silisiumkarbid keramisk beleggvarmer

Vet-KinaSilisiumkarbid KeramikkBelegg er et høytytende beskyttende belegg laget av ekstremt hardt og slitesterkt materiale.silisiumkarbid (SiC)materiale, som gir utmerket kjemisk korrosjonsbestandighet og høy temperaturstabilitet. Disse egenskapene er avgjørende i halvlederproduksjon, såSilisiumkarbid keramisk belegger mye brukt i viktige komponenter i halvlederproduksjonsutstyr.

Vet-Chinas spesifikke rolleSilisiumkarbid KeramikkBelegg i halvlederproduksjon er som følger:

Forbedre utstyrets holdbarhet:Keramisk belegg av silisiumkarbid Keramisk belegg av silisiumkarbid gir utmerket overflatebeskyttelse for halvlederproduksjonsutstyr med sin ekstremt høye hardhet og slitestyrke. Spesielt i høytemperatur- og svært korrosive prosessmiljøer, som kjemisk dampavsetning (CVD) og plasmaetsing, kan belegget effektivt forhindre at overflaten på utstyret blir skadet av kjemisk erosjon eller fysisk slitasje, og dermed forlenge utstyrets levetid betydelig og redusere nedetid forårsaket av hyppig utskifting og reparasjon.

Forbedre prosessens renhet:I produksjonsprosessen for halvledere kan liten forurensning forårsake produktfeil. Den kjemiske inertiteten til silisiumkarbid keramisk belegg gjør at det forblir stabilt under ekstreme forhold, og forhindrer at materialet frigjør partikler eller urenheter, og dermed sikrer prosessens miljørenhet. Dette er spesielt viktig for produksjonstrinn som krever høy presisjon og renslighet, for eksempel PECVD og ionimplantasjon.

Optimaliser termisk styring:I høytemperatur halvlederprosessering, som hurtig termisk prosessering (RTP) og oksidasjonsprosesser, muliggjør den høye varmeledningsevnen til silisiumkarbid keramisk belegg jevn temperaturfordeling inne i utstyret. Dette bidrar til å redusere termisk stress og materialdeformasjon forårsaket av temperatursvingninger, og forbedrer dermed nøyaktigheten og konsistensen av produktproduksjonen.

Støtte komplekse prosessmiljøer:I prosesser som krever kompleks atmosfærekontroll, som ICP-etsing og PSS-etsing, sikrer stabiliteten og oksidasjonsmotstanden til silisiumkarbid keramisk belegg at utstyret opprettholder stabil ytelse ved langvarig drift, noe som reduserer risikoen for materialforringelse eller utstyrsskade på grunn av miljøendringer.