite porous ua ufiufi i le tantalum carbidemaO le mea e taofia ai le uamea ma le ufiufi o le TaC, e lauiloa tele i maketi a Europa ma Amerika. O loʻo tulimatai atu ma le faʻamaoni le VET e avea ma au paʻaga tumau.