Héichreinheetsquarzboot fir Waferveraarbechtung

Quarz Wafer Bootass e wichtegt Trägerinstrument an der Hallefleederproduktioun, der Produktioun vu Photovoltaikzellen a fortgeschratt Materialfuerschung an -entwécklung, entwéckelt fir e stabile Wafertransfer a Positionéierung a Prozesser mat héijen Temperaturen. Dëst Produkt ass aus ultra-héicher Reinheet vu geschmolzenem Siliziumdioxid (SiO2) hiergestallt, mat exzellenter Temperaturbeständegkeet, chemescher Stabilitéit an ultra-niddreger Metallkontaminatiounseigenschaften, gëeegent fir Diffusiounsuewen, Oxidatiounsuewen, PECVD/LPCVD an aner Ausrüstung, wäit verbreet an der Waferbeschichtung, Ionenimplantatioun, Héichtemperaturglühung an aner Kärprozesser.

Déi wichtegst Virdeeler vum Quarzboot vu VET Energy:

• Material mat ultra-héijer Rengheet
  Rengheet ≥99,99%: Ongereinheetsgehalt (Na, K, Fe, etc.) <5ppm, wouduerch d'Waferkontaminatioun vermeit gëtt an de Chip-Ausbezuel garantéiert gëtt.
  Niddereg Nidderschlag an Adsorptioun: d'Uewerfläch ass superpoléiert (Ra≤0,4μm) fir d'Partikelhaftung an d'Gasreschter ze reduzéieren.
• Héich Temperaturstabilitéit
  Temperaturlimit: Laangfristeg Aarbechtstemperatur vun 1100 ℃, kuerzfristeg Héichpunkt vun 1300 ℃, keng Deformatioun, keng Kristallnierschlag.
  Niddrege Wärmeausdehnungskoeffizient (5,5x10-7/℃), exzellent Wärmeschockbeständegkeet, upassung un séier Temperaturerhéijungen a -fäll (z.B. RTP-Schnellglühung).
• Präzis Strukturdesign
  Slotpräzisioun ±0,1 mm: passend Wafer vun 2" bis 12" un, Ofstandsuniformitéitsfehler <0,05 mm, sou datt d'Waferen keen Offset hunn.
  Héich Belaaschtungskapazitéit: Maximal Belaaschtung vu 50 Waferen (a Bezuch op 12 Zoll-Waferen) an engem eenzege Boot, wat e stabile Transfer vun dënne Waferen (≥100 µm) ënnerstëtzt.
• Chemesch Inertitéit
  Korrosiounsbeständegkeet: Bestand géint Säure- (ausser HF-), Alkali- a organesch Léisungsmëttelkorrosioun, kompatibel mam CMP-Botzprozess.
  Excellent Gasdichtheet: Leckquote <5x10-10 Pa.m3/s, gëeegent fir Vakuum- a Schutzgasumgebungen.
• Laang Liewensdauer a Wartbarkeet
  Liewenserwaardung ≥ 5000 Zyklen (normal Aarbechtsbedingungen), d'Uewerfläch kann ëmmer erëm gebotzt a benotzt ginn, wat d'Gesamtkäschte reduzéiert.
  Modular Design: ënnerstëtzt deelweis Ersatz (z.B. eenzelen Bootszänn), reduzéiert Ausfallzäiten.

Mir bidden souwuel transparent wéi och mattéiert Uewerflächen no de Wënsch vum Client un:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ass en High-Tech-Entreprise, deen sech op d'Produktioun a Verkaf vun High-End-Fortgeschrattene Materialien konzentréiert. D'Materialien an d'Technologie enthalen Graphit, Siliziumcarbid, Keramik, Uewerflächenbehandlung wéi SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, glasartiger Kuelestoffbeschichtung, pyrolytesch Kuelestoffbeschichtung, etc., dës Produkter gi wäit verbreet an der Photovoltaik, Hallefleeder, neier Energie, Metallurgie, etc. benotzt.

Eis technesch Equipe kënnt aus Top-Fuerschungsinstituter aus dem Inland a kann eise Clienten och professionell Materialléisungen ubidden.