IC Single-Crystal Silicon Epitaxy

Famaritana fohy:

Toerana niaviany:CHINE

Rafitra kristaly (Crystal Structure):Ny dingana FCCβ

Density:3,21 g/cm;

hamafin'ny:2500 Vickers;

Haben'ny voa:2~10μm;

Fahadiovana simika:99,99995%;

Hafanana fahaiza-manao:640J·kg-1·K-1;

Temperature sublimation:2700 ℃;

Felexural hery:415 Mpa (RT 4-Point);

Young's Modulus:430 Gpa (fihodinana 4pt, 1300 ℃);

Fanitarana Thermal (CTE):4.5 10-6K-1;

Conductivity mafana:300（W/MK）;

Alefaso mailaka aminay Alefaso amin'ny PDF

Product Detail

Tags vokatra

Mombamomba ny vokatra

Ny orinasanay dia manome serivisy fanodinana SiC amin'ny alàlan'ny fomba CVD amin'ny grafit, seramika ary fitaovana hafa, ka ny entona manokana misy karbônina sy silisiôma dia mihetsika amin'ny hafanana avo mba hahazoana molekiola SiC madio indrindra, molekiola napetraka eo amin'ny tampon'ny fitaovana misy coating, mamorona sosona fiarovana SIC.

Endri-javatra lehibe:

1. Ny fanoherana ny oxidation amin'ny hafanana avo:

ny fanoherana ny oxidation dia mbola tena tsara rehefa mahatratra 1600 C ny mari-pana.

2. Avo fahadiovana: vita amin'ny etona simika deposition ambanin'ny mari-pana ambony chlorination toe-javatra.

3. Erosion fanoherana: avo hamafin'ny, compact surface, poti tsara.

4. Ny fanoherana ny harafesina: asidra, alkali, sira ary reagents organika.

Famaritana lehibe momba ny Coating CVD-SIC

SiC-CVD Properties
Crystal Structure	FCC β phase
hakitroky	g/cm ³	3.21
hamafin'ny	Vickers hamafin'ny	2500
Haben'ny voamaina	μm	2~10
Fahadiovana simika	%	99.99995
Hafanana fahaiza-manao	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimation Temperature	℃	2700
Felexural Strength	MPa (RT 4-point)	415
Ny Modulus Young	Gpa (fiondrika 4pt, 1300 ℃)	430
Fanitarana Thermal (CTE)	10-6K-1	4.5
Conductivity mafana	(W/mK)	300