IC တစ်ပုံတည်းသော ပုံဆောင်ခဲ ဆီလီကွန် အက်ပီတက်စီ

ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ

ကျွန်ုပ်တို့ကုမ္ပဏီသည် ဂရပ်ဖိုက်၊ ကြွေထည်များနှင့် အခြားပစ္စည်းများ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် CVD နည်းလမ်းဖြင့် SiC အပေါ်ယံလွှာ လုပ်ငန်းစဉ်ဝန်ဆောင်မှုများကို ပေးဆောင်သောကြောင့် ကာဗွန်နှင့် ဆီလီကွန်ပါဝင်သော အထူးဓာတ်ငွေ့များသည် မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် ဓာတ်ပြုပြီး မြင့်မားသောသန့်စင်မှု SiC မော်လီကျူးများ၊ အပေါ်ယံလွှာပါ မော်လီကျူးများကို ရရှိစေကာ SIC အကာအကွယ်အလွှာကို ဖွဲ့စည်းပေးပါသည်။

အဓိကအင်္ဂါရပ်များ:

၁။ အပူချိန်မြင့် အောက်ဆီဒေးရှင်းဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း-

အပူချိန် 1600 C အထိ မြင့်မားသော်လည်း အောက်ဆီဒေးရှင်း ခံနိုင်ရည် အလွန်ကောင်းမွန်ပါသည်။

၂။ မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှု- မြင့်မားသော အပူချိန်တွင် ကလိုရင်းဓာတ်ပါဝင်မှု အခြေအနေအောက်တွင် ဓာတုအငွေ့စုပုံခြင်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။

၃။ တိုက်စားမှုဒဏ်ခံနိုင်မှု- မာကျောမှုမြင့်မားခြင်း၊ ကျစ်လစ်သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်၊ အမှုန်အမွှားငယ်များ။

၄။ ချေးခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း- အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ် ဓါတ်ကူပစ္စည်းများ။

CVD-SIC အလွှာ၏ အဓိကသတ်မှတ်ချက်များ