IC Single-Crystal Silicon Epitaxy

Fa'amatalaga o le Oloa

O la matou kamupani e tuʻuina atu auaunaga faʻagasologa o le ufiufiina o le SiC e ala i le metotia CVD i luga o le graphite, keramika ma isi meafaitino, ina ia mafai e kasa faapitoa o loʻo i ai le carbon ma le silicon ona tali atu i le vevela maualuga e maua ai ni mole mole SiC maualuga le mama, o mole mole e faʻaputu i luga o le fogaeleele o mea ua ufiufiina, ma fausia ai se vaega puipuia SIC.

Vaega autū:

1. Tete'e atu i le fa'ama'i o le vevela maualuga:

E lelei tele lava le tete'e atu i le 'okesene pe a o'o atu le vevela i le 1600 C.

2. Mama maualuga: faia e ala i le fa'aputuina o le ausa vaila'au i lalo o le tulaga o le chlorination i le vevela maualuga.

3. Tete'e i le ele: maualuga le ma'a'a, laualuga mafiafia, fasi mea manifinifi.

4. Tete'e i le 'ele: 'āsi, alkali, masima ma vaila'au fa'aola.

Fa'amatalaga Autū o le Ufiufi CVD-SIC